一种静电吸盘在线检测方法与流程

本发明涉及到吸盘，尤其涉及一种静电吸盘在线检测方法。

背景技术：

1、静电吸盘即通过加载高压直流电压，通过高电压形成的电场对产品表面电子形成的物理吸附效果。由于静电吸盘正常工作需加载一正一负两种高压，两者的压差越大吸附力越大，因此静电吸盘稳定工作需要电压有稳定可靠的回路。若两个电压其中一端连接不良或断路，则会出现吸附力下降或直接完全无效果的现象。

2、常规判断线路正常方法是技术人员手动开启静电吸附控制器后，使用产品在其表面做推拉测试，若有吸附力则说明连接完好可以使用。这一过程比较危险存在漏电电击的可能，

3、通常静电吸附控制器只负责产生指定大小与固定极性的高压电提供给静电吸盘工作，静电吸附控制器默认高压线缆与静电吸盘连接完好，所以高压控制不能识别静电吸盘这个负载是否连接正确。随着自动智能化发展需求，人工确认线缆连接问题已经不能完全保证系统工作可靠性。

4、静电吸盘属于耗品，在使用一段时间后需要进行更换，这个过程中难免会因为人为失误、机械运动或线路老化原因形成漏电、虚接甚至断路问题。

5、公开号为cn102187447a，公开日为2011年09月14日的中国专利文献公开了一种静电吸盘的检查方法，其特征在于：

6、在具备双极型的静电吸盘、以及吸盘电源的静电吸盘装置中，其中所述静电吸盘在电介质内具有沿着该电介质的表面配置的正吸附电极以及负吸附电极且通过静电来吸附被吸附物，所述吸盘电源以接地电位部为基准向所述静电吸盘的正吸附电极以及负吸附电极分别供给正的直流电压以及负的直流电压，在所述静电吸盘的电介质内、所述正吸附电极以及负吸附电极的背面侧，以与这些吸附电极之间隔开规定的间隔而分别对置的方式设有正辅助电极以及负辅助电极，并且这些辅助电极与所述接地电位部连接，在静电吸盘的检查方法中进行判定工序，分别测量在所述静电吸盘上没有载置被吸附物的状态下从所述吸盘电源向所述静电吸盘施加或者断开所述正以及负的直流电压时的(a)在所述静电吸盘的正吸附电极和所述吸盘电源之间流过的第1瞬态电流、(b)在所述静电吸盘的正辅助电极和所述接地电位部之间流过的第2瞬态电流、(c)在所述静电吸盘的负吸附电极和所述吸盘电源之间流过的第3瞬态电流以及(d)在所述静电吸盘的负辅助电极和所述接地电位部之间流过的第4瞬态电流中的至少三个瞬态电流，并且算出作为所述第1瞬态电流和第2瞬态电流之差或者所述第3瞬态电流和第4瞬态电流之差的第5瞬态电流，将所得到的各瞬态电流分别与从正常的静电吸盘所得到的各瞬态电流的基准值进行比较，判定所述静电吸盘内的各吸附电极的周边的静电电容的异常。

7、该专利文献公开的静电吸盘的检查方法，通过测量瞬态电流并与规定的基准值进行比较，可以判断静电电容是否发生异常。但是，检测精度低，不利于保障静电吸盘工作可靠性。

技术实现思路

1、本发明为了克服上述现有技术的缺陷，提供一种静电吸盘在线检测方法，本发明通过线路切换的方式添加负载识别电路，对静电吸盘相连接的高压线进行驱动识别，确认负载在线后才允许高压电路为静电吸盘提供工作电压，能够完成在线自动检测，提高检测精度，利于保障静电吸盘工作可靠性。

2、本发明通过下述技术方案实现：

3、一种静电吸盘在线检测方法，包括以下步骤：

4、s1、在静电吸附控制器中设置高压电路、负载识别电路和切换电路；

5、s2、将静电吸盘通过连接线缆与静电吸附控制器相连接；

6、s3、通过切换电路将负载识别电路与静电吸盘电连接，负载识别电路对静电吸盘进行驱动识别，若符合预设值，则通过切换电路将高压电路与静电吸盘电连接，若不符合预设值，则通过静电吸附控制器发出报警信号。

7、所述s1中，负载识别电路为电容测量电路。

8、所述s1中，负载识别电路，用于检测静电吸盘的电容容量，并将检测到的静电吸盘电容容量与预设值进行比较，判断是否接通高压电路和静电吸盘。

9、所述s1中，切换电路，用于切换高压电路和负载识别电路。

10、所述s1中，静电吸附控制器，用于通过将直流电压经过增压及倍压处理，转化为高压静电形成静电场。

11、所述s2中，静电吸盘包括连接在一起的基板、第一介电板和第二介电板，第一介电板设置在基板和第二介电板之间。

12、所述第一介电板的介电常数小于第二介电板的介电常数。

13、所述第一介电板的厚度大于第二介电板的厚度。

14、所述第一介电板的厚度为25毫米。

15、所述第二介电板的厚度为3毫米。

16、本发明的有益效果主要表现在以下方面：

17、1、本发明，通过线路切换的方式添加负载识别电路，对静电吸盘相连接的高压线进行驱动识别，确认负载在线后才允许高压电路为静电吸盘提供工作电压，能够完成在线自动检测，提高检测精度，利于保障静电吸盘工作可靠性。

18、2、本发明，在静电吸附控制器中集成负载识别电路，通过静电吸附控制器就能够对静电吸盘完成连接识别，能够极大减少人为因素或失误造成的设备宕机。

19、3、本发明，能够快速准确的判别静电吸盘内哪个吸附电极的周边或者两吸附电极间是否发生异常，从而提高了静电吸盘的使用效率和稳定性。

20、4、本发明，较现有技术无负载检测，静电吸附控制器只负责检测高压电流大小，若线路断开静电吸附控制器则认为负载轻无任何动作而言，通过负载识别电路完成在线检测，能够提供断线提示。

21、5、本发明，通过在静电吸附控制器中集成静电吸盘连接是否正常的负载识别电路，并通过切换电路完成高压电路与负载识别电路之间的转换，由于静电吸盘呈电容特性，因此检测静电吸盘的电容容量即可完成探测识别，极大的提高了检测效率。

22、6、本发明，通过负载识别电路检测静电吸盘的电容容量，并将检测到的静电吸盘电容容量与预设值进行比较，判断是否接通高压电路和静电吸盘，通过静电吸附控制器就能提前预警，利于保障静电吸盘工作稳定性。

技术特征：

1.一种静电吸盘在线检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种静电吸盘在线检测方法，其特征在于：所述s1中，负载识别电路（3）为电容测量电路。

3.根据权利要求1所述的一种静电吸盘在线检测方法，其特征在于：所述s1中，负载识别电路（3），用于检测静电吸盘（5）的电容容量，并将检测到的静电吸盘（5）电容容量与预设值进行比较，判断是否接通高压电路（2）和静电吸盘（5）。

4.根据权利要求1所述的一种静电吸盘在线检测方法，其特征在于：所述s1中，切换电路（4），用于切换高压电路（2）和负载识别电路（3）。

5.根据权利要求1所述的一种静电吸盘在线检测方法，其特征在于：所述s1中，静电吸附控制器（1），用于通过将直流电压经过增压及倍压处理，转化为高压静电形成静电磁场。

6.根据权利要求1所述的一种静电吸盘在线检测方法，其特征在于：所述s2中，静电吸盘（5）包括连接在一起的基板（6）、第一介电板（7）和第二介电板（8），第一介电板（7）设置在基板（6）和第二介电板（8）之间。

7.根据权利要求6所述的一种静电吸盘在线检测方法，其特征在于：所述第一介电板（7）的介电常数小于第二介电板（8）的介电常数。

8.根据权利要求6所述的一种静电吸盘在线检测方法，其特征在于：所述第一介电板（7）的厚度大于第二介电板（8）的厚度。

9.根据权利要求8所述的一种静电吸盘在线检测方法，其特征在于：所述第一介电板（7）的厚度为25毫米。

10.根据权利要求8所述的一种静电吸盘在线检测方法，其特征在于：所述第二介电板（8）的厚度为3毫米。

技术总结本发明公开了一种静电吸盘在线检测方法，属于吸盘技术领域，包括以下步骤：S1、在静电吸附控制器中设置高压电路、负载识别电路和切换电路；S2、将静电吸盘通过连接线缆与静电吸附控制器电连接；S3、通过切换电路将负载识别电路与静电吸盘电连接，负载识别电路对静电吸盘进行驱动识别，若符合预设值，则通过切换电路将高压电路与静电吸盘电连接，若不符合预设值，则通过静电吸附控制器发出报警信号。通过线路切换的方式添加负载识别电路，对静电吸盘相连接的高压线进行驱动识别，确认负载在线后才允许高压电路为静电吸盘提供工作电压，能够完成在线自动检测，提高检测精度，利于保障静电吸盘工作可靠性。技术研发人员：刘芳南,韩冬年,张静受保护的技术使用者：深圳宏恩电子技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/12/2