一种无真空泵更换真空计装置及其更换方法与流程

本发明属于真空，具体地，涉及一种无真空泵更换真空计装置及其更换方法。

背景技术：

1、真空处理是一种工业领域常见的腔体处理办法。真空腔体进行真空处理后，通常会安装真空计用于检测真空度的变化。但由于真空计属于精密仪器，需要定期检测，因此经常需要拆装真空计。

2、传统拆装真空计的方法是，利用阀门隔离真空计后拆卸，即在真空管路中设置阀门，通过开闭阀门，将真空计与真空腔体分开再进行更换。然而该方法会使得真空计的一部分连接管的真空失效，因此必须使用真空泵再次对该部分进行抽空。由于真空泵的体积较大，因此传统方式拆装真空计较为复杂且占地面积较大，实际操作繁琐，并且现阶段的技术均是改良、改善抽空效率的方向。

3、现有技术文件1（cn 206929377 u）公开了一种真空计隔离装置，属于半导体制造技术领域；装置包括一隔离腔室，隔离腔室下方设置有一连接真空计的第一开口，隔离腔室的一侧设置有一连接反应腔体的第二开口，还包括隔离手阀以及第一气体通道，通过一第三开口接入隔离腔室，第一气体通道未连接第三开口的一端连接一惰性气体的气体发生源。但该现有技术的不足之处在于即便使用惰性气体保护真空区域，依旧需要使用真空泵再次抽空。但目前的真空泵无法小型化，且重量较重，在一些环境条件苛刻，空间狭小的区域内，如何放置真空泵通常是更换真空计时必须解决的一项难题。

4、因此，目前亟需一种能够无需使用真空泵，就能更换真空计的装置及更换方法。

技术实现思路

1、为解决现有技术中存在的不足，本发明提供一种无需真空泵即可拆装更换真空计的连接装置及其更换方法。

2、本发明采用如下的技术方案。

3、本发明的第一方面一种无真空泵更换真空计装置，包括：真空计、真空法兰、第一不锈钢管和第二不锈钢管，所述第一不锈钢管与真空法兰的一端相连接，真空法兰的另一端与真空计相连接，所述第一不锈钢管和第二不锈钢管呈“t”字形设置连接；

4、所述第一不锈钢管内设置有橡胶密封滑动头和第一推拉杆，橡胶密封滑动头设置于第一推拉杆的端部，第一推拉杆在第一不锈钢管内滑动；

5、所述第二不锈钢管内设置有第二密封圈和第二推拉杆，第二密封圈设置于第二推拉杆的端部，第二推拉杆在第二不锈钢管内滑动；

6、所述第一推拉杆与第二推拉杆通过改变在不锈钢管中的密封位置，从而进行真空计的更换。

7、优选地，所述橡胶密封滑动头的形状大小与不锈钢管的内径大小相适应，不锈钢管的内壁光滑，第一推拉杆拉动橡胶密封滑动头在不锈钢管内通过滑动密封保证真空度。

8、优选地，所述橡胶密封滑动头的形状大小与真空计的底盘相匹配，避免气体进入真空腔体。

9、优选地，所述第二密封圈的形状大小与第二不锈钢管的内径大小相适应，第二推拉杆拉动第二密封圈在第二不锈钢管内通过滑动密封保证真空度。

10、优选地，所述装置包括第一密封圈，其设置于真空计与真空法兰的中间，用于保证真空度。

11、优选地，所述装置还包括真空抽口，所述真空抽口位于第二不锈钢管的管壁一侧，用于与真空腔体相连，保证更换装置内部全部为真空环境。

12、本发明的第二方面公开了一种无真空泵更换真空计装置的更换方法，基于所述的一种无真空泵更换真空计装置，包括以下步骤：

13、步骤1，准备更换真空计装置；

14、步骤2，使用更换装置更换真空计；

15、步骤3，更换真空计后恢复装置真空。

16、优选地，步骤1具体包括：根据不同的使用场景选择橡胶密封的形状、大小及材料，橡胶密封滑动头的形状与真空计的底盘紧密贴合，并将真空计更换装置通过真空抽口设置于真空腔体的表面。

17、优选地，步骤2具体包括：

18、步骤2.1，将第二连接杆推入至底部，使第一不锈钢管管壁完整；

19、步骤2.2，将第一推拉杆推至底部，使得橡胶密封滑动头与真空计底部贴合；

20、步骤2.3，在步骤2.2中确认贴合后，将真空计拆下，更换新的真空计，真空计底部与橡胶滑动密封头紧密贴合。

21、优选地，步骤3具体包括：真空计更换完毕后，依次拉开第一推拉杆和第二推拉杆，连通真空计与真空腔体，完成真空计的更换。

22、本发明的有益效果在于，与现有技术相比，

23、现有技术在真空计拆卸的实际操作过程中，不但需要考虑真空泵的放置空间，且由于分子泵属于精密仪器的一种，对于地面平整及运行环境都有着较高的要求。

24、本发明通过设置拉杆与密封装置，保证了装置内的真空度，实现了在一些狭小空间，特别是无法放置真空泵的区域，也可以更换真空计；并且如果使用分子泵，则真空泵的开闭时间较长，而使用本发明，可以直接通过拉动拉杆更换，简化真空计的更换步骤，加快真空计的更换流程。

25、综上，本发明操作简便，无需真空泵，可实现真空计快速可靠的连接和更换。

技术特征：

1.一种无真空泵更换真空计装置，包括：真空计（1）、真空法兰（3）、第一不锈钢管（6）和第二不锈钢管（10），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种无真空泵更换真空计装置，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的一种无真空泵更换真空计装置，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的一种无真空泵更换真空计装置，其特征在于：

5.根据权利要求1所述的一种无真空泵更换真空计装置，其特征在于：

6.根据权利要求1所述的一种无真空泵更换真空计装置，其特征在于：

7.一种无真空泵更换真空计装置的更换方法，基于权利要求1-6中任意一项所述的一种无真空泵更换真空计装置，其特征在于：

8.根据权利要求7所述的一种无真空泵更换真空计装置的更换方法，其特征在于：

9.根据权利要求7所述的一种无真空泵更换真空计装置的更换方法，其特征在于：

10.根据权利要求7所述的一种无真空泵更换真空计装置的更换方法，其特征在于：

技术总结本发明公开了一种无真空泵更换真空计装置及其更换方法，包括真空计、真空法兰、第一不锈钢管和第二不锈钢管；第一不锈钢管与真空法兰的一端相连接，真空法兰的另一端与真空计相连接，第一不锈钢管和第二不锈钢管呈“T”字形设置连接；第一不锈钢管内设置有橡胶密封滑动头和第一推拉杆，橡胶密封滑动头设置于第一推拉杆的端部；第二不锈钢管内设置有第二密封圈和第二推拉杆，第二密封圈设置于第二推拉杆的端部；第一推拉杆与第二推拉杆通过改变在不锈钢管中的密封位置，从而进行真空计的更换。本发明通过该更换装置可以实现在一些狭小空间，特别是无法放置真空泵的区域，也可以更换真空计；并且简化了真空计的更换步骤，加快真空计的更换流程。技术研发人员：谢婧,魏本刚,秦虹,段若晨,叶祺,代杰杰,孔祥君,王天龙受保护的技术使用者：国网上海市电力公司技术研发日：技术公布日：2024/9/9