弹性波装置的制作方法

本公开涉及具备压电层(压电体层)的弹性波装置。

背景技术：

1、例如，在专利文献1中公开了一种利用板波的弹性波装置。专利文献1记载的弹性波装置具备支承体、压电基板、以及idt电极。在支承体设置有空洞部。压电基板设置在支承体之上使得与空洞部重叠。idt电极设置在压电基板之上使得与空洞部重叠。在弹性波装置中，通过idt电极可激励板波。空洞部的端缘部不包含与由idt电极激励的板波的传播方向平行地延伸的直线部。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、近年来，在包含多个弹性波谐振器的弹性波装置中，要求一种能够抑制交叉宽度大的弹性波谐振器中的裂纹的产生的弹性波装置。

3、本公开的目的在于，提供一种能够抑制多个弹性波谐振器之中的交叉宽度大的弹性波谐振器中的裂纹的产生的弹性波装置。

4、用于解决问题的技术方案

5、本公开的一个方式的弹性波装置具备多个弹性波谐振器，

6、所述多个弹性波谐振器各自包含：

7、支承基板；

8、压电体层，设置在所述支承基板上；以及

9、功能电极，设置在所述压电体层，

10、所述支承基板具有空洞部，该空洞部设置于在作为所述支承基板和所述压电体层的层叠方向的第1方向上与所述功能电极的一部分重叠的位置，

11、所述空洞部与开口连接，该开口位于所述支承基板的与所述压电体层对置的部分，

12、其中，

13、所述多个弹性波谐振器包含第1谐振器、以及所述功能电极的交叉宽度比所述第1谐振器大的第2谐振器，

14、在沿着所述第1方向以及作为所述弹性波谐振器内的电流流动的方向的第2方向的剖面中，若将构成所述空洞部中的与所述开口的所述第2方向的一端连接的部分的所述支承基板和所述压电体层所成的角设为锥角，则所述第2谐振器的所述锥角比所述第1谐振器的所述锥角大。

15、发明效果

16、根据本公开，能够提供一种能够抑制多个弹性波谐振器之中的交叉宽度大的弹性波谐振器中的裂纹的产生的弹性波装置。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备多个弹性波谐振器，

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1～5中任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求7或8所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求7～9中任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求6～10中任一项所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求1～6中任一项所述的弹性波装置，其中，

技术总结弹性波装置具备多个弹性波谐振器。多个弹性波谐振器各自包含支承基板、设置在支承基板上的压电体层、以及设置在压电体层上的功能电极。支承基板具有空洞部，该空洞部设置于在作为支承基板和压电体层的层叠方向的第1方向上与功能电极的一部分重叠的位置。空洞部与开口连接，该开口位于支承基板的与压电体层对置的部分。多个弹性波谐振器包含第1谐振器、以及功能电极的交叉宽度比第1谐振器大的第2谐振器。在沿着第1方向以及作为弹性波谐振器内的电流流动的方向的第2方向的剖面中，若将构成空洞部中的与开口的第2方向的一端连接的部分的支承基板和压电体层所成的角设为锥角，则第1谐振器的锥角比第2谐振器的所述锥角大。技术研发人员：冈田拓郎,石井优太受保护的技术使用者：株式会社村田制作所技术研发日：技术公布日：2024/11/18