一种超小型石英晶片的腐蚀刻蚀装备的制作方法

本技术涉及石英晶片生产设备领域，尤其涉及了一种超小型石英晶片的腐蚀刻蚀装备。

背景技术：

1、石英晶片在进行湿法刻蚀工艺处理时，首先将石英晶片放置在刻蚀溶液中，然后经过一段时间后，再将石英晶片放置在清洗液中进行清洗，这种方式一方面使得石英晶片在转移过程中增加工作人员的劳动强度，另一方面由于刻蚀溶液与石英晶片的接触时长难以控制，因此常会导致刻蚀深度难以控制，而且在刻蚀结束后，采用清洗液对石英晶片进行清洗时，混合废液难以回收处理，导致清洗液和刻蚀溶液的回收处理难度加大，

2、如申请号：cn202010277329.8公开的一种石英晶片生产专用刻蚀设备及其使用方法包括立架，立架上设置有驱动机构和输送带，驱动机构位于输送带上方，驱动机构的两侧均设置有连杆组件，右侧的连杆组件连接刻蚀溶液输出机构、左侧的连杆组件连接清洗液输出机构，清洗液输出机构与废液回收机构相连接，输送带通过链轮组件与驱动机构相连接，且输送带上等间隔固定有多个溶液池。

3、然而，在传统晶片蚀刻工艺中，人力进行蚀刻操作，不仅蚀刻时间不稳定而且人员操作过程中也有一定程度的风险，存在清洗液在清洗后的混合废液不方便回收的问题。

技术实现思路

1、为了解决传统蚀刻工艺，人力操作下蚀刻时间不稳定，废液回收不便的问题，本实用新型提供了一种超小型石英晶片的腐蚀刻蚀装备，来解决该问题。

2、为达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种超小型石英晶片的腐蚀刻蚀装备，包括：支撑载体、蚀刻驱动装置、载物装置和传动驱动装置，所述支撑载体上设置有工作滑道，工作滑道为w形，所述工作滑道包括：送入蚀刻滑道、清洗滑道和送出滑道，送入蚀刻滑道、清洗滑道和送出滑道贯通连接，所述载物装置滑动设置在工作滑道内，蚀刻驱动装置设置在清洗滑道下侧，传动驱动装置设置在送出滑道下侧，蚀刻驱动装置和传动驱动装置的驱动端与载物装置配合使用，送入蚀刻滑道最低点正下方设置有蚀刻池，清洗滑道最低点正下方设置有清洗池。

4、优选的，所述蚀刻池和清洗池上设置有出水口和进水口。

5、优选的，所述蚀刻驱动装置包括：第一电机和第一驱动杆，所述第一电机固定设置在清洗滑道下侧，第一电机的输出端与第一驱动杆一端固定连接，第一驱动杆另一端为开口且与载物装置配合连接。

6、优选的，所述传动驱动装置包括：第二电机和第二驱动杆，所述第二电机固定设置在送出滑道下侧，第二电机输出端与第二驱动杆一端固定连接，第二驱动杆另一端为开口且与载物装置配合连接。

7、优选的，所述载物装置包括：连接杆、限位块、摆动臂、夹板、载物架、弹簧和卡接杆，所述连接杆与第一驱动杆或第二驱动杆上的开口配合连接，连接杆端部设置有限位块，摆动臂上端转动设置在连接杆上，摆动臂下部与夹板中部铰接，夹板上端与摆动臂通过弹簧连接，夹板下端与卡接杆固定连接，夹板通过卡接杆与载物架连接。

8、优选的，所述载物架包括：连接块、载物板和载物连接杆，连接块与卡接杆配合连接，连接块下侧设置有多组载物板，多组载物板之间通过载物连接杆固定连接。

9、本实用新型的优点在于：通过工作滑道与传动带进行连接，可以将装置整体直接接入加工流程中，通过驱动装置驱动载物装置进行蚀刻和清洗，通过电机进行控制保证了蚀刻时间的准确性，设置的排水口和进水口使溶液更加便于回收，提升了蚀刻过程的效率和精度，降低蚀刻工作的成本。

技术特征：

1.一种超小型石英晶片的腐蚀刻蚀装备，其特征在于，包括：支撑载体(1)、蚀刻驱动装置(2)、载物装置(3)和传动驱动装置(4)，所述支撑载体(1)上设置有工作滑道(5)，工作滑道(5)为w形，所述工作滑道(5)包括：送入蚀刻滑道(51)、清洗滑道(52)和送出滑道(53)，送入蚀刻滑道(51)、清洗滑道(52)和送出滑道(53)贯通连接，所述载物装置(3)滑动设置在工作滑道(5)内，蚀刻驱动装置(2)设置在清洗滑道(52)下侧，传动驱动装置(4)设置在送出滑道(53)下侧，蚀刻驱动装置(2)和传动驱动装置(4)的驱动端与载物装置(3)配合使用，送入蚀刻滑道(51)最低点正下方设置有蚀刻池(11)，清洗滑道(52)最低点正下方设置有清洗池(12)。

2.根据权利要求1所述的一种超小型石英晶片的腐蚀刻蚀装备，其特征在于，所述蚀刻池(11)和清洗池(12)上设置有出水口(13)和进水口(14)。

3.根据权利要求1所述的一种超小型石英晶片的腐蚀刻蚀装备，其特征在于，所述蚀刻驱动装置(2)包括：第一电机(21)和第一驱动杆(22)，所述第一电机(21)固定设置在清洗滑道(52)下侧，第一电机(21)的输出端与第一驱动杆(22)一端固定连接，第一驱动杆(22)另一端为开口且与载物装置(3)配合连接。

4.根据权利要求1所述的一种超小型石英晶片的腐蚀刻蚀装备，其特征在于，所述传动驱动装置(4)包括：第二电机(41)和第二驱动杆(42)，所述第二电机(41)固定设置在送出滑道(53)下侧，第二电机(41)输出端与第二驱动杆(42)一端固定连接，第二驱动杆(42)另一端为开口且与载物装置(3)配合连接。

5.根据权利要求3或4所述的一种超小型石英晶片的腐蚀刻蚀装备，其特征在于，所述载物装置(3)包括：连接杆(31)、限位块(32)、摆动臂(33)、夹板(34)、载物架(35)、弹簧(36)和卡接杆(37)，所述连接杆(31)与第一驱动杆(22)或第二驱动杆(42)上的开口配合连接，连接杆(31)端部设置有限位块(32)，摆动臂(33)上端转动设置在连接杆(31)上，摆动臂(33)下部与夹板(34)中部铰接，夹板(34)上端与摆动臂(33)通过弹簧(36)连接，夹板(34)下端与卡接杆(37)固定连接，夹板(34)通过卡接杆(37)与载物架(35)连接。

6.根据权利要求5所述的一种超小型石英晶片的腐蚀刻蚀装备，其特征在于，所述载物架(35)包括：连接块(351)、载物板(352)和载物连接杆(353)，连接块(351)与卡接杆(37)配合连接，连接块(351)下侧设置有多组载物板(352)，多组载物板(352)之间通过载物连接杆(353)固定连接。

技术总结本技术涉及石英晶片生产设备领域，提供了一种超小型石英晶片的腐蚀刻蚀装备，包括：支撑载体、蚀刻驱动装置、载物装置、传动驱动装置和工作滑道，工作滑道开设在支撑载体上，载物装置滑动设置在工作滑道中，蚀刻驱动装置和传动驱动装置与载物装置配合连接，使载物装置能沿工作滑道移动，进行蚀刻和清洗工作，并从装置中送出，蚀刻池和清洗池上开设的进水口和出水口通过水管与水箱连接，可以及时更换回收溶液，本技术结构简单，效果明显，在石英晶片生产过程中，将蚀刻流程简洁化，降低人工成本，通过电机控制，使晶片浸泡时间更加精准可控，提升蚀刻效率和精度。技术研发人员：闫金凯,牛一帆,闫益豪受保护的技术使用者：唐山凯泰润科技有限公司技术研发日：20240516技术公布日：2024/12/23