一种太阳电池的制备方法与流程

本申请涉及太阳电池，具体提供一种太阳电池的制备方法。

背景技术：

1、随着太阳电池的广泛使用，如何提高太阳电池的钝化质量成为太阳电池的一个研究热点。目前高效的太阳电池如topcon(tunnel oxidepassivated contact，隧穿氧化钝化接触)电池、bc(back contact，背接触)结构的电池，钝化处理常采用氧化铝(alox)或氧化硅，再叠加上氮化硅(sinx)，如topcon采用氧化硅、多晶硅(poly)叠加氮化硅实现电池钝化。但上述太阳电池的钝化质量还有进一步提升的空间。

2、相应地，本领域需要一种新的太阳电池的制备方案来解决上述问题。

技术实现思路

1、本申请旨在解决上述技术问题，即，解决如何进一步提升太阳电池钝化质量的问题。

2、在第一方面，本申请提供一种太阳电池的制备方法，包括：在太阳电池的任一表面沉积形成第一钝化层后，对第一钝化层通入笑气进行氧化处理，任一表面为太阳电池衬底相对设置的第一表面和第二表面中的任一面；和/或，在任一表面沉积形成第二钝化层后，对第二钝化层通入氨气进行氢化处理。

3、在上述太阳电池的制备方法的一个技术方案中，在对第一钝化层通入笑气进行氧化处理时，还包括：通入惰性气体，以对第一钝化层进行氧化处理。

4、在上述太阳电池的制备方法的一个技术方案中，所述惰性气体为氩气，氩气与笑气的比例在一比五至四比五之间。

5、在上述太阳电池的制备方法的一个技术方案中，第一钝化层至少包括：氧化铝层，第二钝化层至少包括：氧化硅层。

6、在上述太阳电池的制备方法的一个技术方案中，对第一钝化层通入笑气进行氧化处理，还包括：在对第一钝化层进行退火处理过程中，或退火处理完成后对第一钝化层通入笑气进行氧化处理。

7、在上述太阳电池的制备方法的一个技术方案中，通入笑气的流量在7000sccm至17000sccm之间且通入时间在100秒至700秒之间。

8、在上述太阳电池的制备方法的一个技术方案中，通入氨气的流量在7000sccm至17000sccm之间且通入时间在100秒至700秒之间。

9、在第二方面，本申请提供一种topcon电池的制备方法，包括：在衬底第一表面形成第一钝化层；在衬底第二表面形成第二钝化层；采用如上述第一方面或其对应的任一技术方案中的太阳电池的制备方法对第一钝化层进行氧化处理；和/或，采用如上述第一方面或其对应的任一技术方案中的太阳电池的制备方法对第二钝化层进行氢化处理；在第一钝化层和第二钝化层上分别形成电极。

10、在第三方面，本申请提供一种tbc电池的制备方法，包括：在衬底第二表面上形成第二钝化层；在第二钝化层上基于隔离区形成间隔排列的p区和n区；在间隔排列的p区和n区上形成第一钝化层；在第一钝化层上形成电极；在衬底第二表面上形成第二钝化层后，采用如上述第一方面或其对应的任一技术方案中的太阳电池的制备方法对第二钝化层进行氢化处理，和/或在间隔排列的p区和n区上形成第一钝化层后，采用如上述第一方面或其对应的任一技术方案中的太阳电池的制备方法对第一钝化层进行氧化处理。

11、本申请上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种

12、有益效果：

13、在实施本申请的技术方案中，通过对第一钝化层通入笑气进行氧化处理，实现了将氧离子注入第一钝化层，以减少氧缺陷和复合损失，进而提升第一钝化层钝化质量的效果；或者，通过对第二钝化层通氨气进行氢化处理，实现了将氢离子注入第二钝化层，以减少表面悬挂键，从而提升第二钝化层钝化质量的效果。通过该方法实现了提高太阳电池钝化质量、增大电池开压、提高电池转化效率的目的，为进一步提升太阳电池钝化质量提供了一种有效的解决方案。

14、在实施本申请的技术方案中，对第一钝化层通入笑气和惰性气体进行氧化处理，由于该惰性气体不参与反应，在压强一定笑气流量不变的情况下，达到了提高气体流速，增加笑气的反应速率、降低沉积速率的效果，从而使氧原子更多地注入第一钝化层表面，并减少表面生成氧化层的厚度，实现了以更少的笑气实现更优的钝化效果的目的。

15、在实施本申请的技术方案中，通过控制笑气或者氨气通入的流量范围和时间范围，或者将惰性气体与笑气的比例控制在预设比例范围内，实现了进一步提升太阳电池钝化质量的目的。

技术特征：

1.一种太阳电池的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，在对所述第一钝化层通入笑气进行氧化处理时，还包括：

3.根据权利要求2所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，所述惰性气体为氩气，氩气与笑气的比例在一比五至四比五之间。

4.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，第一钝化层至少包括：氧化铝层，第二钝化层至少包括：氧化硅层。

5.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，对所述第一钝化层通入笑气进行氧化处理，还包括：

6.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，通入笑气的流量在7000sccm至17000sccm之间且通入时间在100秒至700秒之间。

7.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，通入氨气的流量在7000sccm至17000sccm之间且通入时间在100秒至700秒之间。

8.一种topcon电池的制备方法，其特征在于，包括：

9.一种tbc电池的制备方法，其特征在于，包括：

技术总结本申请涉及太阳电池技术领域，具体提供一种太阳电池的制备方法，旨在解决如何进一步提升太阳电池钝化质量的问题。为此目的，本申请在太阳电池的任一表面沉积形成第一钝化层后，对第一钝化层通入笑气进行氧化处理；和/或，在任一表面沉积形成第二钝化层后，对第二钝化层通入氨气进行氢化处理。本申请对第一钝化层进行氧化处理，实现了减少第一钝化层氧缺陷和复合损失，提升第一钝化层钝化质量的目的；通过对第二钝化层进行氢化处理，实现了减少第二钝化层表面悬挂键，提升第二钝化层钝化质量的目的，为进一步提升太阳电池钝化质量提供了一种有效的解决方案。技术研发人员：韩秉伦,柳伟,陈达明受保护的技术使用者：天合光能股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/12/12