一种可调节的单晶炉上保温筒的制作方法

本技术涉及单晶制造，尤其涉及一种可调节的单晶炉上保温筒。

背景技术：

1、单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，保温筒是单晶炉热场系统的关键元件之一，主要用于构建热场腔室，并承载大部分的热场部件。

2、近几年，单晶炉热场大尺寸化的速度越来越快，为了尽可能的利用现有设备，单晶厂商充分挖掘热场潜能，通过新材料的应用，不断升级扩容，增加投料量。其中较普遍的做法是通过提升径向尺寸来增加炉膛空间。因此，作为骨架的保温筒的直径也须随着热场的增大而增大。但是，传统的保温筒的直径大小是固定的，无法根据需要进行调节，因而极易导致保温筒在设计寿命到达前就因热场升级扩容而遭淘汰，造成了巨大的浪费。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种可调节的单晶炉上保温筒，用于解决上述背景技术中提出的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种可调节的单晶炉上保温筒，包括外壳体，所述外壳体表面开设有限位槽，所述限位槽内壁固定连接有限位轴，所述限位轴表面转动连接有限位管，且限位管表面与限位槽内壁转动连接，所述限位管表面固定连接有连接杆，且连接杆与外壳体表面滑动连接，所述外壳体顶面开设有连接槽，所述外壳体内壁设置有限位机构，所述外壳体内壁设置有保温组件，所述外壳体顶面设置有固定机构。

4、优选的，所述限位机构由限位板、限位罩和通孔组成，所述限位板与外壳体内壁固定连接，所述限位罩内壁与外壳体顶面相搭接，所述通孔贯穿开设于限位罩顶面。

5、优选的，所述保温组件由保温板、卡块和卡槽组成，所述保温板与外壳体内壁滑动连接，且保温板底面与限位板内壁相搭接，且保温板顶面与限位罩内壁相搭接，所述卡块与保温板固定连接，所述卡槽开设于保温板表面。

6、优选的，所述固定机构由螺纹孔和螺栓组成，所述螺纹孔开设于外壳体顶面，所述螺栓与螺纹孔螺纹连接，且螺栓与通孔内壁滑动连接。

7、优选的，所述连接杆呈倒“t”形状，且连接杆采用金属材料制成。

8、优选的，所述保温板的数量为多个，且多个保温板均采用石墨材料制成。

9、优选的，所述外壳体的数量为多个，且多个外壳体呈圆形阵列设置。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该可调节的单晶炉上保温筒，根据单晶炉热场的直径调节外壳体和保温板的数量，通过连接杆、连接槽、限位轴和限位管来连接多个外壳体，通过卡块和卡槽连接多个保温板，通过限位板和限位罩对多个外壳体和多个保温板进行限位，通过固定螺栓穿过通孔与螺纹孔螺纹连接，即可固定限位罩；实现了便于根据单晶炉热场尺寸来调节保温筒尺寸的目标，避免了因传统保温筒尺寸固定，而导致单晶炉热场增大后保温筒无法适配，造成巨大浪费的问题。

技术特征：

1.一种可调节的单晶炉上保温筒，包括外壳体（1），其特征在于，所述外壳体（1）表面开设有限位槽（2），所述限位槽（2）内壁固定连接有限位轴（3），所述限位轴（3）表面转动连接有限位管（4），且限位管（4）表面与限位槽（2）内壁转动连接，所述限位管（4）表面固定连接有连接杆（5），且连接杆（5）与外壳体（1）表面滑动连接，所述外壳体（1）顶面开设有连接槽（6），所述外壳体（1）内壁设置有限位机构，所述外壳体（1）内壁设置有保温组件，所述外壳体（1）顶面设置有固定机构。

2.根据权利要求1所述的一种可调节的单晶炉上保温筒，其特征在于，所述限位机构由限位板（7）、限位罩（8）和通孔（9）组成，所述限位板（7）与外壳体（1）内壁固定连接，所述限位罩（8）内壁与外壳体（1）顶面相搭接，所述通孔（9）贯穿开设于限位罩（8）顶面。

3.根据权利要求1所述的一种可调节的单晶炉上保温筒，其特征在于，所述保温组件由保温板（10）、卡块（11）和卡槽（12）组成，所述保温板（10）与外壳体（1）内壁滑动连接，且保温板（10）底面与限位板（7）内壁相搭接，且保温板（10）顶面与限位罩（8）内壁相搭接，所述卡块（11）与保温板（10）固定连接，所述卡槽（12）开设于保温板（10）表面。

4.根据权利要求1所述的一种可调节的单晶炉上保温筒，其特征在于，所述固定机构由螺纹孔（13）和螺栓（14）组成，所述螺纹孔（13）开设于外壳体（1）顶面，所述螺栓（14）与螺纹孔（13）螺纹连接，且螺栓（14）与通孔（9）内壁滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种可调节的单晶炉上保温筒，其特征在于，所述连接杆（5）呈倒“t”形状，且连接杆（5）采用金属材料制成。

6.根据权利要求3所述的一种可调节的单晶炉上保温筒，其特征在于，所述保温板（10）的数量为多个，且多个保温板（10）均采用石墨材料制成。

7.根据权利要求1所述的一种可调节的单晶炉上保温筒，其特征在于，所述外壳体（1）的数量为多个，且多个外壳体（1）呈圆形阵列设置。

技术总结本技术公开了一种可调节的单晶炉上保温筒，包括外壳体，外壳体表面开设有限位槽，限位槽内壁固定连接有限位轴，限位轴表面转动连接有限位管，且限位管表面与限位槽内壁转动连接，限位管表面固定连接有连接杆，根据单晶炉热场的直径调节外壳体和保温板的数量，通过连接杆、连接槽、限位轴和限位管来连接多个外壳体，通过卡块和卡槽连接多个保温板，通过限位板和限位罩对多个外壳体和多个保温板进行限位，通过固定螺栓穿过通孔与螺纹孔螺纹连接，即可固定限位罩，实现了便于根据单晶炉热场尺寸来调节保温筒尺寸的目标，避免了因传统保温筒尺寸固定，而导致单晶炉热场增大后保温筒无法适配，造成巨大浪费的问题。技术研发人员：王骏,朱钢强,丁科,李波,刘建东,李涛,王国兴,王保国受保护的技术使用者：无锡市正红车厢有限公司技术研发日：20231108技术公布日：2024/5/27