薄膜真空计的电容值检测方法、装置及电子设备与流程

本发明涉及电容检测，尤其涉及一种薄膜真空计的电容值检测方法、装置及电子设备。

背景技术：

1、真空计主要用来测量绝对气体压强的大小。

2、基于不同的测量原理，真空计可以分为多种类型，薄膜真空计是近几年比较流行的一种，当通入的气体压强不同时，薄膜的形变量会不同，两个电极板之间形成的电容值也会发生变化，通过检测电容值变化，再经过一系列标定，即可测量得到气体压强的大小。

3、薄膜真空计灵敏度高，在军工、半导体以及核工业领域应用较多，同时也能够满足深空探测、空气动力学研究、临床空间探测等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求，具有广泛的应用前景。

4、根据上述可知，薄膜真空规需要通过检测两个电极之间电容值的大小来反映绝对气体压强的大小。

5、目前，薄膜真空计电容检测方法包括模拟电路测量法和使用集成的电容测量芯片进行测量。对于模拟电路测量方法来讲，由于个体差异，参数匹配调试相对复杂，批量生产时缺点突出；使用电容值测量芯片测量时，外围电容相对简单，受外界环境影响小，但是存在响应时间较慢的问题。

6、因此，如何解决现有薄膜真空计电容检测方法测量范围比较局限、测量精度不高且响应时间慢的问题，是电容检测技术领域亟待解决的重要课题。

技术实现思路

1、本发明提供一种薄膜真空计的电容值检测方法、装置及电子设备，用以克服现有薄膜真空计电容检测方法测量范围比较局限、测量精度不高且响应时间慢的缺陷，实现薄膜真空计电容值的快速、准确测量，调试过程简便，且测量范围比较广泛。

2、一方面，本发明提供一种薄膜真空计的电容值检测方法，包括：基于待检测电容，以及生成的解调信号，获取数字检测信号；根据所述数字检测信号，计算得到所述待检测电容的测量结果。

3、进一步地，所述生成的解调信号为单一解调信号；相应地，所述基于待检测电容，以及生成的解调信号，获取数字检测信号，包括：对生成的所述解调信号进行放大处理，得到第一解调信号；将所述第一解调信号加到所述待检测电容的一端，得到待检测信号；根据所述待检测信号，获取所述数字检测信号。

4、进一步地，所述根据所述待检测信号，获取所述数字检测信号，包括：对所述待检测信号进行调制、放大处理，得到模拟检测信号；通过模数转换器对所述模拟检测信号进行转换，得到所述数字检测信号。

5、进一步地，所述根据所述数字检测信号，计算得到所述待检测电容的测量结果，包括：对所述数字检测信号进行解调、滤波处理，得到所述待检测电容的测量结果，所述测量结果为所述待检测电容的内环测量值或外环测量值。

6、进一步地，所述生成的解调信号为两路互补的解调信号；相应地，所述基于待检测电容，以及生成的解调信号，获取数字检测信号，包括：分别对两路互补的解调信号进行放大处理，得到对应的第二解调信号和第三解调信号；将所述第二解调信号和第三解调信号分别加到所述待检测电容的两端，并进行求和处理，得到待检测信号；根据所述待检测信号，获取所述数字检测信号。

7、进一步地，所述根据所述数字检测信号，计算得到所述待检测电容的测量结果，包括：对所述数字检测信号进行解调、滤波处理，得到所述待检测电容的测量结果，所述测量结果为所述待检测电容的差分测量值。

8、第二方面，本发明还提供一种薄膜真空计的电容值检测装置，包括：数字检测信号获取模块，用于基于待检测电容，以及生成的解调信号，获取数字检测信号；待检测电容测量模块，用于根据所述数字检测信号，计算得到所述待检测电容的测量结果。

9、第三方面，本发明还提供一种检测电路，包括：控制器，用于上述任一项所述的薄膜真空计的电容值检测方法；调制放大模块，与控制器连接，用于配合所述控制器完成对数字检测信号的采集；供电模块，与控制器和调制放大模块连接，用于为所述控制器和所述调制放大模块提供电源。

10、第四方面，本发明还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述任一种所述的薄膜真空计的电容值检测方法。

11、第五方面，本发明还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述的薄膜真空计的电容值检测方法。

12、第六方面，本发明还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述的薄膜真空计的电容值检测方法。

13、本发明提供的一种薄膜真空计的电容值检测方法，通过基于待检测电容，以及生成的解调信号，获取数字检测信号，并根据数字检测信号，计算得到待检测电容的测量结果。该方法通过采用基于数字的控制方式，克服了现有薄膜真空计电容检测方法测量范围比较局限、测量精度不高且响应时间慢的缺陷，实现了薄膜真空计电容值的快速、准确测量，调试过程简便，且测量范围比较广泛。

技术特征：

1.一种薄膜真空计的电容值检测方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的薄膜真空计的电容值检测方法，其特征在于，所述生成的解调信号为单一解调信号；

3.根据权利要求2所述的薄膜真空计的电容值检测方法，其特征在于，所述根据所述待检测信号，获取所述数字检测信号，包括：

4.根据权利要求1-3中任一项所述的薄膜真空计的电容值检测方法，其特征在于，所述根据所述数字检测信号，计算得到所述待检测电容的测量结果，包括：

5.根据权利要求1所述的薄膜真空计的电容值检测方法，其特征在于，所述生成的解调信号为两路互补的解调信号；

6.根据权利要求5所述的薄膜真空计的电容值检测方法，其特征在于，所述根据所述数字检测信号，计算得到所述待检测电容的测量结果，包括：

7.一种薄膜真空计的电容值检测装置，其特征在于，包括：

8.一种检测电路，其特征在于，包括：

9.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1至6中任一项所述的薄膜真空计的电容值检测方法。

10.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至6中任一项所述的薄膜真空计的电容值检测方法。

技术总结本发明提供一种薄膜真空计的电容值检测方法、装置及电子设备，其中的方法包括：基于待检测电容，以及生成的解调信号，获取数字检测信号；根据数字检测信号，计算得到待检测电容的测量结果。该方法通过采用基于数字的控制方式，克服了现有薄膜真空计电容检测方法测量范围比较局限、测量精度不高且响应时间慢的缺陷，实现了薄膜真空计电容值的快速、准确测量，调试过程简便，且测量范围比较广泛。技术研发人员：王松杰,林立男,陶硕,唐嫒尧,王杰受保护的技术使用者：北京晶芯电子有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/1