用于真空镀膜设备的加热机构的制作方法

本说明书涉及真空镀膜，尤其涉及一种用于真空镀膜设备的加热机构。

背景技术：

1、在真空镀膜设备的镀膜过程中，基板温度会影响膜层的质量和致密性，因此在基板和设备能承受的范围内，需要尽量提高基板表面的温度，以提高膜层质量。

2、现有技术条件下，基板置于伞状镀膜架的上层，镀膜架上开孔，加热源(通常为加热丝)设置在镀膜架的上方，通过辐射基板的背面(即基板面对加热源的一面，大致为基板的上表面)以提高基板的温度。

3、这种加热方式可以满足对普通圆伞状镀膜架上的基板进行加热，但是对于安装在具有2级甚至3级游星回转机构上的基板来说，顶部加热源辐射的热量主要被游星回转机构所阻挡，从而加热效率低。同时，这也会导致游星回转机构的温度升高，造成游星回转机构工况恶劣，从而缩短游星回转机构的寿命。

技术实现思路

1、鉴于现有技术的不足，本说明书的一个目的是提供一种用于真空镀膜设备的加热机构，加热效率高，热量传递迅速，且能延长游星回转机构的寿命。

2、为达到上述目的，本说明书实施方式提供一种用于真空镀膜设备的加热机构，包括：

3、安装框架，包括两个第一侧板和一个底板，所述底板的两端分别与两个所述第一侧板相连；

4、安装于所述安装框架内的卤素灯组件，所述卤素灯组件沿轴向的两端设有电极，所述电极用于与导线相连；

5、设置在所述卤素灯组件上方的第一防污玻璃，用于保护所述卤素灯组件的表面；

6、设置在所述第一防污玻璃上方的灯罩，所述灯罩具有两个第二侧板和一个顶板，所述顶板的两端分别与两个所述第二侧板相连；所述卤素灯组件和第一防污玻璃位于所述灯罩和所述安装框架围成的空间内。

7、作为一种优选的实施方式，所述灯罩上开设有网孔，使卤素灯的照射光线穿过；所述网孔位于所述顶板和部分所述第二侧板。

8、作为一种优选的实施方式，所述第一侧板垂直于所述底板，所述第一侧板垂直于所述卤素灯组件的轴向；所述第二侧板垂直于所述顶板，所述第一侧板垂直于所述第二侧板，所述底板平行于所述顶板。

9、作为一种优选的实施方式，所述第一防污玻璃呈平板状，所述第一防污玻璃平行于所述底板设置。

10、作为一种优选的实施方式，所述卤素灯组件的底面设有安装凸起，所述安装凸起的延伸方向与所述卤素灯组件的延伸方向相同；所述底板的下表面设有第一安装孔，用于安装所述加热机构；所述底板的上表面设有供所述安装凸起穿过的第二安装孔。

11、作为一种优选的实施方式，两个所述第一侧板分别与所述卤素灯组件轴向的两端相对应，所述第一侧板上设有供所述导线穿过的通孔。

12、作为一种优选的实施方式，所述卤素灯组件包括卤素灯管、位于所述卤素灯管上侧的第二防污玻璃、以及位于所述卤素灯管下侧的隔热陶瓷；所述隔热陶瓷和第二防污玻璃均呈半圆管状，且将所述卤素灯管包围在两者合围区域内。

13、作为一种优选的实施方式，所述隔热陶瓷的下侧设有反射板，用于反射卤素灯组件下半部分的光线。

14、作为一种优选的实施方式，所述卤素灯组件还包括灯座和卡箍，所述卡箍将所述第二防污玻璃、隔热陶瓷、反射板和卤素灯座连接；所述电极设置在所述灯座轴向的两端，所述电极通过绝缘陶瓷和陶瓷锁紧螺钉连接至所述灯座。

15、作为一种优选的实施方式，所述卤素灯管轴向的一端通过电极锁紧螺钉连接至所述电极的一端，所述电极的另一端和所述导线通过导线锁紧螺钉连接。

16、有益效果：

17、本实施方式所提供的用于真空镀膜设备的加热机构，包括安装框架、卤素灯组件、第一防污玻璃和灯罩，其加热效率高，热量传递迅速。还有，该加热机构可以设置在真空腔室内的底部，即位于游星回转机构的下方，从而游星回转机构所受到的热辐射减少，可以改善游星回转机构的工况，延长游星回转机构的寿命。

18、参照后文的说明和附图，详细公开了本实用新型的特定实施方式，指明了本实用新型的原理可以被采用的方式。应该理解，本实用新型的实施方式在范围上并不因而受到限制。

19、针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。

20、应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。

技术特征：

1.一种用于真空镀膜设备的加热机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的加热机构，其特征在于，所述灯罩上开设有网孔，使卤素灯的照射光线穿过；所述网孔位于所述顶板和部分所述第二侧板。

3.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的加热机构，其特征在于，所述第一侧板垂直于所述底板，所述第一侧板垂直于所述卤素灯组件的轴向；所述第二侧板垂直于所述顶板，所述第一侧板垂直于所述第二侧板，所述底板平行于所述顶板。

4.根据权利要求3所述的用于真空镀膜设备的加热机构，其特征在于，所述第一防污玻璃呈平板状，所述第一防污玻璃平行于所述底板设置。

5.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的加热机构，其特征在于，所述卤素灯组件的底面设有安装凸起，所述安装凸起的延伸方向与所述卤素灯组件的延伸方向相同；所述底板的下表面设有第一安装孔，用于安装所述加热机构；所述底板的上表面设有供所述安装凸起穿过的第二安装孔。

6.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的加热机构，其特征在于，两个所述第一侧板分别与所述卤素灯组件轴向的两端相对应，所述第一侧板上设有供所述导线穿过的通孔。

7.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的加热机构，其特征在于，所述卤素灯组件包括卤素灯管、位于所述卤素灯管上侧的第二防污玻璃、以及位于所述卤素灯管下侧的隔热陶瓷；所述隔热陶瓷和第二防污玻璃均呈半圆管状，且将所述卤素灯管包围在两者合围区域内。

8.根据权利要求7所述的用于真空镀膜设备的加热机构，其特征在于，所述隔热陶瓷的下侧设有反射板，用于反射卤素灯组件下半部分的光线。

9.根据权利要求8所述的用于真空镀膜设备的加热机构，其特征在于，所述卤素灯组件还包括灯座和卡箍，所述卡箍将所述第二防污玻璃、隔热陶瓷、反射板和卤素灯座连接；所述电极设置在所述灯座轴向的两端，所述电极通过绝缘陶瓷和陶瓷锁紧螺钉连接至所述灯座。

10.根据权利要求9所述的用于真空镀膜设备的加热机构，其特征在于，所述卤素灯管轴向的一端通过电极锁紧螺钉连接至所述电极的一端，所述电极的另一端和所述导线通过导线锁紧螺钉连接。

技术总结本申请公开一种用于真空镀膜设备的加热机构，涉及真空镀膜技术领域，包括：安装框架，包括两个第一侧板和一个底板，所述底板的两端分别与两个所述第一侧板相连；安装于所述安装框架内的卤素灯组件，所述卤素灯组件沿轴向的两端设有电极，所述电极用于与导线相连；设置在所述卤素灯组件上方的第一防污玻璃，用于保护所述卤素灯组件的表面；设置在所述第一防污玻璃上方的灯罩，所述灯罩具有两个第二侧板和一个顶板，所述顶板的两端分别与两个所述第二侧板相连；所述卤素灯组件和第一防污玻璃位于所述灯罩和所述安装框架围成的空间内。本说明书所提供的用于真空镀膜设备的加热机构，加热效率高，热量传递迅速，且能延长游星回转机构的寿命。技术研发人员：葛鹤龄,程序雳,杨运,王怀民,姜友松受保护的技术使用者：安徽其芒光电科技有限公司技术研发日：20231018技术公布日：2024/6/13