一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件的制作方法
- 国知局
- 2024-12-26 15:39:08
本技术涉及碳化硅晶片,具体涉及一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件。
背景技术:
1、中国专利公开了一种碳化硅晶片清洗用固定机构(公开号:cn218014750u),包括清洗机本体,所述清洗机本体的底部固定安装有安装轮,所述清洗机本体的内顶部壁固定安装有蓄水盒,所述蓄水盒的右侧固定安装有波纹管,所述波纹管的底部固定安装有安装筒;该碳化硅晶片清洗用固定机构,通过设置夹持机构,在两个电动推杆的作用下,两个电动推杆向相背离一侧进行收缩,带动两个输出轴处的安装杆,通过两个安装套在支撑杆的外表面向相背离一侧滑动,两个安装杆运动的同时带动两个活动杆,使两个活动杆通过活动轴在滑槽的内部向相背离一侧进行滑动,两个稳定杆通过两个安装轴带动两个夹持杆,使两个夹持杆之间的距离变大,这时可以将要进行清洗的碳化硅晶片放入;
2、现在的碳化硅晶片在清洗之初需要利用洁净水对碳化硅晶片清洗进行持续冲洗,清除附着在碳化硅晶片表面的杂质,现有的固定机构难以在不拆卸碳化硅晶片的情况下将其翻转,即使可以直接翻转,但是其角度无法多角度的控制,且旋转角度的精确性有限。
技术实现思路
1、本实用新型所要解决的技术问题如下:
2、1、固定机构的角度无法多角度调节,即使可以调节,旋转角度的精确性有限。
3、本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现:
4、一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件,包括工作台,所述工作台的一侧固定连接有支撑板,所述支撑板的顶部固定连接有清洗喷头,所述工作台的上表面安装有清洗箱,所述清洗喷头斜向插入清洗箱,所述清洗箱的内部开设有位于工作台上的落水口;所述工作台的上表面一角设置有调节组件,所述工作台的两侧设置有固定机构;所述调节组件包括与工作台固定连接的调节电机,所述调节电机的输出端固定连接有驱动盘,所述驱动盘卡合连接有卡合盘,所述卡合盘贯穿连接有驱动轴,所述驱动轴上固定连接有驱动轮,所述驱动轴的另一端固定连接有蜗杆,所述蜗杆啮合连接有蜗轮,所述蜗轮贯穿连接有伸入清洗箱内部的推杆。
5、作为本实用新型进一步的方案:所述驱动盘的中部固定连接有限位盘,所述限位盘与卡合盘贴合,所述驱动盘的边缘固定连接有限位柱,所述卡合盘上开设有卡合槽,所述限位柱与卡合槽卡合连接。
6、作为本实用新型进一步的方案:所述驱动轮上套设有传送带,所述传送带的另一端啮合连接有从动轮,所述从动轮的侧边固定连接有另一个蜗杆。
7、作为本实用新型进一步的方案:所述固定机构包括安装在工作台侧边的第二电机,所述第二电机的输出端固定连接有双向螺杆,所述双向螺杆,所述双向螺杆上套设有滑套,所述滑套与推杆转动连接。
8、作为本实用新型进一步的方案:所述推杆伸入清洗箱内部的一端固定连接有夹持套,所述夹持套的内部转动连接有微型螺杆,所述微型螺杆上套设有螺套,所述螺套的侧边与夹持套的底部均固定连接有固定夹板,所述微型螺杆的一端固定连接有微型马达。
9、作为本实用新型进一步的方案:所述蜗轮的侧边转动连接有与工作台上表面固定连接的支撑架,所述蜗轮滑动连接,所述推杆与支撑架贯穿连接。
10、作为本实用新型进一步的方案:所述从动轮与工作台转动连接,两个所述蜗杆均转动连接有工作台。
11、本实用新型的有益效果:
12、1、通过设置带有驱动盘和卡合盘的调节组件,使得推杆可以在调节电机的控制下,自动调节旋转至特定角度,省时省力的同时,确保被夹持的碳化硅晶片能保持水平或垂直的角度被持续冲洗,并在冲洗的过程中逐渐旋转,最终使得杂质被有效清理。
13、2、通过设置带有双向螺杆和夹持套的固定组件,使得推杆可以推动夹持套移动,从而适应多种大小的碳化硅晶片,而固定夹板能保证多种厚度的碳化硅晶片均能被有效夹持,避免碳化硅晶片在旋转的过程中滑落。
技术特征:1.一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件,包括工作台(1),所述工作台(1)的一侧固定连接有支撑板(101),所述支撑板(101)的顶部固定连接有清洗喷头(102),所述工作台(1)的上表面安装有清洗箱(103),所述清洗喷头(102)斜向插入清洗箱(103),所述清洗箱(103)的内部开设有位于工作台(1)上的落水口(104);
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件,其特征在于:所述驱动盘(202)的中部固定连接有限位盘(211),所述限位盘(211)与卡合盘(203)贴合,所述驱动盘(202)的边缘固定连接有限位柱(212),所述卡合盘(203)上开设有卡合槽(213),所述限位柱(212)与卡合槽(213)卡合连接。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件,其特征在于:所述驱动轮(205)上套设有传送带(206),所述传送带(206)的另一端啮合连接有从动轮(207),所述从动轮(207)的侧边固定连接有另一个蜗杆(208)。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件,其特征在于:所述固定机构(3)包括安装在工作台(1)侧边的第二电机(301),所述第二电机(301)的输出端固定连接有双向螺杆(302),所述双向螺杆(302),所述双向螺杆(302)上套设有滑套(303),所述滑套(303)与推杆(304)转动连接。
5.根据权利要求4所述的一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件,其特征在于:所述推杆(304)伸入清洗箱(103)内部的一端固定连接有夹持套(305),所述夹持套(305)的内部转动连接有微型螺杆(307),所述微型螺杆(307)上套设有螺套(308),所述螺套(308)的侧边与夹持套(305)的底部均固定连接有固定夹板(309),所述微型螺杆(307)的一端固定连接有微型马达(306)。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件,其特征在于:所述蜗轮(209)的侧边转动连接有与工作台(1)上表面固定连接的支撑架(210),所述蜗轮(209)与推杆(304)滑动连接,所述推杆(304)与支撑架(210)贯穿连接。
7.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件,其特征在于:所述从动轮(207)与工作台(1)转动连接,两个所述蜗杆(208)均转动连接有工作台(1)。
技术总结本技术公开了一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件,包括工作台,所述工作台的上表面安装有清洗箱,所述清洗箱的内部开设有落水口;所述工作台的上表面一角设置有调节组件,所述工作台的两侧设置有固定机构;所述调节组件包括与工作台固定连接的调节电机,所述调节电机的输出端固定连接有驱动盘,所述驱动盘卡合连接有卡合盘,所述卡合盘贯穿连接有驱动轴,所述驱动轴的另一端固定连接有蜗杆,所述蜗杆啮合连接有蜗轮,所述蜗轮贯穿连接有伸入清洗箱内部的推杆;通过卡合盘可以让碳化硅晶片旋转至特定角度,并特定角度被持续冲洗,省时省力的同时,可以自动旋转,最终使得杂质被有效清理。技术研发人员:陈宇翔,翟会阳,李永波,李纪宏受保护的技术使用者:苏州万龙达电子科技有限公司技术研发日:20240423技术公布日:2024/12/23本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20241226/346431.html
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