一种单晶硅棒加工冷却装置的制作方法
- 国知局
- 2024-12-26 15:10:48
本技术属单晶硅棒加工,更具体地说,特别涉及一种单晶硅棒加工冷却装置。
背景技术:
1、目前,单晶硅棒,是用于制造半导体器件、太阳能电池的,单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的,是硅原子按籽晶的晶格排列方向,重新排列的硅单晶体棒。单晶硅棒于生产过程中,需要通过降温辅助其成型,于是使用冷却设备对其进行加工。
2、现有的降温设备通常采用水冷方式进行冷却,虽然可以进行快速冷却,但是硅棒在冷却前会由于表面过热,吸附外部的粉尘,同时水冷过后表面还附带有水珠,很容易粘尘,导致表面被污染,无法保证硅棒在冷却过程中的洁净,不能进行及时处理,工作人员无法进行观察冷却状况,不能实时进行检查,无法保证硅棒的冷却稳定性。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种单晶硅棒加工冷却装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种单晶硅棒加工冷却装置,包括冷却箱,所述冷却箱上通过铰链连接有防护罩壳,且防护罩壳通过连杆套件与冷却箱连接,所述防护罩壳两侧设置有料口,所述冷却箱两端设置有牵引机构,通过牵引机构带动硅棒件输送,所述冷却箱内设置有水冷仓以及风干仓,且通过设置在冷却箱内的挡水隔板进行独立区分,所述水冷仓内设置有冷却机构,所述风干仓内设置有多个出风口,所述多个出风口上方正对硅棒件,每个出风口内均安装有风机,相邻两个出风口之间设置有导向筒,所述导向筒与硅棒件间隙配合。
3、作为本实用新型一种可选的方案,所述防护罩壳顶部设置有观察口,观察口内安装有钢化玻璃。
4、作为本实用新型一种可选的方案,所述料口上对称设置有毛刷板,通过毛刷板将硅棒件进行清理。
5、作为本实用新型一种可选的方案,所述牵引机构包括导向架,所述导向架对称安装在硅棒件两侧,所述导向架顶部设置有驱动电机,所述驱动电机驱动端设置有输送轮,通过输送轮将单晶硅棒稳定输送,。
6、作为本实用新型一种可选的方案,所述冷却机构包括供水管组,所述供水管组分为三个管口,且其中两个管口对称分布,且均安装有第一喷嘴,所述第一喷嘴斜对硅棒件,通过支撑架将第一喷嘴进行固定安装,另一管口顶部设置有第二喷嘴,所述第二喷嘴上方正对硅棒件,所述水冷仓内设置有漏水孔,所述水冷仓底部设置有排水口,所述水冷仓一侧设置有进水口,用于持续的供水。
7、作为本实用新型一种可选的方案,所述挡水隔板一侧安装有对称的电动缸,所述电动缸推出端设置有海绵块,所述海绵块内设置有卡槽,通过海绵块进行快速吸水。
8、本实用新型提供了一种单晶硅棒加工冷却装置,具备以下有益效果:
9、通过设置的驱动电机,带动硅棒件输送至冷却箱内,通过进水口进行持续供水,在第一喷嘴以及第二喷嘴的设置下,进行全面的冷却,硅棒件穿过挡水隔板进入导向筒内,期间,通过设置的电动缸带动海绵块进行快速吸水,便于后期的风干,设置的风机对经过的硅棒件进行持续风干,两端设置的毛刷板可以对进出的硅棒件进行快速清理,避免冷却前后硅棒件表面粘尘,提高硅棒件冷却的稳定性以及表面质量。
技术特征:1.一种单晶硅棒加工冷却装置,其特征在于:包括冷却箱(1),所述冷却箱(1)上通过铰链连接有防护罩壳(2),且防护罩壳(2)通过连杆套件(101)与冷却箱(1)连接,所述防护罩壳(2)两侧设置有料口,所述冷却箱(1)两端设置有牵引机构,通过牵引机构带动硅棒件(10)输送,所述冷却箱(1)内设置有水冷仓(3)以及风干仓(11),且通过设置在冷却箱(1)内的挡水隔板(5)进行独立区分,所述水冷仓(3)内设置有冷却机构,所述风干仓(11)内设置有多个出风口(111),所述多个出风口(111)上方正对硅棒件(10),每个出风口(111)内均安装有风机(13),相邻两个出风口(111)之间设置有导向筒(12),所述导向筒(12)与硅棒件(10)间隙配合。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒加工冷却装置,其特征在于:所述防护罩壳(2)顶部设置有观察口(201),观察口(201)内安装有钢化玻璃。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒加工冷却装置,其特征在于:所述料口上对称设置有毛刷板(202),通过毛刷板(202)将硅棒件(10)进行清理。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒加工冷却装置,其特征在于:所述牵引机构包括导向架(8),所述导向架(8)对称安装在硅棒件(10)两侧,所述导向架(8)顶部设置有驱动电机(801),所述驱动电机(801)驱动端设置有输送轮(9),通过输送轮(9)将单晶硅棒稳定输送。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒加工冷却装置,其特征在于:所述冷却机构包括供水管组(4),所述供水管组(4)分为三个管口,且其中两个管口对称分布,且均安装有第一喷嘴(401),所述第一喷嘴(401)斜对硅棒件(10),通过支撑架(301)将第一喷嘴(401)进行固定安装,另一管口顶部设置有第二喷嘴(402),所述第二喷嘴(402)上方正对硅棒件(10),所述水冷仓(3)内设置有漏水孔(302),所述水冷仓(3)底部设置有排水口(102),所述水冷仓(3)一侧设置有进水口(103),用于持续的供水。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒加工冷却装置,其特征在于:所述挡水隔板(5)一侧安装有对称的电动缸(6),所述电动缸(6)推出端设置有海绵块(7),所述海绵块(7)内设置有卡槽,通过海绵块(7)进行快速吸水。
技术总结本技术公开了一种单晶硅棒加工冷却装置,包括冷却箱,冷却箱上通过铰链连接有防护罩壳,且防护罩壳通过连杆套件与冷却箱连接,提高整体强度,防护罩壳两侧设置有料口,冷却箱两端设置有牵引机构,通过牵引机构带动硅棒件输送,冷却箱内设置有水冷仓以及风干仓,且通过设置在冷却箱内的挡水隔板进行独立区分,水冷仓内设置有冷却机构,风干仓内设置有多个出风口,多个出风口上方正对硅棒件,每个出风口内均安装有风机,相邻两个出风口之间设置有导向筒,导向筒与硅棒件间隙配合,其优点在于,可以对硅棒件进行稳定的清理,自动输送,快速水冷以及自动吸水风干,保证冷却的同时还可以进行表面清洁,大大提高硅棒件的整体质量。技术研发人员:陈晶受保护的技术使用者:无锡艺新能源有限公司技术研发日:20240508技术公布日:2024/12/23本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20241226/344790.html
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