用于生产外延晶圆的方法和系统与流程

本公开涉及半导体制造，具体地，涉及用于生产外延晶圆的方法和系统。

背景技术：

1、外延晶圆是一种通过在衬底晶圆上应用外延生长技术来沉积单晶硅层的产品，其具有表面缺陷少、厚度可调和电阻率可控等优点。外延生长过程是在专门的外延炉的密封腔室内进行的，这个腔室的状态对整个生长过程和最终外延晶圆的品质有着决定性的影响。

2、由于各类外延晶圆产品对腔室状态的要求各异，为了确保生产出符合特定质量标准的产品，需要安排与质量要求相匹配的腔室进行相应生产。因此，在安排生产之前，需要对各个腔室的状态进行评价。目前，该评价工作通常由人工完成，工作人员运用其专业知识和经验，通过对从腔室生产出的外延晶圆的特征数据进行分析，进而形成对该腔室状态的个人判断。

3、然而，由于评价工作涉及对众多特征数据的综合分析，工作人员在短时间内难以得出全面考虑的结果，导致评价过程效率不高，进而对生产分配的效率造成限制。此外，人工评价的主观性较大，不同工作人员可能会给出不同评价结果，致使评价结果的可靠性和准确性较低，这可能导致腔室分配不合理，进而影响生产资源配置和产品质量。

技术实现思路

1、本部分提供本公开的总体概要，而不是对本公开的全部范围或所有特征的全面公开。

2、本公开的目的在于提供一种能够提升生产分配效率的用于生产外延晶圆的方法和系统。

3、本公开的另一目的在于提供一种能够提升腔室分配的合理性的用于生产外延晶圆的方法和系统。

4、为了实现上述目的，根据本公开的一方面，提供了一种用于生产外延晶圆的方法，包括：

5、根据在外延炉的腔室中生产的外延晶圆的多个特征的数据和与数据对应的权重获取腔室的总分；

6、基于总分对腔室进行生产分配。

7、在一些实施方式中，根据在外延炉的腔室中生产的外延晶圆的多个特征的数据和与数据对应的权重获取腔室的总分可以包括：根据数据和与数据对应的目标值确定数据的得分，将得分和对应的权重进行加权求和来获取总分。

8、在一些实施方式中，基于总分对腔室进行生产分配可以包括：将总分与一阈值进行比较，在总分大于阈值时，根据总分与阈值的偏差程度对腔室进行分级，并根据分级分配腔室以进行生产。

9、在一些实施方式中，基于总分对腔室进行生产分配还可以包括：在总分小于或等于阈值时，将外延炉停机。

10、在一些实施方式中，用于生产外延晶圆的方法还可以包括：在获取腔室的总分之前，针对多个特征的数据构建权重。

11、在一些实施方式中，用于生产外延晶圆的方法还可以包括：在获取腔室的总分之前，对外延晶圆的多个特征进行测量以获得数据。

12、在一些实施方式中，腔室的总分可以根据每次在腔室中生产的外延晶圆的多个特征的数据进行更新。

13、在一些实施方式中，多个特征可以选自包括下述各者的组：外延晶圆的电阻率、厚度、缺陷、平坦度、颗粒水平和金属水平。

14、在一些实施方式中，多个特征中的每个特征可以包括至少一项数据。

15、根据本公开的另一方面，提供了一种用于生产外延晶圆的系统，包括：

16、计算单元，其用于根据在外延炉的腔室中生产的外延晶圆的多个特征的数据和与数据对应的权重获取腔室的总分；

17、分配单元，其用于基于总分对腔室进行生产分配。

18、根据上述技术方案，采用以数据和权重为基础的评分系统来确定腔室的总分，使得外延晶圆的各个特征能够根据其重要性得到相应的考量，并且腔室的状态能够通过具体的数值来衡量，从而实现了腔室状态的评价过程的客观化和标准化。由此，避免了个人主观判断的干扰，提高了评价结果的可靠性和准确性，使得腔室的分配更加合理，有利于优化资源配置并提高产品质量。此外，评价过程的客观化和标准化还有利于缩短评价时间，提高评价效率，从而加快生产分配的速度，提升生产效率。

技术特征：

1.一种用于生产外延晶圆的方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于生产外延晶圆的方法，其特征在于，所述根据在外延炉的腔室中生产的外延晶圆的多个特征的数据和与所述数据对应的权重获取所述腔室的总分包括：根据所述数据和与所述数据对应的目标值确定所述数据的得分，将所述得分和对应的所述权重进行加权求和来获取所述总分。

3.根据权利要求1所述的用于生产外延晶圆的方法，其特征在于，所述基于所述总分对所述腔室进行生产分配包括：将所述总分与一阈值进行比较，在所述总分大于所述阈值时，根据所述总分与所述阈值的偏差程度对所述腔室进行分级，并根据所述分级分配所述腔室以进行生产。

4.根据权利要求3所述的用于生产外延晶圆的方法，其特征在于，所述基于所述总分对所述腔室进行生产分配还包括：在所述总分小于或等于所述阈值时，将所述外延炉停机。

5.根据权利要求1所述的用于生产外延晶圆的方法，其特征在于，还包括：在所述获取所述腔室的总分之前，针对所述多个特征的所述数据构建所述权重。

6.根据权利要求1所述的用于生产外延晶圆的方法，其特征在于，还包括：在所述获取所述腔室的总分之前，对所述外延晶圆的所述多个特征进行测量以获得所述数据。

7.根据权利要求1所述的用于生产外延晶圆的方法，其特征在于，所述腔室的所述总分根据每次在所述腔室中生产的外延晶圆的所述多个特征的所述数据进行更新。

8.根据权利要求1所述的用于生产外延晶圆的方法，其特征在于，所述多个特征选自包括下述各者的组：所述外延晶圆的电阻率、厚度、缺陷、平坦度、颗粒水平和金属水平。

9.根据权利要求1所述的用于生产外延晶圆的方法，其特征在于，所述多个特征中的每个特征包括至少一项数据。

10.一种用于生产外延晶圆的系统，其特征在于，包括：

技术总结本公开涉及一种用于生产外延晶圆的方法和系统。用于生产外延晶圆的方法包括：根据在外延炉的腔室中生产的外延晶圆的多个特征的数据和与数据对应的权重获取腔室的总分；基于总分对腔室进行生产分配。根据本公开的用于生产外延晶圆的方法和系统，能够提升外延晶圆生产中的生产分配效率，并且能够提升外延晶圆生产中腔室分配的合理性。技术研发人员：梁鹏欢受保护的技术使用者：西安奕斯伟材料科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/12/23