超高压紫外曝光灯整体结构的制作方法

本技术涉及曝光灯领域，特别涉及超高压紫外曝光灯整体结构。

背景技术：

1、近年来，在电路板、液晶基板、半导体等制造工序中，通过使用较大功率紫外光源，实现处理时间缩短，大面积曝光处理物均匀曝光等。因此，作为输入紫外光源中要求放出更高亮度、更好角度及波段需求。

2、曝光装置光源过大，易导致设备安装难，并且存在爆裂危险，导致设备损坏，因此，不仅要保证紫外光源亮度高，要求紫外光源小型化，保证设备安装简单，但是曝光灯为超高压设置，从而曝光灯接电时，会出现曝光灯直接通电爆裂的情况，不便于在其通电时进行防爆压保护。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供超高压紫外曝光灯整体结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：超高压紫外曝光灯整体结构，包括曝光灯体，所述曝光灯体外部的一端套设有反光杯；

3、所述反光杯外壁的一端套设有支撑件，所述支撑件的一侧设置有底座，所述支撑件和底座之间设置有与曝光灯体配合使用的辅助光源，所述反光杯、支撑件和底座之间设置有胶粘组件。

4、优选的，所述辅助光源包括导电体，所述导电体的外部设置有石英石外壁，所述导电体的两端均规定连接有钼箔，所述钼箔的底部固定连接有第二引出线。

5、优选的，所述胶粘组件包括第一胶粘块，所述第一胶粘块固定填充于反光杯、支撑件和底座之间，所述底座的顶部固定连接有对第二引出线固定密封的第三胶粘块。

6、优选的，所述曝光灯体包括球泡玻璃，所述球泡玻璃内腔的一侧设置有光源阴极，所述球泡玻璃内腔的另一侧设置有光源阳极，所述球泡玻璃的外壁套设有触发丝。

7、优选的，所述光源阳极和光源阴极相背的一端均固定连接有钨杆绕丝，所述钨杆绕丝固定套接于球泡玻璃的内部，所述球泡玻璃的两端均固定连接有胶粘剂，所述球泡玻璃的两端均固定连接有封堵块。

8、优选的，所述封堵块的内部固定连接有与钨杆绕丝相对应的钼片，所述封堵块的一侧固定连接有钼丝，所述钼丝的一端与钼片固定连接，两个所述钼丝相背的一端均固定连接有第一引出线。

9、优选的，所述反光杯的顶部开设有与第一引出线相匹配的排线孔，所述排线孔的内部固定连接有对第一引出线密封的第二胶粘块。

10、本实用新型的技术效果和优点：

11、本实用新型利用曝光灯体和辅助光源的配合使用方式，辅助光源两端接有高频高电压，由于静电耦合作用在辅助光源内部感应产生电介质受激放电，在光源内部开始放电，并在内部释放紫外光线，紫外线照射到曝光灯状态下，在触发线和阴极开始产生初始放电，在阴极和阳极之间开始放电，使超高压汞灯触发电压大大降低。

技术特征：

1.超高压紫外曝光灯整体结构，包括曝光灯体(1)，所述曝光灯体(1)外部的一端套设有反光杯(2)；

2.根据权利要求1所述的超高压紫外曝光灯整体结构，其特征在于，所述辅助光源包括导电体(31)，所述导电体(31)的外部设置有石英石外壁，所述导电体(31)的两端均规定连接有钼箔(32)，所述钼箔(32)的底部固定连接有第二引出线(33)。

3.根据权利要求1所述的超高压紫外曝光灯整体结构，其特征在于，所述胶粘组件包括第一胶粘块(51)，所述第一胶粘块(51)固定填充于反光杯(2)、支撑件(42)和底座(43)之间，所述底座(43)的顶部固定连接有对第二引出线(33)固定密封的第三胶粘块(53)。

4.根据权利要求1所述的超高压紫外曝光灯整体结构，其特征在于，所述曝光灯体(1)包括球泡玻璃(11)，所述球泡玻璃(11)内腔的一侧设置有光源阴极(12)，所述球泡玻璃(11)内腔的另一侧设置有光源阳极(13)，所述球泡玻璃(11)的外壁套设有触发丝(18)。

5.根据权利要求4所述的超高压紫外曝光灯整体结构，其特征在于，所述光源阳极(13)和光源阴极(12)相背的一端均固定连接有钨杆绕丝(14)，所述钨杆绕丝(14)固定套接于球泡玻璃(11)的内部，所述球泡玻璃(11)的两端均固定连接有胶粘剂(17)，所述球泡玻璃(11)的两端均固定连接有封堵块。

6.根据权利要求5所述的超高压紫外曝光灯整体结构，其特征在于，所述封堵块的内部固定连接有与钨杆绕丝(14)相对应的钼片(15)，所述封堵块的一侧固定连接有钼丝(16)，所述钼丝(16)的一端与钼片(15)固定连接，两个所述钼丝(16)相背的一端均固定连接有第一引出线。

7.根据权利要求1所述的超高压紫外曝光灯整体结构，其特征在于，所述反光杯(2)的顶部开设有与第一引出线相匹配的排线孔(41)，所述排线孔(41)的内部固定连接有对第一引出线密封的第二胶粘块(52)。

技术总结本技术公开了超高压紫外曝光灯整体结构，包括曝光灯体，曝光灯体外部的一端套设有反光杯，反光杯外壁的一端套设有支撑件，支撑件的一侧设置有底座，支撑件和底座之间设置有与曝光灯体配合使用的辅助光源，反光杯、支撑件和底座之间设置有胶粘组件，辅助光源包括导电体，导电体的外部设置有石英石外壁，导电体的两端均规定连接有钼箔，钼箔的底部固定连接有第二引出线。本技术利用曝光灯体和辅助光源的配合使用方式，辅助光源两端接有高频高电压，在光源内部开始放电，并在内部释放紫外光线，紫外线照射到曝光灯状态下，在触发线和阴极开始产生初始放电，在阴极和阳极之间开始放电，使超高压汞灯触发电压大大降低。技术研发人员：李治显,赵勇伟受保护的技术使用者：苏州汇影光学技术有限公司技术研发日：20230925技术公布日：2024/5/16