一种自适应分区吸盘的制作方法

本技术属于吸盘，尤其涉及一种自适应分区吸盘。

背景技术：

1、直写光刻机吸盘是光刻机的重要组成部分。吸盘的大小、平面度、吸附方式和吸附力大小等因素对pcb制版的实际生产制造有着重要影响。在使用直写光刻机进行pcb制版时，由于pcb板差异很大，市场上常用的单台面、双台面机型，其吸盘部分是相似的，都是针对尺寸在24、32寸等常规统一大小的pcb板。但是随着市场发展，定制的pcb板尺寸越来越多，且呈现出尺寸不统一的现象，现有的吸盘已无法满足需求，随之而来逐渐需要定制大尺寸的吸盘通过多分区域的设计来满足不同尺寸的pcb板。

2、例如公告号为cn202221515u的中国实用新型专利公开了用于直写式光刻机的多区域真空吸盘。包括矩形盘状的吸盘本体，吸盘本体一侧面中部设有一圆形的空腔，空腔处通过螺钉设有腔盖；所述吸盘本体另一侧面上由一侧边缘向中部延伸设有一条安装槽，吸盘本体上均布设有两条以上的大半圆形的真空槽，其中最内侧的一条真空槽位于安装槽内，其它真空槽均环绕在安装槽外侧；每条真空槽的底部连通着一条进气管，进气管的进气口位于吸盘本体另一侧边缘；每条真空槽外侧的吸盘本体上设有两个挡销。本实用新型实现了一个真空吸盘可吸附不同规格的硅片，避免了多种规格硅片吸盘的制作，降低了生产成本；同时，避免了曝光过程中频繁更换硅片吸盘，提高了生产效率。

3、上述专利所提供的技术方案中虽然实现了对多种规格的硅片的吸附，但面对越来越多的定制化尺寸，该方案已经无法满足实际的生产需求。因此，为了满足吸盘需求，本实用新型将设计一种自适应分区吸盘来解决该问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于：为了解决当前吸盘无法满足众多尺寸的pcb的吸附需求的问题，而提出的一种自适应分区吸盘。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种自适应分区吸盘，包括呈阵列布置的若干逻辑阀，所述逻辑阀的出气口与负压设备连通，若干逻辑阀的进气口形成用于吸附板材的吸附平面；

4、所述逻辑阀包括：

5、导气通道，进气口和出气口分别设置在导气通道的两端；以及

6、活塞，通过弹性件可活动的设置在进气口和出气口之间，且活塞与导气通道的内壁之间形成有环形的导气间隙；

7、其中，进气口未被板材覆盖的逻辑阀内部的活塞通过负压设备的抽吸力将出气口封堵。

8、优选的，所述导气通道的内部嵌入设置有密封圈，所述密封圈与导气通道同轴设置，所述进气口未被板材覆盖的逻辑阀内部的活塞通过负压设备的抽吸力压抵在密封圈上，使出气口封堵。

9、优选的，所述逻辑阀还包括阀体和阀盖，所述出气口和导气通道均开设在阀体上，所述进气口开设在阀盖上。

10、优选的，还包括安装板，所述逻辑阀安装在安装板其中一个板面上开设的安装孔内部。

11、优选的，所述逻辑阀的进气口设置在安装孔的内部或者与安装板的其中一个板面相平齐。

12、优选的，所述安装板的内部设置有抽真空腔，所述出气口与抽真空腔相连通，且抽真空腔与负压设备连通。

13、优选的，所述安装板包括固定连接的上板体和下板体，所述安装孔开设在上板体上，所述抽真空腔设置在上板体和下板体之间。

14、优选的，所述抽真空腔开设在下板体靠近上板体的板面上。

15、优选的，还包括设置在逻辑阀的进气口位置的吸盘垫，所述吸盘垫上对应进气口的位置开设有气孔。

16、优选的，还包括设置在逻辑阀的进气口位置的过滤网，所述过滤网用于过滤进入到进气口内部的气体。

17、综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

18、本实用新型中，通过设置呈阵列布置的若干逻辑阀，在逻辑阀的进气口未被板材(例如pcb)覆盖时，该逻辑阀可以在负压设备启动的一瞬间关闭，防止该逻辑阀漏气，而当逻辑阀的进气口被板材(例如pcb)覆盖时，由于外部环境中的空气无法通过该进气口进入到导气通道的内部，由此，负压设备产生的负压就会传递到该进气口的位置，完成对板材(例如pcb)的吸附固定，整个吸盘可以根据板材(例如pcb)的实际尺寸进行吸附面积的自适应改变，从而满足各种尺寸的板材(例如pcb)的生产需求。

技术特征：

1.一种自适应分区吸盘，其特征在于，包括呈阵列布置的若干逻辑阀(1)，所述逻辑阀(1)的出气口(111b)与负压设备连通，若干逻辑阀(1)的进气口(111a)形成用于吸附板材的吸附平面；

2.根据权利要求1所述的一种自适应分区吸盘，其特征在于，所述导气通道(111c)的内部嵌入设置有密封圈(14)，所述密封圈(14)与导气通道(111c)同轴设置，所述进气口(111a)未被板材覆盖的逻辑阀(1)内部的活塞(12)通过负压设备的抽吸力压抵在密封圈(14)上，使出气口(111b)封堵。

3.根据权利要求1所述的一种自适应分区吸盘，其特征在于，所述逻辑阀(1)还包括阀体(11)和阀盖(15)，所述出气口(111b)和导气通道(111c)均开设在阀体(11)上，所述进气口(111a)开设在阀盖(15)上。

4.根据权利要求1所述的一种自适应分区吸盘，其特征在于，还包括安装板(2)，所述逻辑阀(1)安装在安装板(2)其中一个板面上开设的安装孔(211)内部。

5.根据权利要求4所述的一种自适应分区吸盘，其特征在于，所述逻辑阀(1)的进气口(111a)设置在安装孔(211)的内部或者与安装板(2)的其中一个板面相平齐。

6.根据权利要求4所述的一种自适应分区吸盘，其特征在于，所述安装板(2)的内部设置有抽真空腔(23)，所述出气口(111b)与抽真空腔(23)相连通，且抽真空腔(23)与负压设备连通。

7.根据权利要求6所述的一种自适应分区吸盘，其特征在于，所述安装板(2)包括固定连接的上板体(21)和下板体(22)，所述安装孔(211)开设在上板体(21)上，所述抽真空腔(23)设置在上板体(21)和下板体(22)之间。

8.根据权利要求7所述的一种自适应分区吸盘，其特征在于，所述抽真空腔(23)开设在下板体(22)靠近上板体(21)的板面上。

9.根据权利要求1所述的一种自适应分区吸盘，其特征在于，还包括设置在逻辑阀(1)的进气口(111a)位置的吸盘垫(3)，所述吸盘垫(3)上对应进气口(111a)的位置开设有气孔(31)。

10.根据权利要求1或9所述的一种自适应分区吸盘，其特征在于，还包括设置在逻辑阀(1)的进气口(111a)位置的过滤网(4)，所述过滤网(4)用于过滤进入到进气口(111a)内部的气体。

技术总结本技术公开了一种自适应分区吸盘，属于吸盘技术领域，包括呈阵列布置的若干逻辑阀，所述逻辑阀的出气口与负压设备连通，若干逻辑阀的进气口形成用于吸附板材的吸附平面；所述逻辑阀包括：导气通道以及活塞，进气口和出气口分别设置在导气通道的两端；活塞通过弹性件可活动的设置在进气口和出气口之间，且活塞与导气通道的内壁之间形成有环形的导气间隙；其中，进气口未被板材覆盖的逻辑阀内部的活塞通过负压设备的抽吸力将出气口封堵。本技术中的吸盘可以根据板材的实际尺寸进行吸附面积的自适应改变，从而满足各种尺寸的板材的生产需求。技术研发人员：程刚,刘新宇受保护的技术使用者：合肥芯碁微电子装备股份有限公司技术研发日：20231211技术公布日：2024/12/23