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一种无真空泵更换真空计装置及其更换方法与流程
本发明属于真空，具体地，涉及一种无真空泵更换真空计装置及其更换方法。背景技术：1、真空处理是一种工业领域常见的腔体处理办法。真空腔体进行真空处理后，通常会安装真空计用于检测真空度的变化。但由于真空计属......
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薄膜真空计的电容值检测方法、装置及电子设备与流程
本发明涉及电容检测，尤其涉及一种薄膜真空计的电容值检测方法、装置及电子设备。背景技术：1、真空计主要用来测量绝对气体压强的大小。2、基于不同的测量原理，真空计可以分为多种类型，薄膜真空计是近几年比较流......
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电容薄膜真空计膜片切割，焊接装置的制作方法
本申请涉及真空测量，尤其涉及一种电容薄膜真空计膜片切割，焊接装置。背景技术：1、在电容薄膜真空计结构中，感压膜片作为其中最主要的组成部分之一，传感器的诸多性能，例如灵敏度、线性度等均与感压膜片有着密切......
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一种硅基纳米真空计及其制备方法
本发明涉及真空传感器，尤其涉及一种硅基纳米真空计及其制备方法。背景技术：1、真空传感器是真空科学研究与真空测试技术中的重要器件。皮拉尼传感器广泛用于10-1～105pa的粗真空的测量。它包含暴露于被测......
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一种基于蛇形多孔硅隔热层的MEMS真空计及制备方法
一种基于蛇形多孔硅隔热层的mems真空计及制备方法技术领域1.本发明涉及真空测量技术领域，特别涉及一种基于蛇形多孔硅隔热层的mems真空计及制备方法。背景技术：2.mems真空计被广泛应用于真空度检测......
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一种基于多孔硅隔热层的MEMS真空计及其制备方法
一种基于多孔硅隔热层的mems真空计及其制备方法技术领域1.本发明涉及真空测量技术领域，特别涉及一种基于多孔硅隔热层的mems真空计及其制备方法。背景技术：2.mems真空计被广泛应用于真空度检测等领......
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MEMS薄膜真空计及其制备方法与流程
mems薄膜真空计及其制备方法技术领域1.本发明涉及mems领域，具体地，涉及一种mems（micro-electro-mechanical system，微机电系统）薄膜真空计及其制备方法。背景技术......
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MEMS真空计及其制备方法与流程
mems真空计及其制备方法技术领域1.本发明属于真空测量技术领域，具体涉及一种mems真空计及其制备方法。背景技术：2.气压计在高真空环境中的分支为真空计，微机电系统（mems, micro-elec......
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一种基于MEMS的电离真空计及其制备方法与流程
本发明涉及真空微电子技术与微纳加工制备的交叉领域，更具体地，涉及一种基于mems的电离真空计及其制备方法。背景技术：传感器是一种在工业以及研究领域极其重要的硬件。依托于微电子技术与计算机技术的发展，使......
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2024-09-11精选技术
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用于T梁转运的装置及方法与流程
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小数据传输失败报告的制作方法
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一种河道工程用河道清淤搅动装置的制作方法
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一种数据丢失情况下无人水面航行器的航向控制方法
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调控叶轮组的制作方法
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一种高低压气瓶组合的氮气推进系统的制作方法
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吊架及空铁交通系统的制作方法
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一种船体上层建筑分段建造工艺的制作方法
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