弹性波装置以及其制造方法与流程

本发明涉及弹性波装置以及其制造方法。

背景技术：

1、以往，已知有具备包含铌酸锂或钽酸锂的压电层的弹性波装置。

2、在专利文献1中公开了如下的弹性波装置，该弹性波装置具备形成有空洞部的支承体、在上述支承体上设置为与上述空洞部重叠的压电基板、和在上述压电基板上设置为与上述空洞部重叠的idt（interdigital transducer，叉指换能器）电极，通过上述idt电极来激励板波，其中，上述空洞部的端缘部不包含与通过上述idt电极而激励的板波的传播方向平行地延伸的直线部。

3、在专利文献2中公开了如下的弹性波装置，该弹性波装置具备支承基板、设置在上述支承基板上的压电层、设置在上述压电层上的功能电极、和分别设置在上述压电层上、彼此相互对置并且为相互不同的电位的第1电极膜以及第2电极膜，将在俯视下位于上述第1电极膜与上述第2电极膜之间的区域设为电极膜间区域，并将在俯视下与上述第1电极膜或上述第2电极膜重叠的区域设为电极膜正下方区域时，上述电极膜间区域的至少一部分中的上述压电层的厚度比上述电极膜正下方区域中的上述压电层的厚度薄。

4、在先技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本特开2012-257019号公报

7、专利文献2：国际公开第2022/014440号

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、如专利文献1以及专利文献2所记载的那样，在支承基板上形成有压电层并在该压电层上形成有电极膜的弹性波装置中，若对电极膜施加电信号，则不仅是为了得到期望的特性而需要的谐振器部，而且还对引绕布线间的压电层施加电压。在该情况下，在支承基板的厚度方向（z方向）上激励体波。若拾取了该体波，则有可能会在器件特性上产生细小的纹波。

3、在专利文献2中，公开了通过除去布线间的压电层来抑制体波的激励从而压制纹波的技术。然而，在该方法中，无法避免某种程度的压电层从布线电极突出，因此由于在布线间压电层所突出的部分中激励体波而导致的纹波成为问题。因此，难以完全压制纹波。

4、本发明的目的在于，提供一种能够降低因体波而引起的纹波对器件特性造成的影响的弹性波装置。进而，本发明的目的在于，提供一种上述弹性波装置的制造方法。

5、用于解决问题的技术方案

6、本发明的弹性波装置具备：支承构件，在一个主面具有能量封闭层；压电层，设置于上述支承构件的上述一个主面，以使得覆盖上述能量封闭层；功能电极，设置于上述压电层的至少一个主面，从上述压电层的厚度方向观察，至少一部分与上述能量封闭层重叠；和电介质膜，设置于上述压电层的与上述能量封闭层相反侧的主面。上述压电层包括设置有上述功能电极的功能电极部和上述功能电极部以外的部分。上述电介质膜至少设置于上述功能电极部。设置于上述功能电极部的上述电介质膜的至少一部分的厚度大于设置于上述功能电极部以外的部分的上述电介质膜的厚度。

7、本发明的弹性波装置的制造方法包括：准备中间构造体的工序，上述中间构造体具备在一个主面具有能量封闭层的支承构件、设置于上述支承构件的上述一个主面以使得覆盖上述能量封闭层的压电层、和设置于上述压电层的至少一个主面且从上述压电层的厚度方向观察至少一部分与上述能量封闭层重叠的功能电极，上述压电层包括设置有上述功能电极的功能电极部和上述功能电极部以外的部分；在上述中间构造体形成电介质膜以使得在上述压电层的与上述能量封闭层相反侧的主面至少覆盖上述功能电极部的工序；和对形成于上述中间构造体的上述电介质膜的厚度进行调整以使得设置于上述功能电极部的上述电介质膜的至少一部分的厚度大于设置于上述功能电极部以外的部分的上述电介质膜的厚度的工序。

8、发明效果

9、根据本发明，能够提供一种能够降低因体波而引起的纹波对器件特性造成的影响的弹性波装置。进而，根据本发明，能够提供一种上述弹性波装置的制造方法。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求4～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求4～9中的任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求4～10中的任一项所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求5～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，

15.根据权利要求14所述的弹性波装置，其中，

16.一种弹性波装置的制造方法，包括：

17.根据权利要求16所述的弹性波装置的制造方法，其中，

18.根据权利要求16所述的弹性波装置的制造方法，其中，

技术总结弹性波装置（10）具备：支承构件（20），在一个主面具有能量封闭层（例如，空洞部（21））；压电层（30），设置于支承构件（20）的上述一个主面以使得覆盖上述能量封闭层；功能电极（32），设置于压电层（30）的至少一个主面，从压电层（30）的厚度方向观察，至少一部分与上述能量封闭层重叠；和电介质膜（40），设置于压电层（30）的与上述能量封闭层相反侧的主面。压电层（30）包括设置有功能电极（32）的功能电极部（31A）和功能电极部以外的部分（31B）。电介质膜（40）至少设置于功能电极部（31A）。设置于功能电极部（31A）的电介质膜（40）的至少一部分的厚度大于设置于功能电极部以外的部分（31B）的电介质膜（40）的厚度。技术研发人员：三村昌和受保护的技术使用者：株式会社村田制作所技术研发日：技术公布日：2024/12/2