一种全自动快速溅射镀膜生产设备的制作方法

本技术涉及镀膜生产，具体为一种全自动快速溅射镀膜生产设备。

背景技术：

1、溅射镀膜技术是一种常用的薄膜制备技术，广泛应用于光学、电子、材料等领域，在光学领域，溅射镀膜机可制备各种光学薄膜，如反射膜、透明导电膜等，而溅射镀膜机是实现溅射镀膜生产的关键设备，其工作利用离子激发将靶材原子或分子沉积到基底表面形成一层薄膜，它具有高精度、高效率、可重复性好等优点；现有技术中，在溅射镀膜生产设备工作的过程中，为了加快溅射镀膜生产设备的镀膜效率，减少溅射镀膜生产设备上下料所耗费的时间，溅射镀膜生产设备常常采用多套上下料系统交替使用，使溅射镀膜生产设备的使用更加自动化，加快镀膜效率，但对于镀膜基底在安装架上的装卸仍需要人工进行，在单次镀膜时间较短时，人员没有充足的时间将镀膜基底从溅射镀膜生产设备上拆下，导致镀膜所需要的时间增多，影响镀膜效率。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种全自动快速溅射镀膜生产设备，溅射镀膜生产设备安装架采用可更换式设计，实现镀膜基底的快速装卸，适用于镀膜时间较短的生产过程使用，加快溅射镀膜生产设备的镀膜效率，可以有效解决背景技术中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种全自动快速溅射镀膜生产设备，包括壳体和固定机构；

3、壳体：其前端为开口结构，壳体的后侧内壁设有靶材，壳体的后端设有真空泵，真空泵的进气口与壳体内部相连通，壳体后端的进气管中部串联有电磁阀，壳体的前表面左右两端均通过铰链铰接有密封盖，壳体的右侧面设有plc控制器，plc控制器的输入端电连接于外部电源，靶材侧面的电极的输入端电连接于plc控制器的输出端，真空泵和电磁阀的输入端均电连接于plc控制器的输出端；

4、固定机构：分别设置于密封盖的内部，位于同一密封盖内的固定机构之间均安装有物料架；

5、其中：还包括电动推杆，所处电动推杆的伸缩端末端和固定端末端均设有转块，电动推杆伸缩端末端的转块分别通过转轴一与密封盖外弧面的转动架转动连接，电动推杆固定端末端的转块分别通过转轴二与壳体前端的转动架转动连接，电动推杆的输入端均电连接于plc控制器的输出端，实现溅射镀膜生产设备全自动工作，减少人工的参与，溅射镀膜生产设备安装架采用可更换式设计，实现镀膜基底的快速装卸，避免镀膜基底装卸对溅射镀膜效率的影响，适用于镀膜时间较短的生产过程使用，加快溅射镀膜生产设备的镀膜效率。

6、进一步的，所述固定机构包括支板和弹性卡板，所述支板分别设置于密封盖的内弧面上下两端，支板的端头均设有弹性卡板，快速对物料架的位置进行限制。

7、进一步的，所述固定机构还包括转柱和弧形板，所述转柱分别转动连接于支板的内部，转柱的上下两端均设有弧形板，弧形板与弹性卡板配合安装，使物料架的固定更加牢固。

8、进一步的，所述固定机构还包括齿轮、齿条板、调节推杆和凹槽，所述凹槽分别设置于支板的内部，凹槽的内部均设有调节推杆，调节推杆的伸缩端末端均设有齿条板，齿轮分别设置于转柱的外弧面中部，位于同一凹槽内的两个齿轮均与一个齿条板啮合连接，调节推杆的输入端电连接于plc控制器的输出端，为弧形板的转动提供动力。

9、进一步的，所述物料架包括圆柱、物料固定板和限位环，所述圆柱分别卡接于同一密封盖内的两个弹性卡板之间，圆柱的外弧面分别设有物料固定板，圆柱的上下两端均设有限位环，为镀膜基底的安装提供支撑。

10、进一步的，所述弹性卡板中部的安装孔内均设有接触传感器，接触传感器的输出端电连接于plc控制器的输入端，检测圆柱是否安装到位。

11、进一步的，所述支板的表面与密封盖的内弧面之间均设有斜撑板，提高支板的支撑效果。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本全自动快速溅射镀膜生产设备，具有以下好处：

13、在使用时，镀膜基底在物料固定板上端进行安装，圆柱卡接在弹性卡板内部，通过plc控制器启动调节推杆，使同一支板上的两个弧形板相对转动，对圆柱进行牢固限位，然后启动电动推杆，使密封盖转动对壳体前端的开口进行密封，启动真空泵，对壳体内部抽真空，靶材侧面的电极的通电，使靶材上的原子或分子溅射到镀膜基底表面，实现在镀膜基底表面镀膜，镀膜完成后，通过两个密封盖的交替使用，快速对镀膜基底进行上下料，可以通过直接将物料架拆卸，快速对镀膜基底进行装卸，实现溅射镀膜生产设备全自动工作，减少人工的参与，溅射镀膜生产设备安装架采用可更换式设计，实现镀膜基底的快速装卸，避免镀膜基底装卸对溅射镀膜效率的影响，适用于镀膜时间较短的生产过程使用，加快溅射镀膜生产设备的镀膜效率。

技术特征：

1.一种全自动快速溅射镀膜生产设备，其特征在于：包括壳体（1）和固定机构（9）；

2.根据权利要求1所述的一种全自动快速溅射镀膜生产设备，其特征在于：所述固定机构（9）包括支板（91）和弹性卡板（92），所述支板（91）分别设置于密封盖（5）的内弧面上下两端，支板（91）的端头均设有弹性卡板（92）。

3.根据权利要求2所述的一种全自动快速溅射镀膜生产设备，其特征在于：所述固定机构（9）还包括转柱（93）和弧形板（94），所述转柱（93）分别转动连接于支板（91）的内部，转柱（93）的上下两端均设有弧形板（94），弧形板（94）与弹性卡板（92）配合安装。

4.根据权利要求3所述的一种全自动快速溅射镀膜生产设备，其特征在于：所述固定机构（9）还包括齿轮（95）、齿条板（96）、调节推杆（97）和凹槽（98），所述凹槽（98）分别设置于支板（91）的内部，凹槽（98）的内部均设有调节推杆（97），调节推杆（97）的伸缩端末端均设有齿条板（96），齿轮（95）分别设置于转柱（93）的外弧面中部，位于同一凹槽（98）内的两个齿轮（95）均与一个齿条板（96）啮合连接，调节推杆（97）的输入端电连接于plc控制器（10）的输出端。

5.根据权利要求2所述的一种全自动快速溅射镀膜生产设备，其特征在于：所述物料架（8）包括圆柱（81）、物料固定板（82）和限位环（83），所述圆柱（81）分别卡接于同一密封盖（5）内的两个弹性卡板（92）之间，圆柱（81）的外弧面分别设有物料固定板（82），圆柱（81）的上下两端均设有限位环（83）。

6.根据权利要求2所述的一种全自动快速溅射镀膜生产设备，其特征在于：所述弹性卡板（92）中部的安装孔内均设有接触传感器（11），接触传感器（11）的输出端电连接于plc控制器（10）的输入端。

7.根据权利要求2所述的一种全自动快速溅射镀膜生产设备，其特征在于：所述支板（91）的表面与密封盖（5）的内弧面之间均设有斜撑板（12）。

技术总结本技术公开了一种全自动快速溅射镀膜生产设备，包括壳体和固定机构；壳体：其前端为开口结构，壳体的后侧内壁设有靶材，壳体的后端设有真空泵，真空泵的进气口与壳体内部相连通，壳体后端的进气管中部串联有电磁阀，壳体的前表面左右两端均通过铰链铰接有密封盖，壳体的右侧面设有PLC控制器，PLC控制器的输入端电连接于外部电源，靶材侧面的电极的输入端电连接于PLC控制器的输出端，该全自动快速溅射镀膜生产设备，实现溅射镀膜生产设备全自动工作，溅射镀膜生产设备安装架采用可更换式设计，实现镀膜基底的快速装卸，适用于镀膜时间较短的生产过程使用，加快溅射镀膜生产设备的镀膜效率。技术研发人员：李颖达,张建盈,李其亮受保护的技术使用者：南阳烁丰光学科技有限公司技术研发日：20231023技术公布日：2024/6/13