光束整形器的制作方法

本发明涉及光束整形器。

背景技术：

1、在专利文献1中记载了，通过作为模式转换器件的轴棱锥透镜将激光束整形为环状，对中厚板的加工对象物进行加工。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2020-116603号公报

技术实现思路

1、当通过轴棱锥透镜使激光束以朝向光轴的方式折射，并通过聚焦透镜使折射后的激光束聚焦时，加工对象物被照射具有环状的光束轮廓的激光束。在向加工对象物照射的激光束的光轴附近，横穿光轴的光束重叠，与环状的部分同样地产生光强度局部变高的峰值区域。当加工对象物被激光束切断时，有时光轴附近的光束通过被切断的加工对象物的切口，且保持具有较高的光强度的状态地向加工对象物的背面侧行进。

2、若具有较高的光强度的光轴附近的光束向加工对象物的背面侧行进，则位于背面侧的部件会有损伤的情况。寻求即使光轴附近的光束向加工对象物的背面侧行进，也可抑制位于背面侧的部件的损伤。

3、一个或一个以上的实施方式的一方案提供一种光束整形器，其具备：模式转换器件，其使射入的发散光的激光束中的射入以光轴为中心的中央部的外周侧的激光束向上述光轴侧折射并作为外周侧光束射出，且将射入上述中央部的激光束作为具有与入射角度相同的角度的射出角度的中央光束射出；准直透镜，其将从上述模式转换器件射出的上述外周侧光束及上述中央光束转换为准直光；以及聚焦透镜，其使从上述准直透镜射出的上述外周侧光束以及上述中央光束聚焦，上述外周侧光束中的位于最内周侧的内周光束在比上述内周光束与上述外周侧光束中的位于最外周侧的外周光束的聚焦点靠上述模式转换器件侧的位置交叉，上述中央部的大小设定成，使上述聚焦透镜将上述内周光束沿与上述光轴平行或者远离上述光轴的方向射出。

4、根据一个或一个以上的实施方式的一方案，射入的发散光的激光束中的射入中央部的外周侧并向光轴侧折射的外周侧光束中的位于最内周侧的内周光束不会在光轴附近重合，不产生光强度局部变高的峰值区域。由此，即使整形光束的光轴附近的光束向加工对象物的背面侧行进，照射位于背面侧的部件的光束的光强度也降低，因此该部件的损伤被抑制。

5、根据一个或一个以上的实施方式的光束整形器，即使通过模式转换器件所生成的整形光束的光轴附近的光束向加工对象物的背面侧行进，也能够抑制位于背面侧的部件的损伤。

技术特征：

1.一种光束整形器，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的光束整形器，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的光束整形器，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的光束整形器，其特征在于，

5.根据权利要求2所述的光束整形器，其特征在于，

6.根据权利要求1～4中任一项所述的光束整形器，其特征在于，

7.根据权利要求5所述的光束整形器，其特征在于，

技术总结光束整形器(25A)具备模式转换器件(27)、准直透镜(28)以及聚焦透镜(30)。模式转换器件(27)使射入的发散光的激光束(LB)中的射入以光轴为中心的中央部(31c)的外周侧的激光束向光轴(Ax)侧折射并作为外周侧光束(NDB1)射出，将射入中央部(31c)的激光束作为具有与入射角度相同的角度的射出角度的中央光束(NDB2)射出。准直透镜(28)将从模式转换器件(27)射出的外周侧光束(NDB1)以及中央光束(NDB2)转换为准直光。聚焦透镜(30)使从准直透镜(28)射出的外周侧光束(NDB1)以及中央光束(NDB2)聚焦。技术研发人员：伊藤亮平,石黑宏明受保护的技术使用者：株式会社天田集团技术研发日：技术公布日：2024/6/13