提供断线警示的方法及装置与流程

本发明涉及一种晶柱制程监控技术，且尤其涉及一种提供断线警示的方法及装置。

背景技术：

1、在现有技术中，在完成晶柱的制造之后，可通过晶柱切割机台将晶柱进一步切割为芯片。一般而言，晶柱切割机台可通过切割线(例如切割线网)对晶柱进行切割。

2、然而，在切割线被用于切割晶柱的过程中，切割线可能会因故而出现断线的情形，进而相应地影响晶柱的切割成果。

3、因此，对于本领域技术人员而言，若能预测切割线是否即将出现断线的情形，应可有效地避免因切割线意外断开而影响晶柱的切割过程。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供一种提供断线警示的方法及装置，其可用于解决上述技术问题。

2、本发明实施例提供一种提供断线警示的方法，包括：取得一晶柱切割机台在使用一切割线切割一晶柱时的多个制程数值；将所述多个制程数值区分为n个群组，并决定各群组的一统计性质，其中n为正整数；基于各群组的统计性质在所述多个制程数值中找出至少一离群数值，或基于各群组的统计性质决定对应于各群组的一统计性质变化；以及反应于判定所述多个制程数值中的至少一离群数值满足一第一预警条件，或是对应于各群组的统计性质变化满足一第二预警条件，提供关联于切割线的一断线警示。

3、本发明实施例提供一种提供断线警示的装置，包括存储电路及处理器。存储电路存储一程序代码。处理器耦接存储电路并存取程序代码以执行：取得一晶柱切割机台在使用一切割线切割一晶柱时的多个制程数值；将所述多个制程数值区分为n个群组，并决定各群组的一统计性质，其中n为正整数；基于各群组的统计性质在所述多个制程数值中找出至少一离群数值，或基于各群组的统计性质决定对应于各群组的一统计性质变化；以及反应于判定所述多个制程数值中的至少一离群数值满足一第一预警条件，或是对应于各群组的统计性质变化满足一第二预警条件，提供关联于切割线的一断线警示。

技术特征：

1.一种提供断线警示的方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个制程数值包括量测自所述切割线的多个张力数值。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个群组包括第i个群组，i为索引值且1≤i≤n，各所述群组的所述统计性质包括各所述群组的所述多个制程数值的第一四分位数及第三四分位数，且基于各所述群组的所述统计性质在所述多个制程数值中找出所述至少一离群数值的步骤包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其中基于所述第i个群组对应的所述第一四分位数及所述第三四分位数决定对应于所述第i个群组的所述第一离群阈值的步骤包括：

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述第一因子介于0.1及2之间，或是介于2及5之间。

6.根据权利要求3所述的方法，还包括：

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个群组包括第j个群组及第j+1个群组，j为索引值且1≤j<n，且基于各所述群组的所述统计性质决定对应于各所述群组的所述统计性质变化的步骤包括：

8.根据权利要求7所述的方法，还包括：

9.根据权利要求7所述的方法，其中各所述群组的所述统计性质包括各所述群组的所述多个制程数值的第三四分位数。

10.根据权利要求1所述的方法，还包括：

11.一种提供断线警示的装置，其特征在于，包括：

技术总结本发明提供一种提供断线警示的方法及装置。所述方法包括：取得晶柱切割机台在使用切割线切割晶柱时的多个制程数值；将制程数值区分为N个群组，并决定各群组的统计性质；基于各群组的统计性质在制程数值中找出离群数值，或基于各群组的统计性质决定对应于各群组的统计性质变化；以及反应于判定制程数值中的离群数值满足第一预警条件，或是对应于各群组的统计性质变化满足第二预警条件，提供关联于切割线的断线警示。技术研发人员：尤芊文,王上棋,林柏廷受保护的技术使用者：环球晶圆股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/2