一种异丙醇监控组件、监控方法及半导体工艺机台与流程

本发明涉及半导体工艺领域，特别是涉及一种异丙醇监控组件、监控方法及半导体工艺机台。

背景技术：

1、在半导体工艺中，ipa（异丙醇）对晶圆表面进行清洁与干燥起到重要作用，然而其作用于晶圆表面的含量并不是越多越好。目前半导体工艺机台主要监测ipa有两种方式，第一种通过监测贮存ipa的起泡罐液面确定其含有量，计算携带ipa的氮气推测ipa的含量；第二种方式为测量贮存ipa的起泡罐重量降低来推测其喷出量。

2、但由于ipa（异丙醇）在起泡罐中为液态和雾化两种状态混合，很难有效通过监控其重量的变化推定对应的ipa含有量；而利用监测携带ipa的氮气从而推测ipa含量也存在一定误差。

3、因此，如何监测实际作用于晶圆表面的ipa含量，就成了本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种异丙醇监控组件、监控方法及半导体工艺机台，以解决现有技术中实际作用于晶圆表面的ipa含量难以监测的问题。

2、为解决上述技术问题，本发明提供一种异丙醇监控组件，包括羧基附着层、导电基底及电信号处理终端；

3、所述羧基附着层设置在所述导电基底上，并通过所述导电基底与所述电信号处理终端电连接；

4、所述羧基附着层的表面包括活性羧基，所述活性羧基能与所述异丙醇反应并将所述异丙醇捕获；

5、所述电信号处理端与所述羧基附着层电连接，并通过所述活性羧基与所述异丙醇反应过程中的反应电信号，确定对应的异丙醇含量。

6、可选地，在所述的异丙醇监控组件中，所述羧基附着层为羧基化的碳纳米管薄膜。

7、可选地，在所述的异丙醇监控组件中，所述导电基底设置于异丙醇传输管路中；

8、所述导电基底为延伸方向平行于所述异丙醇的来流方向的板状基底。

9、可选地，在所述的异丙醇监控组件中，所述导电基底设置于异丙醇传输管路中；

10、所述导电基底为垂直于所述异丙醇的来流方向设置的网状基底。

11、可选地，在所述的异丙醇监控组件中，包括多个导电基底及与所述导电基底对应的羧基附着层。

12、可选地，在所述的异丙醇监控组件中，还包括显示器；

13、所述显示器与所述电化学传感器电连接，用于显示所述反应电信号。

14、可选地，在所述的异丙醇监控组件中，还包括加热器；

15、所述加热器用于对所述羧基附着层加热，使所述羧基附着层释放被捕获的异丙醇，并恢复所述羧基附着层的羧基的活性。

16、一种异丙醇的监控方法，所述异丙醇的监控方法通过如上述任一种所述的异丙醇监控组件实施，包括：

17、从所述羧基附着层接收所述反应电信号；

18、根据所述反应电信号，确定对应的异丙醇含量。

19、可选地，在所述的异丙醇的监控方法中，所述从所述羧基附着层接收所述反应电信号包括：

20、在采样时间段内，从所述羧基附着层接收电流强度信号；

21、相应地，所述根据所述反应电信号，确定对应的异丙醇含量包括：

22、确定所述采样时间段内的电流强度信号的最大值为代表强度信号；

23、根据所述代表强度信号，确定对应的异丙醇含量。

24、一种半导体工艺机台，包括混合管路及如上述任一种所述的异丙醇监控组件；

25、所述混合管路用于输送异丙醇与氮气的混合气体；

26、所述异丙醇监控组件设置于所述混合管路内部。

27、本发明所提供的异丙醇监控组件，包括羧基附着层、导电基底及电信号处理终端；所述羧基附着层设置在所述导电基底上，并通过所述导电基底与所述电信号处理终端电连接；所述羧基附着层的表面包括活性羧基，所述活性羧基能与所述异丙醇反应并将所述异丙醇捕获；所述电信号处理端与所述羧基附着层电连接，并通过所述活性羧基与所述异丙醇反应过程中的反应电信号，确定对应的异丙醇含量。本发明通过在导电基底上增设对应的羧基附着层，使羧基附着层上的活性羧基能与环境中的异丙醇反应结合，将所述异丙醇捕获，而在反应过程中，会产生沿所述导电基底流动的自由电子，引发反应电信号，因此，通过监测反应电信号的信号强度，即可获知羧基附着层上同时反应的活性羧基与异丙醇的数量，进而精准获知环境中异丙醇的实时含量，不仅大大提升了异丙醇的含量的测量准确性，也提升了测量结果的时效性。本发明同时还提供了一种具有上述有益效果的异丙醇的监控方法及半导体工艺机台。

技术特征：

1.一种异丙醇监控组件，其特征在于，包括羧基附着层、导电基底及电信号处理终端；

2.如权利要求1所述的异丙醇监控组件，其特征在于，所述羧基附着层为羧基化的碳纳米管薄膜。

3.如权利要求1所述的异丙醇监控组件，其特征在于，所述导电基底设置于异丙醇传输管路中；

4.如权利要求1所述的异丙醇监控组件，其特征在于，所述导电基底设置于异丙醇传输管路中；

5.如权利要求1所述的异丙醇监控组件，其特征在于，包括多个导电基底及与所述导电基底对应的羧基附着层。

6.如权利要求1所述的异丙醇监控组件，其特征在于，还包括显示器；

7.如权利要求1至6任一项所述的异丙醇监控组件，其特征在于，还包括加热器；

8.一种异丙醇的监控方法，其特征在于，所述异丙醇的监控方法通过如权利要求1至7任一项所述的异丙醇监控组件实施，包括：

9.如权利要求8所述的异丙醇的监控方法，其特征在于，所述从所述羧基附着层接收所述反应电信号包括：

10.一种半导体工艺机台，其特征在于，包括混合管路及如权利要求1至7任一项所述的异丙醇监控组件；

技术总结本发明涉及半导体工艺领域，特别是涉及一种异丙醇监控组件、监控方法及半导体工艺机台，包括羧基附着层、导电基底及电信号处理终端；所述羧基附着层设置在所述导电基底上，并通过所述导电基底与所述电信号处理终端电连接；所述羧基附着层的表面包括活性羧基，所述活性羧基能与所述异丙醇反应并将所述异丙醇捕获；所述电信号处理端与所述羧基附着层电连接，并通过所述活性羧基与所述异丙醇反应过程中的反应电信号，确定对应的异丙醇含量。本发明通过在导电基底上增设对应的羧基附着层，将异丙醇捕获，而在反应过程中会引发反应电信号，因此，通过监测反应电信号的信号强度，即可精准获知环境中异丙醇的实时含量。技术研发人员：李鹏晖受保护的技术使用者：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司技术研发日：技术公布日：2024/12/2