掩模板安装装置及曝光机的制作方法

本技术涉及曝光机，特别涉及一种掩模板安装装置及曝光机。

背景技术：

1、目前掩模板安装机构中，掩模板材质一般都是玻璃材质，掩模板上有曝光加工所需的图案，固定方式是将掩模板安装在一个中空的金属框上，掩模板边缘区域贴合金属板，使用安装扣件将掩模板压紧在金属框上。由于掩模板为玻璃材质，且厚度一般较薄，在固定在金属框上时会产生变形，导致掩模板上图案变形，影响曝光加工效果。

2、并且，在机台运行过程中，需要频繁清洁和更换掩模板。常规的方式是将掩模板直接拆下或掩模板随安装掩模板的金属框一同拆下，进行清洁掩模板操作或更换掩模板，拆装过程步骤较多，消耗时间长。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的是提供一种掩模板安装装置及曝光机，旨在解决现有技术中采用金属框配合卡扣卡紧掩模板的方式，容易导致掩模板变形，影响曝光质量，且拆卸不便的技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提出一种掩模板安装装置，所述掩模板安装装置包括：

3、安装板，所述安装板的底部具有向上凹陷的安装槽，所述安装槽的底壁边缘具有真空槽；

4、掩模板，所述掩模板设置在所述安装内，且所述掩模板的边缘覆盖在所述空槽上；

5、真空发生器，所述真空发生器通过管路与所述真空槽连通，所述真空发生器用于在所述真空槽上形成负压以吸附住所述掩模板。

6、可选地，所述安装槽的底壁为矩形；所述安装槽的底壁四周的边缘各设有一个所述真空槽，多个所述真空槽均与所述真空发生器连通。

7、可选地，所述掩模板安装装置还包括多个承托组件，多个所述承托组件分别设置在所述安装板的底部四周；

8、其中，所述承托组件的一端与所述安装板的底部连接，另一端延伸至所述掩模板的顶部。

9、可选地，所述承托组件包括：

10、承托块，所述安装板的底部具有安装孔，所述承托块的一端设置在所述安装孔内，另一端朝所述掩模板延伸；

11、螺丝，所述安装孔内具有螺纹孔，所述螺丝穿设于所述承托块并与所述螺纹孔连接。

12、可选地，所述承托组件还包括缓冲件，所述缓冲件套设在所述螺丝上。

13、可选地，所述掩模板安装装置还包括：

14、固定板，所述固定板用于安装在外部支撑结构上；

15、转动组件，所述转动组件的一端设置在所述固定板的顶部，另一端与所述安装板的顶部连接，所述安装板通过所述转动组件相对所述固定板转动，以使所述安装板的底面合盖在所述固定板上。

16、可选地，所述转动组件包括：

17、卡接部，所述卡接部设置在所述固定板的顶部边缘；

18、铰接部，所述铰接部设置在所述安装板的顶部，且位于所述安装板对应所述固定板上设有所述卡接部的一侧边缘；

19、铰接轴，所述铰接轴的一端设置在所述卡接部上，另一端设置在所述铰接部上，所述铰接轴的轴心与所述安装板以及所述固定板的表面平行。

20、可选地，所述掩模板安装装置还包括把手，所述把手设置在所述安装板的顶面。

21、可选地，所述安装槽的底壁上设有开口，以使所述掩模板与外部连通。

22、此外，为解决上述问题，本实用新型还提出了一种曝光机，所述曝光机应用有如上述的掩模板安装装置。

23、本实用新型技术方案在在所述掩模板安装在所述安装槽中后，所述掩模板的边缘会覆盖在所述真空槽上，通过所述真空发生器在所述真空槽产生负压，将所述掩模板吸附在所述安装槽中实现固定。通过真空吸附的方式，所述掩模板的受力处于边缘位置，且通过所述真空槽吸附能够使得所述掩模板的受力更加均匀，减少所述掩模板安装后的形变情况。同时在更换时，只需要将切断所述真空发生器即可使所述掩模板脱离，更加高效便捷。

技术特征：

1.一种掩模板安装装置，其特征在于，所述掩模板安装装置包括：

2.根据权利要求1所述的掩模板安装装置，其特征在于，所述安装槽的底壁为矩形；所述安装槽的底壁四周的边缘各设有一个所述真空槽，多个所述真空槽均与所述真空发生器连通。

3.根据权利要求1所述的掩模板安装装置，其特征在于，所述掩模板安装装置还包括多个承托组件，多个所述承托组件分别设置在所述安装板的底部四周；

4.根据权利要求3所述的掩模板安装装置，其特征在于，所述承托组件包括：

5.根据权利要求4所述的掩模板安装装置，其特征在于，所述承托组件还包括缓冲件，所述缓冲件套设在所述螺丝上。

6.根据权利要求1所述的掩模板安装装置，其特征在于，所述掩模板安装装置还包括：

7.根据权利要求6所述的掩模板安装装置，其特征在于，所述转动组件包括：

8.根据权利要求1所述的掩模板安装装置，其特征在于，所述掩模板安装装置还包括把手，所述把手设置在所述安装板的顶面。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的掩模板安装装置，其特征在于，所述安装槽的底壁上设有开口，以使所述掩模板与外部连通。

10.一种曝光机，其特征在于，所述曝光机应用有如权利要求1～9中任一项所述的掩模板安装装置。

技术总结本技术提供了一种掩模板安装装置及曝光机，安装板的底部具有向上凹陷的安装槽，安装槽的底壁边缘具有真空槽；掩模板设置在安装内，且掩模板的边缘覆盖在空槽上；真空发生器通过管路与真空槽连通，真空发生器用于在真空槽上形成负压以吸附住掩模板。本技术技术方案在在掩模板安装在安装槽中后，掩模板的边缘会覆盖在真空槽上，通过真空发生器在真空槽产生负压，将掩模板吸附在安装槽中实现固定。通过真空吸附的方式，掩模板的受力处于边缘位置，且通过真空槽吸附能够使得掩模板的受力更加均匀，减少掩模板安装后的形变情况。同时在更换时，只需要将切断真空发生器即可使掩模板脱离，更加高效便捷。技术研发人员：蒋绍毅,江舒航,黄仕生受保护的技术使用者：萍乡市海目芯微电子装备科技有限公司技术研发日：20230830技术公布日：2024/5/29