石墨舟卡点、石墨舟片以及石墨舟的制作方法

本技术涉及镀膜，特别是涉及一种石墨舟卡点、石墨舟片以及石墨舟。

背景技术：

1、石墨舟是一种在镀膜设备中承载待镀膜片材的装置。在目前的晶硅太阳电池的生产工序中，硅片通常被置于石墨舟中进行镀膜工序。石墨舟的舟片上通常还设置有卡点，卡点上具有用于固定待镀膜片材的卡点限位槽。在实际的制备过程中，待镀膜片材在放置入卡点限位槽的过程中容易存在掉片问题，并且待镀膜片材在实际的镀膜过程中还容易产生石墨舟印，这两个问题都会导致镀膜不良。但是在传统技术中掉片问题和石墨舟印问题往往难以同时兼顾。

技术实现思路

1、基于此，为了能够同时改善掉片问题和石墨舟印问题，进而提高镀膜的良率，有必要提供一种石墨舟卡点。

2、根据本实用新型的一些实施例，提供了一种石墨舟卡点，其包括卡点固定座和设置于所述卡点固定座侧边的限位支撑件，所述石墨舟卡点中具有卡点限位槽，所述卡点限位槽的槽壁包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁设置于所述卡点固定座上，所述第二侧壁设置于所述限位支撑件上，所述第一侧壁上包含导向过渡区，自卡点限位槽的槽顶端朝向槽底端的方向，所述导向过渡区逐渐朝向槽内侧收缩。

3、在本实用新型的一些实施例中，所述导向过渡区的顶端与其底端在所述卡点限位槽的宽度方向上的距离为0.1mm~0.5mm。

4、在本实用新型的一些实施例中，所述导向过渡区的顶端与其底端在所述卡点限位槽的深度方向上的距离为1.5mm~3mm。

5、在本实用新型的一些实施例中，所述导向过渡区的底端位于所述卡点限位槽的槽底。

6、在本实用新型的一些实施例中，所述第二侧壁的顶端低于所述导向过渡区的顶端。

7、在本实用新型的一些实施例中，所述导向过渡区呈相对于所述卡点限位槽的宽度方向倾斜的斜面状。

8、在本实用新型的一些实施例中，所述限位支撑件包括支撑柱和限位帽，所述支撑柱连接于所述卡点固定座，所述限位帽连接于所述支撑柱远离所述卡点固定座的一侧，所述第二侧壁设置于所述限位帽朝向所述卡点固定座的一侧表面上，所述卡点限位槽还具有设置于所述支撑柱表面的槽底壁。

9、在本实用新型的一些实施例中，所述槽底壁的宽度为0.35mm~0.45mm。

10、在本实用新型的一些实施例中，所述第二侧壁的顶端和所述第二侧壁的底端在所述卡点限位槽的深度方向上的距离为0.6mm~0.9mm。

11、进一步地，本实用新型还提供了一种石墨舟片，其包括舟片基体和如上述任一实施例所述的石墨舟卡点，所述舟片基体中设置有卡点容置孔，所述石墨舟卡点的所述卡点固定座设置于所述卡点容置孔中。

12、在本实用新型的一些实施例中，所述导向过渡区突出于所述舟片基体的表面设置。

13、进一步地，本实用新型还提供了一种石墨舟，其包括多个如上述任一实施例所述的石墨舟片。

14、石墨舟印通常来自于片材与石墨舟片之间的摩擦。传统技术中为了解决石墨舟印的问题，通常需要将卡点限位槽设计得较窄，以限制片材与石墨舟片之间的相对位移。但是这对于片材的石墨舟印的改善效果较为有限，同时还会由于槽宽较窄而导致新的掉片问题。将卡点限位槽的槽宽设计得较宽能够改善掉片问题，但是也加重了硅片与石墨舟片之间的摩擦进而导致较为严重的石墨舟印问题。石墨舟印与掉片两个问题之间相互掣肘，限制了镀膜良率的进一步提升。

15、在本实用新型的石墨舟卡点中，石墨舟卡点中具有卡点限位槽，卡点限位槽的第一侧壁设置于卡点固定座上，第一侧壁上包含导向过渡区。在实际使用时，待镀膜片材从卡点限位槽的槽顶端至槽底端移动并放置于限位支撑件上。由于导向过渡区逐渐朝向槽内侧收缩，相当于增大了卡点限位槽的槽口，使得待镀膜片材更易于放置入卡点限位槽中，能够改善掉片问题。同时逐渐收缩的导向过渡区还能够减少待镀膜片材与第一侧壁之间的摩擦，进而使得待镀膜片材表面的石墨舟印问题也得到较为有效的改善。

技术特征：

1.一种石墨舟卡点，其特征在于，包括卡点固定座（110）和设置于所述卡点固定座（110）侧边的限位支撑件，所述石墨舟卡点（100）中具有卡点限位槽（101），所述卡点限位槽（101）的槽壁包括相对设置的第一侧壁（111）和第二侧壁（131），所述第一侧壁（111）设置于所述卡点固定座（110）上，所述第二侧壁（131）设置于所述限位支撑件上，所述第一侧壁（111）上包含导向过渡区（1110），自卡点限位槽（101）的槽顶端朝向槽底端的方向，所述导向过渡区（1110）逐渐朝向槽内侧收缩。

2.根据权利要求1所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述导向过渡区（1110）的顶端与其底端在所述卡点限位槽（101）的宽度方向上的距离为0.1mm~0.5mm；和/或，

3.根据权利要求1所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述导向过渡区（1110）的底端位于所述卡点限位槽（101）的槽底；和/或，

4.根据权利要求2所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述导向过渡区（1110）呈相对于所述卡点限位槽（101）的宽度方向倾斜的斜面状。

5.根据权利要求1~4任意一项所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述限位支撑件包括支撑柱（120）和限位帽（130），所述支撑柱（120）连接于所述卡点固定座（110），所述限位帽（130）连接于所述支撑柱（120）远离所述卡点固定座（110）的一侧，所述第二侧壁（131）设置于所述限位帽（130）朝向所述卡点固定座（110）的一侧表面上，所述卡点限位槽（101）还具有设置于所述支撑柱（120）表面的槽底壁（121）。

6.根据权利要求5所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述槽底壁（121）的宽度为0.35mm~0.45mm。

7.根据权利要求1~4及6任意一项所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述第二侧壁（131）的顶端和所述第二侧壁（131）的底端在所述卡点限位槽（101）的深度方向上的距离为0.6mm~0.9mm。

8.一种石墨舟片，其特征在于，包括舟片基体（200）和如权利要求1~7任意一项所述的石墨舟卡点（100），所述舟片基体（200）中设置有卡点容置孔，所述石墨舟卡点（100）的所述卡点固定座（110）设置于所述卡点容置孔中。

9.根据权利要求8所述的石墨舟片，其特征在于，所述导向过渡区（1110）突出于所述舟片基体（200）的表面设置。

10.一种石墨舟，其特征在于，包括多个如权利要求8或9所述的石墨舟片。

技术总结本技术的一些实施例，提供了一种石墨舟卡点、石墨舟片以及石墨舟。该石墨舟卡点包括卡点固定座和设置于卡点固定座侧边的限位支撑件，石墨舟卡点中具有卡点限位槽，卡点限位槽的槽壁包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁设置于卡点固定座上，第二侧壁设置于限位支撑件上，第一侧壁上包含导向过渡区，自卡点限位槽的槽顶端朝向槽底端的方向，导向过渡区逐渐朝向槽内侧收缩。该石墨舟卡点能够改善掉片问题，并且还能够使得待镀膜片材表面的石墨舟印问题也得到较为有效的改善。技术研发人员：俞银民受保护的技术使用者：通威太阳能（成都）有限公司技术研发日：20240417技术公布日：2024/12/12