用于衬底处理系统的节流阀的制作方法

本公开内容涉及衬底处理系统，更具体地说，涉及用于衬底处理系统的气体管线的节流阀。

背景技术：

1、这里提供的背景描述是为了总体呈现本公开的背景的目的。在此背景技术部分中描述的范围内的当前指定的发明人的工作以及在提交申请时不能确定为现有技术的说明书的各方面既不明确也不暗示地承认是针对本公开的现有技术。

2、衬底处理系统可被使用于处理例如半导体晶片之类的衬底。衬底处理可包括沉积、蚀刻、清洁和其他处理。可在衬底上执行的示例性处理包括但不限于化学气相沉积(cvd)、原子层沉积(ald)、导体蚀刻、快速热处理(rtp)、离子注入、物理气相沉积(pvd)、和/或其他蚀刻、沉积或清洁处理。

3、可将衬底设置于在衬底处理系统的处理室中的诸如基座、静电卡盘(esc)等衬底支撑件上。在处理期间，可使用喷头(或其他气体输送设备)将包括一或更多种前体的气体混合物引入处理室中，并且可使用等离子体来引发化学反应。

4、泵和气动阀用于控制连接到处理室的气体管线中的真空压力。气体管线或前级管线(foreline)被设计为具有用于远程等离子体清洁(rpc)的高传导率。在一些处理中，下游阀受到限制(几乎关闭)以减少气体管线中的气流。这会导致阀的出口处出现大的压降。当阀处于该位置时，来自处理室的反应物/颗粒因阀处的压降而加速。结果，颗粒/反应物积累在阀下游的气体管线的特定位置处。随着时间的推移，气体管线最终会因堆积而堵塞。

技术实现思路

1、一种衬底处理系统的阀包含节流板，其被配置成调整通过气体管线的气流。外部致动器被设置在所述气体管线的外部。内部致动器被设置在所述气体管线的内部并连接到所述节流板。所述外部致动器磁耦合至所述内部致动器。所述外部致动器的移动引起所述内部致动器相对于所述气体管线的移动，以调整所述节流板的位置。

2、在其他特征中，所述外部致动器包括第一磁铁。所述内部致动器包括第二磁铁。所述外部致动器和所述内部致动器中的一者包括第一磁铁。所述外部致动器和所述内部致动器中的另一者包括含铁材料。

3、在其他特征中，所述外部致动器包括：第一块体；第二块体；以及环形板，其围绕所述气体管线的外表面连接所述第一块体和所述第二块体。所述第一块体和所述第二块体分别包括接收第一磁铁和第二磁铁的孔。所述节流板包括第一节流板和第二节流板。圆筒体被设置在所述气体管线内。

4、在其他特征中，所述第一节流板和所述第二节流板的径向内部分包括安装部分，以分别接收在所述圆筒体的侧表面之间延伸的第一销钉和第二销钉。所述第一节流板和所述第二节流板分别相对于所述第一销钉和所述第二销钉而枢转。所述内部致动器包括：第一臂部；第二臂部，其连接至所述第一臂部和所述第一节流板的径向外边缘；以及第三臂部，其连接至所述第一臂部和所述第二节流板的径向外边缘。

5、在其他特征中，所述第一节流板包括位于其下游表面上的安装部分。所述第二臂部延伸穿过所述第一节流板并连接至所述第一节流板的所述安装部分。所述第二节流板包括位于其下游表面上的安装部分。所述第三臂部延伸穿过所述第二节流板并连接至所述第二节流板的所述安装部分。

6、在其他特征中，所述第一臂部包括：第一臂部分，其沿径向方向延伸；以及第二臂部分，其包括连接至所述第一臂部分的第一端部和沿轴向方向延伸的第二端部。

7、在其他特征中，所述圆筒体包括分别位于其相对侧上的第一轴槽孔和第二轴槽孔。所述第一轴槽孔和所述第二轴槽孔接收所述第一臂部分的相对端部。所述第一臂部分的相对端部包括磁铁和含铁材料中的至少一者。所述第二臂部分的第二端部包括磁铁和含铁材料中的至少一者。所述圆筒体包括被设置为靠近所述第一节流板和所述第二节流板的第一开口和第二开口。

8、一种衬底处理系统的阀包含圆筒体，其包括第一轴槽孔和第二轴槽孔。第一节流板和第二节流板安装至所述圆筒体并相对于所述圆筒体而枢转。外部致动器被径向设置在气体管线外部并包括：第一块体，其包括第一磁铁；第二块体，其包括第二磁铁；以及环形板，其围绕所述气体管线的外表面连接所述第一块体和所述第二块体。内部致动器被径向设置在所述气体管线内部并且包括第一臂部，其包括沿径向方向延伸的第一臂部分，所述第一臂部分的第一端部设置在所述第一轴槽孔中并包括第三磁铁，且所述第一臂部分的第二端部设置在所述第二轴槽孔中并包括第四磁铁。第二臂部连接至所述第一臂部和所述第一节流板的径向外边缘。第三臂部连接至所述第一臂部和所述第二节流板的径向外边缘。

9、在其他特征中，致动器被配置成相对于所述气体管线选择性移动所述外部致动器。所述外部致动器的所述第一磁铁磁耦合至所述第一臂部分的所述第三磁铁。所述外部致动器的所述第二磁铁磁耦合至所述第一臂部分的所述第四磁铁。所述致动器的移动引起所述外部致动器和所述内部致动器相对于所述气体管线的移动，以调整所述第一节流板和所述第二节流板的位置。

10、在其他特征中，所述第一节流板和所述第二节流板的下游侧的径向内部包括安装部分，以分别接收在所述圆筒体的侧表面之间延伸的第一销钉和第二销钉。所述第一节流板和所述第二节流板分别相对于所述第一销钉和所述第二销钉而枢转。

11、在其他特征中，所述第一臂部还包括第二臂部分，所述第二臂部分在第一端部处连接到所述第一臂部分并沿轴向方向延伸。所述第二臂部分的第二端部包括第五磁铁。所述圆筒体包括第一开口和第二开口，所述第一开口和所述第二开口设置为靠近所述第一节流板和所述第二节流板。

12、根据详细描述、权利要求和附图，本公开内容的适用性的进一步的范围将变得显而易见。详细描述和具体示例仅用于说明的目的，并非意在限制本公开的范围。

技术特征：

1.一种衬底处理系统的阀，其包含：

2.根据权利要求1所述的阀，其中：

3.根据权利要求1所述的阀，其中：

4.根据权利要求1所述的阀，其中所述外部致动器包括：

5.根据权利要求4所述的阀，其中所述第一块体和所述第二块体分别包括接收第一磁铁和第二磁铁的孔。

6.根据权利要求1所述的阀，其中所述节流板包括第一节流板和第二节流板。

7.根据权利要求6所述的阀，其还包含设置在所述气体管线中的圆筒体。

8.根据权利要求7所述的阀，其中：

9.根据权利要求7所述的阀，其中所述内部致动器包括：

10.根据权利要求9所述的阀，其中：

11.根据权利要求9所述的阀，其中所述第一臂部包括：

12.根据权利要求11所述的阀，其中：所述圆筒体包括分别位于其相对侧上的第一轴槽孔和第二轴槽孔，且所述第一轴槽孔和所述第二轴槽孔接收所述第一臂部分的相对端部。

13.根据权利要求11所述的阀，其中所述第一臂部分的相对端部包括磁铁和含铁材料中的至少一者。

14.根据权利要求11所述的阀，其中所述第二臂部分的第二端部包括磁铁和含铁材料中的至少一者。

15.根据权利要求7所述的阀，其中所述圆筒体包括被设置为靠近所述第一节流板和所述第二节流板的第一开口和第二开口。

16.一种衬底处理系统的阀，其包含：

17.根据权利要求16所述的阀，其还包含：

18.根据权利要求16所述的阀，其中：

19.根据权利要求16所述的阀，其中：

20.根据权利要求16所述的阀，其中所述圆筒体包括第一开口和第二开口，所述第一开口和所述第二开口设置为靠近所述第一节流板和所述第二节流板。

技术总结一种衬底处理系统的阀包括节流板，其被配置成调整通过气体管线的气流。外部致动器被设置在该气体管线的外部。内部致动器被设置在该气体管线的内部并连接到该节流板。该外部致动器磁耦合至该内部致动器。该外部致动器的移动引起该内部致动器相对于该气体管线的移动，以调整该节流板的位置。技术研发人员：安德鲁·波尔斯受保护的技术使用者：朗姆研究公司技术研发日：技术公布日：2025/1/6