一种镀膜室组立平台的制作方法

本技术涉及薄膜制备，尤其是一种镀膜室组立平台。

背景技术：

1、在一些真空镀膜设备中，需要先将镀膜室组装好，再搬入真空室中。一般会在升降推车上安装镀膜室，但由于镀膜室组装完成后的重量较大，又因为升降推车为悬臂结构，在组装重物等长时间使用推车时容易引起变形，甚至会有坠落等风险。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种镀膜室组立平台，通过架台和升降推车的配合，轻松方便地实现镀膜室的组立以及取放。

2、本实用新型目的实现由以下技术方案完成：

3、一种镀膜室组立平台，用于实现镀膜室的组装，其特征在于：包括架台和升降推车，其中所述架台和所述升降推车上分别设置有滑动机构且所述架台和所述升降推车之间可通过所述滑动机构之间的配合形成对接，实现所述镀膜室在所述架台和所述升降推车之间的位置切换，所述架台和所述升降推车之间设置有锁紧机构，所述锁紧机构用于实现两者之间的对接锁紧。

4、所述滑动机构包括滑动机构本体、滚轮、导向轮和固定肘夹，其中所述滑动机构本体为框架结构，沿其滑动方向设置有若干所述滚轮和若干所述导向轮，所述固定肘夹安装在所述滑动机构本体上用于对承载在所述滑动机构本体上的镀膜室进行锁紧固定。

5、在所述滑动机构本体的一侧端部设置有限位块，该限位块用于限制所述镀膜室的滑动行程。

6、所述锁紧机构包括设置在所述架台或所述升降推车中一者的导向块以及设置在另一者的导向轴，所述导向轴可插装入所述导向块中并通过锁紧肘夹固定。

7、所述架台的前部留有开口，所述开口与镀膜室内部构成位置对应并连通。

8、所述架台的底部设置有脚轮。

9、本实用新型的优点是：在保证组立质量和精度的基础上，有效提高镀膜室的组立效率，缩短组立时间；有效提高组立作业的安全性，避免发生危险事故；结构简单合理，灵活性强，使用方便，适于推广。

技术特征：

1.一种镀膜室组立平台，用于实现镀膜室的组装，其特征在于：包括架台和升降推车，其中所述架台和所述升降推车上分别设置有滑动机构且所述架台和所述升降推车之间可通过所述滑动机构之间的配合形成对接，实现所述镀膜室在所述架台和所述升降推车之间的位置切换，所述架台和所述升降推车之间设置有锁紧机构，所述锁紧机构用于实现两者之间的对接锁紧。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜室组立平台，其特征在于：所述滑动机构包括滑动机构本体、滚轮、导向轮和固定肘夹，其中所述滑动机构本体为框架结构，沿其滑动方向设置有若干所述滚轮和若干所述导向轮，所述固定肘夹安装在所述滑动机构本体上用于对承载在所述滑动机构本体上的镀膜室进行锁紧固定。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜室组立平台，其特征在于：在所述滑动机构本体的一侧端部设置有限位块，该限位块用于限制所述镀膜室的滑动行程。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜室组立平台，其特征在于：所述锁紧机构包括设置在所述架台或所述升降推车中一者的导向块以及设置在另一者的导向轴，所述导向轴可插装入所述导向块中并通过锁紧肘夹固定。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜室组立平台，其特征在于：所述架台的前部留有开口，所述开口与镀膜室内部构成位置对应并连通。

6.根据权利要求1所述的一种镀膜室组立平台，其特征在于：所述架台的底部设置有脚轮。

技术总结本技术涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种镀膜室组立平台，包括架台和升降推车，其中所述架台和所述升降推车上分别设置有滑动机构且所述架台和所述升降推车之间可通过所述滑动机构之间的配合形成对接，实现所述镀膜室在所述架台和所述升降推车之间的位置切换，所述架台和所述升降推车之间设置有锁紧机构，所述锁紧机构用于实现两者之间的对接锁紧。本技术的优点是：在保证组立质量和精度的基础上，有效提高镀膜室的组立效率，缩短组立时间；有效提高组立作业的安全性，避免发生危险事故；结构简单合理，灵活性强，使用方便，适于推广。技术研发人员：魏晓庆,黄浩华受保护的技术使用者：光驰半导体技术（上海）有限公司技术研发日：20230915技术公布日：2024/6/2