一种镀膜小型溅射仪的制作方法

本技术涉及镀膜溅射仪，更具体地涉及一种镀膜小型溅射仪。

背景技术：

1、在电子产品制造过程中，经常需要对其表面进行镀膜，此时便需要用到相关的镀膜溅射仪，又称为溅射镀膜仪，其主要功能是在真空状态下，将惰性气体离子束经过电场加速和磁场约束后轰击作用靶材表面，使得靶材原子脱离靶材溢出，到达被镀基片表面进行沉积，在基片表面生成不同厚度、不同材料的薄膜层。

2、现有技术中，中国专利公告号为cn220503174u的专利就公开了一体式磁控溅射镀膜机，该实用新型通过控制双向螺杆转动，使得上下两块基片放置框相向运动或相背运动，便于上下两侧的基片放置框对样品进行限位，避免外部撞击时样品偏移影响到镀膜效果，并通过转杆﹑连接块与电机一，便于控制基片放置框上样品进行翻转，方便对样品不同面进行镀膜。

3、然而，上述现有技术中，采用的是螺杆驱动基片放置框移动来固定待镀膜基片，而其螺杆以及相关活动件均是裸露暴露在设备内，这样一来，镀膜过程中，靶材离子也会镀在螺杆等活动件表面，这很容易造成相关活动件卡死，综合来说，使用起来具有一定缺陷。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供了一种镀膜小型溅射仪，以解决上述背景技术中存在的问题。

2、本实用新型提供如下技术方案：一种镀膜小型溅射仪，包括：工作箱、磁控靶、基片固定板、限位组件、驱动组件，磁控靶安装在工作箱的内底部，基片固定板转动安装在工作箱的内顶部，限位组件安装在基片固定板上，通过限位组件对待镀膜的基片进行限位，驱动组件连接在基片固定板与工作箱之间，且通过驱动组件驱使基片固定板转动。

3、进一步的，限位组件包括限位条，限位条处于基片固定板的下表面，且限位条可上下滑动，限位条远离基片固定板的端部转动安装有连接轴，连接轴的顶端固定安装有连杆，连杆远离连接轴的端部固定安装有套环，套环设置在基片固定板的上方，且套环滑动套设在基片固定板的转轴上。

4、进一步的，限位组件还包括压缩弹簧，压缩弹簧安装在套环与基片固定板之间，且压缩弹簧套设在基片固定板的转轴上。

5、进一步的，限位条、连接轴以及连杆有多个，且围绕套环圆柱面呈圆周对称分布。

6、进一步的，基片固定板的上表面固定安装有若干导向块，且连杆滑动安装在两两导向块之间。

7、进一步的，驱动组件包括电机，电机的转轴与基片固定板的转轴为可拆卸的同轴连接。

8、进一步的，电机的输出轴端部开设有插孔，基片固定板的转轴端部插设在插孔内，电机输出轴的表面开设有销孔，同时销孔贯穿基片固定板的转轴，销孔中插设有限位螺栓。

9、进一步的，基片固定板的下表面开设有若干凹槽，且凹槽与限位条为错位设置，基片固定板的转轴表面固定安装有限位环。

10、本实用新型的技术效果和优点：

11、1.本实用新型，在整个使用过程中，由于限位组件位于基片固定板的上表面，即背离磁控靶的一面，这样一来，在镀膜过程中，便不会镀在限位组件的活动件上，从而可以避免出现卡死的情况，相对来说，功能更加完善。

12、2.本实用新型，在使用过程中，使用者可以任意转动限位条和按压连杆下降来带动限位条下降，如此，便可对不同厚度，不同形状的基片进行固定，这极大的增加了整个设备的适用范围，使用起来更加方便。

技术特征：

1.一种镀膜小型溅射仪，其特征在于，包括：工作箱(1)、磁控靶(2)、基片固定板(3)、限位组件、驱动组件，磁控靶(2)安装在工作箱(1)的内底部，基片固定板(3)转动安装在工作箱(1)的内顶部，限位组件安装在基片固定板(3)上，通过限位组件对待镀膜的基片进行限位，驱动组件连接在基片固定板(3)与工作箱(1)之间，且通过驱动组件驱使基片固定板(3)转动。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜小型溅射仪，其特征在于：所述限位组件包括限位条(4)，限位条(4)处于基片固定板(3)的下表面，且限位条(4)可上下滑动，限位条(4)远离基片固定板(3)的端部转动安装有连接轴(5)，连接轴(5)的顶端固定安装有连杆(6)，连杆(6)远离连接轴(5)的端部固定安装有套环(7)，套环(7)设置在基片固定板(3)的上方，且套环(7)滑动套设在基片固定板(3)的转轴上。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜小型溅射仪，其特征在于：所述限位组件还包括压缩弹簧(8)，压缩弹簧(8)安装在套环(7)与基片固定板(3)之间，且压缩弹簧(8)套设在基片固定板(3)的转轴上。

4.根据权利要求2或3所述的一种镀膜小型溅射仪，其特征在于：所述限位条(4)、连接轴(5)以及连杆(6)有多个，且围绕套环(7)圆柱面呈圆周对称分布。

5.根据权利要求4所述的一种镀膜小型溅射仪，其特征在于：所述基片固定板(3)的上表面固定安装有若干导向块(9)，且连杆(6)滑动安装在两两导向块(9)之间。

6.根据权利要求5所述的一种镀膜小型溅射仪，其特征在于：所述驱动组件包括电机(10)，电机(10)的转轴与基片固定板(3)的转轴为可拆卸的同轴连接。

7.根据权利要求6所述的一种镀膜小型溅射仪，其特征在于：所述电机(10)的输出轴端部开设有插孔(11)，基片固定板(3)的转轴端部插设在插孔(11)内，电机(10)输出轴的表面开设有销孔(12)，同时销孔(12)贯穿基片固定板(3)的转轴，销孔(12)中插设有限位螺栓(13)。

8.根据权利要求1所述的一种镀膜小型溅射仪，其特征在于：所述基片固定板(3)的下表面开设有若干凹槽(14)，且凹槽(14)与限位条(4)为错位设置，基片固定板(3)的转轴表面固定安装有限位环(15)。

技术总结本技术涉及溅射仪技术领域，且公开了一种镀膜小型溅射仪，包括：工作箱、磁控靶、基片固定板、限位组件、驱动组件，磁控靶安装在工作箱的内底部，基片固定板转动安装在工作箱的内顶部，限位组件安装在基片固定板上，通过限位组件对待镀膜的基片进行限位，驱动组件连接在基片固定板与工作箱之间，且通过驱动组件驱使基片固定板转动。本技术，在整个使用过程中，由于限位组件位于基片固定板的上表面，即背离磁控靶的一面，这样一来，在镀膜过程中，便不会镀在限位组件的活动件上，从而可以避免出现卡死的情况，相对来说，功能更加完善。技术研发人员：占靖受保护的技术使用者：北京华晨智创科技有限公司技术研发日：20240514技术公布日：2024/12/23