自动找平治具的制作方法

本技术涉及纳米压印设备，具体而言，涉及一种自动找平治具。

背景技术：

1、在纳米压印工艺中，不同的母版的平行度和厚度差异是不可避免的，因此在每次压印时都需要根据具体的母版进行找平操作。找平的目的是使得被压印的子板与母版之间实现紧密接触，保证在压印过程中母版与子板始终保持平行状态，确保压印图案的精度。

2、在找平过程中，一个重要的参数是总体厚度差异(total thickness variation，ttv)。ttv是指子板表面与母版表面之间的高度差异，其控制在10微米以内是为了保证压印质量的稳定性和一致性。

3、然而，传统的纳米压印往往无法持续提供向上的力，在找平时的自由度调节也相对有限。这导致了在某些情况下无法完全满足ttv控制要求，可能会出现一些不理想的情况，例如压印质量不均匀或压印深度不一致。

4、也就是说，现有技术中的纳米压印存在压印质量差的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种自动找平治具，以解决现有技术中的纳米压印存在压印质量差的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型提供了一种自动找平治具，包括：定位平台，定位平台具有固定区域；移动平台，移动平台与定位平台相对设置，且移动平台位于定位平台具有固定区域的一侧，定位平台或者移动平台上设置有高度传感器；顶升结构，顶升结构与移动平台连接且位于移动平台远离定位平台的一侧，顶升结构至少包括相对设置的支撑部和承载部，支撑部通过无阻力气缸与承载部距离可调整地连接；六轴结构，六轴结构与顶升结构连接，六轴结构位于顶升结构远离移动平台的一侧，六轴结构高度可调整的设置。

3、进一步地，高度传感器穿设在定位平台上，且高度传感器的检测端朝向移动平台设置，高度传感器为多个，多个高度传感器绕固定区域的周向间隔设置。

4、进一步地，自动找平治具还包括等高块，等高块为多个，多个等高块绕移动平台的周向间隔设置，多个等高块与多个高度传感器一一对应，等高块朝向高度传感器的一侧表面与移动平台朝向高度传感器的一侧表面平齐。

5、进一步地，承载部位于支撑部远离移动平台的一侧，无阻力气缸包括多个，多个无阻力气缸绕支撑部和承载部的周向间隔设置。

6、进一步地，顶升结构还包括止动结构，止动结构与无阻力气缸间隔设置，止动结构的至少一部分可运动地支撑在支撑部与承载部之间，止动结构包括多个，多个止动结构绕述支撑部和承载部的周向间隔设置。

7、进一步地，止动结构包括：刹车柱，支撑部和承载部分别具有相对设置的第一容纳腔和第二容纳腔，刹车柱的两端分别容置在第一容纳腔和第二容纳腔中，且刹车柱沿顶升结构的高度方向可运动地设置；活塞，承载部具有活塞腔，活塞腔与第二容纳腔连通，且活塞腔沿与第二容纳腔垂直的方向进行延伸，活塞可运动地设置在活塞腔中，通过活塞与刹车柱接触实现止动。

8、进一步地，顶升结构还包括与止动结构配合的导向结构，导向结构包括：第一导向段，第一导向段设置在支撑部的外周缘部分上，且第一导向段的至少一部分与支撑部远离承载部的一侧表面连接并与刹车柱限位配合；第二导向段，第二导向段的一端与第一导向段滑动连接，第二导向段的另一端与承载部的侧面固定连接。

9、进一步地，第一导向段包括垂直连接的第一段和第二段，第一段与支撑部远离承载部的一侧表面连接，第二段沿支撑部的高度方向延伸且位于支撑部的侧面，第二段具有沿其延伸方向设置的限位槽，第二导向段的一端具有两个间隔设置的连接臂，两个连接臂上均具有过孔，导向结构还包括导柱和轴承，轴承设置在两个连接臂之间且与过孔对应，导柱穿过过孔和轴承，轴承的外壁上具有凸筋，凸筋绕轴承的周向设置，凸筋与限位槽滑动配合。

10、进一步地，六轴结构包括：顶座，顶座与顶升结构连接；底座，底座位于顶座远离顶升结构的一侧；伸缩柱，伸缩柱支撑在顶座与底座之间，伸缩柱包括多个，多个伸缩柱被分为多组，每组伸缩柱均为两个，一组中的两个伸缩柱之间呈角度设置。

11、进一步地，顶升结构还包括第一连接部和第二连接部，支撑部通过第一连接部与移动平台连接，承载部通过第二连接部与六轴结构连接。

12、应用本实用新型的技术方案，自动找平治具包括定位平台、移动平台、顶升结构、六轴结构，定位平台具有固定区域；移动平台与定位平台相对设置，且移动平台位于定位平台具有固定区域的一侧，定位平台或者移动平台上设置有高度传感器；顶升结构与移动平台连接且位于移动平台远离定位平台的一侧，顶升结构至少包括相对设置的支撑部和承载部，支撑部通过无阻力气缸与承载部距离可调整地连接；六轴结构与顶升结构连接，六轴结构位于顶升结构远离移动平台的一侧，六轴结构高度可调整的设置。

13、本申请通过设置六轴结构、顶升结构和高度传感器，使得六轴结构和顶升结构能够为移动平台提供向上的力，同时通过高度传感器实时反馈移动平台与定位平台之间的距离信息，保证移动平台与定位平台始终保持平衡，有利于保证后续压印工作的稳定性，提升压印质量和压印精度。定位平台的固定区域用于放置母版，移动平台用于放置子板，通过六轴结构使得本申请的自动找平治具有多个自由度可调节，顶升结构至少包括相对设置的支撑部和承载部，支撑部通过无阻力气缸与承载部距离可调整地连接，可通过顶升结构实现移动平台微调和定位，从而保证在后续压印过程中，定位平台与移动平台之间始终保持平行且相对距离也不发生改变，保证压印工作能够稳定进行。

技术特征：

1.一种自动找平治具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的自动找平治具，其特征在于，所述高度传感器(40)穿设在所述定位平台(10)上，且所述高度传感器(40)的检测端朝向所述移动平台(20)设置，所述高度传感器(40)为多个，多个所述高度传感器(40)绕所述固定区域(11)的周向间隔设置。

3.根据权利要求2所述的自动找平治具，其特征在于，所述自动找平治具还包括等高块(30)，所述等高块(30)为多个，多个所述等高块(30)绕所述移动平台(20)的周向间隔设置，多个所述等高块(30)与多个所述高度传感器(40)一一对应，所述等高块(30)朝向所述高度传感器(40)的一侧表面与所述移动平台(20)朝向所述高度传感器(40)的一侧表面平齐。

4.根据权利要求1所述的自动找平治具，其特征在于，所述承载部(53)位于所述支撑部(52)远离所述移动平台(20)的一侧，所述无阻力气缸(55)包括多个，多个所述无阻力气缸(55)绕所述支撑部(52)和所述承载部(53)的周向间隔设置。

5.根据权利要求1所述的自动找平治具，其特征在于，所述顶升结构(50)还包括止动结构，所述止动结构与所述无阻力气缸(55)间隔设置，所述止动结构的至少一部分可运动地支撑在所述支撑部(52)与所述承载部(53)之间，所述止动结构包括多个，多个所述止动结构绕述支撑部(52)和所述承载部(53)的周向间隔设置。

6.根据权利要求5所述的自动找平治具，其特征在于，所述止动结构包括：

7.根据权利要求6所述的自动找平治具，其特征在于，所述顶升结构(50)还包括与所述止动结构配合的导向结构，所述导向结构包括：

8.根据权利要求7所述的自动找平治具，其特征在于，所述第一导向段(571)包括垂直连接的第一段(5711)和第二段(5712)，所述第一段(5711)与所述支撑部(52)远离所述承载部(53)的一侧表面连接，所述第二段(5712)沿所述支撑部(52)的高度方向延伸且位于所述支撑部(52)的侧面，所述第二段(5712)具有沿其延伸方向设置的限位槽(5713)，所述第二导向段(572)的一端具有两个间隔设置的连接臂(5721)，两个所述连接臂(5721)上均具有过孔，

9.根据权利要求1至8中任一项所述的自动找平治具，其特征在于，所述六轴结构(60)包括：

10.根据权利要求1所述的自动找平治具，其特征在于，所述顶升结构(50)还包括第一连接部(51)和第二连接部(54)，所述支撑部(52)通过所述第一连接部(51)与所述移动平台(20)连接，所述承载部(53)通过所述第二连接部(54)与所述六轴结构(60)连接。

技术总结本技术提供了一种自动找平治具。自动找平治具包括：定位平台，定位平台具有固定区域；移动平台，移动平台与定位平台相对设置，且移动平台位于定位平台具有固定区域的一侧，定位平台或者移动平台上设置有高度传感器；顶升结构，顶升结构与移动平台连接且位于移动平台远离定位平台的一侧，顶升结构至少包括相对设置的支撑部和承载部，支撑部通过无阻力气缸与承载部距离可调整地连接；六轴结构，六轴结构与顶升结构连接，六轴结构位于顶升结构远离移动平台的一侧，六轴结构高度可调整的设置。本技术解决了现有技术中的纳米压印存在压印质量差的问题。技术研发人员：张勇,袁创迪,周汉卿,姚金杰,汪杰受保护的技术使用者：宁波舜宇奥来技术有限公司技术研发日：20231117技术公布日：2024/6/5