PMUT - 技术新讯

高Q值PMUT器件及其制造方法

本发明特别涉及一种高q值pmut器件及其制造方法，属于微机电。背景技术：1、pmut器件是一种压电微加工超声换能器件，具备小型化、低功耗、高灵敏度和宽频率响应等优势。相比于传统的压电换能器件，pmut......

2024-08-02 81

本发明属于微机电系统，具体涉及一种pmut器件及其制备方法。背景技术：1、随着微机械加工技术的逐渐成熟，pmut在智能家居、无人驾驶、医学成像等领域应用越来越广泛。pmut器件通过振动压电薄膜，从而产......

2024-07-27 19

一种带隔离沟槽的pmut的设计及制备方法技术领域1.本发明涉及pmut技术领域，具体为一种带隔离沟槽的pmut的设计及制备方法。背景技术：2.微机电系统技术是近几十年发展起来的微米级尺寸机电一体化系统......

2024-07-27 30