一种碳化硅生产长晶炉支撑机构的制作方法

本技术涉及长晶炉，具体为一种碳化硅生产长晶炉支撑机构。

背景技术：

1、长晶炉是用于人工合成晶体的设备，人工合成晶体生长是指物质在一定温度、压力、浓度、介质、ph等条件下由气相、液相、固相转化，形成特定线度尺寸晶体的过程。

2、长晶炉在工作时，为了提高晶体质量，需要坩埚与托盘之间紧密接触，并尽量保证坩埚与托盘之间的同心度，而长晶炉在多次工作后，因炉内高温热场会产生热变形，从而导致坩埚与托盘之间的接触紧密性以及同心度变差，从而影响长晶效果，使用不方便。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种碳化硅生产长晶炉支撑机构，解决了现有长晶炉内发生热变形影响后续生产效果的问题。

2、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种碳化硅生产长晶炉支撑机构，包括底座以及托盘，所述底座上设有立柱，所述立柱上端固定安装有承载盘，所述承载盘上壁中心位置设有万向球，所述万向球上壁固定安装有连杆，所述连杆上端固定安装有连接盘，所述托盘与所述连接盘之间可拆卸连接，所述连接盘与所述承载盘之间设有调节组件。

3、优选的，所述调节组件包括设于所述连接盘侧壁的固定环，所述固定环上沿圆周方向设有若干调节孔，所述承载盘上旋接有一对长杆螺栓，所述长杆螺栓上端贯穿设于所述调节孔内，所述长杆螺栓上分别旋接有上螺母以及下螺母。

4、优选的，所述上螺母以及下螺母分别位于连接盘上下两侧。

5、优选的，所述连接盘上壁设有一对弧形插板，所述托盘底部设有连接座，所述连接座下壁设有与所述弧形插板匹配的插槽。

6、优选的，所述调节孔的内径大于所述长杆螺栓的直径。

7、有益效果

8、本实用新型公开了一种碳化硅生产长晶炉支撑机构，具备以下有益效果：本装置结构紧凑，坩埚与连接盘之间通过弧形插板可快速拆装，方便更换，固定环与承载盘之间设置一对长杆螺栓，配合上下螺母可进行偏移调平，保证坩埚与托盘之间的同心度，从而保证后续长晶效果，给人们的使用带来了方便。

技术特征：

1.一种碳化硅生产长晶炉支撑机构，包括底座(1)以及托盘(2)，其特征在于，所述底座(1)上设有立柱(3)，所述立柱(3)上端固定安装有承载盘(4)，所述承载盘(4)上壁中心位置设有万向球(5)，所述万向球(5)上壁固定安装有连杆(6)，所述连杆(6)上端固定安装有连接盘(7)，所述托盘(2)与所述连接盘(7)之间可拆卸连接，所述连接盘(7)与所述承载盘(4)之间设有调节组件。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产长晶炉支撑机构，其特征在于，所述调节组件包括设于所述连接盘(7)侧壁的固定环(8)，所述固定环(8)上沿圆周方向设有若干调节孔(9)，所述承载盘(4)上旋接有一对长杆螺栓(10)，所述长杆螺栓(10)上端贯穿设于所述调节孔(9)内，所述长杆螺栓(10)上分别旋接有上螺母(11)以及下螺母(12)。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅生产长晶炉支撑机构，其特征在于，所述上螺母(11)以及下螺母(12)分别位于连接盘(7)上下两侧。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产长晶炉支撑机构，其特征在于，所述连接盘(7)上壁设有一对弧形插板(13)，所述托盘(2)底部设有连接座(14)，所述连接座(14)下壁设有与所述弧形插板(13)匹配的插槽。

5.根据权利要求2所述的一种碳化硅生产长晶炉支撑机构，其特征在于，所述调节孔(9)的内径大于所述长杆螺栓(10)的直径。

技术总结本技术公开了一种碳化硅生产长晶炉支撑机构，包括底座以及托盘，其特征在于，所述底座上设有立柱，所述立柱上端固定安装有承载盘，所述承载盘上壁中心位置设有万向球，所述万向球上壁固定安装有连杆，所述连杆上端固定安装有连接盘，所述托盘与所述连接盘之间可拆卸连接，所述连接盘与所述承载盘之间设有调节组件，本技术涉及长晶炉技术领域，本装置结构紧凑，坩埚与连接盘之间通过弧形插板可快速拆装，方便更换，固定环与承载盘之间设置一对长杆螺栓，配合上下螺母可进行偏移调平，保证坩埚与托盘之间的同心度，从而保证后续长晶效果，给人们的使用带来了方便。技术研发人员：许俊,尹宝堂,迟鈺杭,张德远,冯慧,王宇飞受保护的技术使用者：常州能量方舟新材料有限公司技术研发日：20230921技术公布日：2024/5/19