一种用于单晶硅掺杂剂补加的防挂壁装置及单晶炉的制作方法

本技术涉及单晶硅制造，具体涉及一种用于单晶硅掺杂剂补加的防挂壁装置及单晶炉。

背景技术：

1、单晶硅是制备晶体硅太阳电池的一种重要材料，直拉法是生长单晶硅的最重要的方法之一；随着单晶的拉制，在石英坩埚内，熔融态硅液和掺杂剂都会减少。为了保证电阻率的值在要求的范围内，需要在二次加料的过程中补加掺杂剂。二次加料使用的是石英加料筒，掺杂剂要被放置在加料筒中部且保证在石英加料筒壁和中间石英管中间，保证掺杂剂不受损失，以便控制电阻率的准确度。

2、cn214088736u公开了一种补充掺杂装置及直拉单晶炉，通过连接杆的延伸可将补充掺杂剂在硅熔液中的掺杂范围扩大，通过转动，可进一步提高掺杂剂进入硅熔液的速度和均匀性，从而保证所拉制的单晶硅棒各个部分掺杂剂的均匀性，提高了制备的当前单晶硅棒的电阻率均匀性，进而提高了当前单晶硅棒的品质。而在补加掺杂剂的过程中，由于掺杂剂会在连接杆内部挂壁而导致损失，以致影响电阻率的控制，进而影响产量，增加生产成本，产品合格率较低。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于单晶硅掺杂剂补加的防挂壁装置及单晶炉，防挂壁装置中包括与连接杆底部固定连接的盛料筒，盛料筒的底部可分离式连接有底板，通过设置第一挡块和第二挡块、挡板和弹力绳，实现掺杂剂的盛料及补加，减少挂壁损失，解决了现有技术中存在的上述问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：

3、一种用于单晶硅掺杂剂补加的防挂壁装置，包括连接杆，在所述连接杆的底部设置装载掺杂剂的盛料筒，在所述连接杆的顶部设置握持杆，所述盛料筒的底部设有底板，底板与盛料筒底部进行可分离式连接。

4、如图1所示，在进行二次加料的过程中，使用石英加料筒，目前操作中通常采用一根直管进行掺杂剂的补加，补加过程中掺杂剂会在直管的内壁进行挂壁导致损失，从而影响控制电阻率的准确度。本装置中主要设置与连接杆固定连接的盛料筒，盛料筒内设有与其可分离式连接的底板，在向下运输掺杂剂的过程中，底板与盛料筒呈闭合状态，当运输到指定位置时，底板与盛料筒呈打开状态，盛料筒内部的掺杂剂进入石英加料筒内进行补加，使盛料筒内壁中的掺杂剂损失达到最低，有效控制电阻率的准确度。

5、优选地，在所述盛料筒的底部设置第一合页，第一合页的另一端与底板的底部固定连接，所述底板与盛料筒的底部相适配。

6、优选地，还包括挡板，所述挡板位于底板的底面中央，挡板的长度大于底板的外径。

7、优选地，还包括第二合页，第二合页的两端分别与连接杆的底端和远离第二挡块的挡板一端固定连接。

8、优选地，握持杆上方设有第一挡块，所述挡板下方设置第二挡块，在第一挡块和第二挡块之间设置弹力绳连接。

9、一种单晶炉，包括石英加料筒以及采用上述所述的防挂壁装置，所述防挂壁装置在石英加料筒内部上下活动进行补加掺杂剂。

10、本实用新型具有的有益效果：本实用新型通过设置第一合页将盛料筒底端和底板连接，第二合页将连接杆的底端与挡板连接，连接杆的底部与盛料筒的顶部固定连接，分别在握持杆和挡板中设置第一挡块和第二挡块，并在第一挡块和第二挡块之间放置弹力绳实现盛料筒的开启与关闭。本装置利用机械结构将掺杂剂补加到石英加料筒的指定位置，避免掺杂剂因挂壁造成损失，进而影响单晶品质，降低生产成本。

技术特征：

1.一种用于单晶硅掺杂剂补加的防挂壁装置，其特征在于，包括连接杆(2)，在所述连接杆(2)的底部设置装载掺杂剂的盛料筒(1)，在所述连接杆(2)的顶部设置握持杆(20)，所述盛料筒(1)的底部设有底板(11)，底板(11)与盛料筒(1)底部进行可分离式连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅掺杂剂补加的防挂壁装置，其特征在于，在所述盛料筒(1)的底部设置第一合页(4)，第一合页(4)的另一端与底板(11)的底部固定连接，所述底板(11)与盛料筒(1)的底部相适配。

3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅掺杂剂补加的防挂壁装置，其特征在于，还包括挡板(8)，所述挡板(8)位于底板(11)的底面中央，挡板(8)的长度大于底板(11)的外径。

4.根据权利要求3所述的一种用于单晶硅掺杂剂补加的防挂壁装置，其特征在于，还包括第二合页(5)，第二合页(5)的两端分别与连接杆(2)的底端和远离第二挡块(7)的挡板(8)一端固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种用于单晶硅掺杂剂补加的防挂壁装置，其特征在于，握持杆(20)上方设有第一挡块(6)，所述挡板(8)下方设置第二挡块(7)，在第一挡块(6)和第二挡块(7)之间设置弹力绳(3)连接。

6.一种单晶炉，其特征在于，包括石英加料筒(10)以及如权利要求1～5任一项所述的防挂壁装置(9)，所述防挂壁装置(9)在石英加料筒(10)内部上下活动进行补加掺杂剂。

技术总结本技术公开了一种用于单晶硅掺杂剂补加的防挂壁装置及单晶炉，包括连接杆，在所述连接杆的底部设置装载掺杂剂的盛料筒，在所述连接杆的顶部设置握持杆，所述盛料筒的底部设有底板，底板与盛料筒底部进行可分离式连接。在所述盛料筒的底部设置第一合页，第一合页的另一端与底板的底部固定连接，所述底板与盛料筒的底部相适配。本装置利用机械结构将掺杂剂补加到石英加料筒的指定位置，避免掺杂剂因挂壁造成损失，进而影响单晶品质，降低生产成本。技术研发人员：张晓虹,关树军,洪华,路建华受保护的技术使用者：乐山市京运通半导体材料有限公司技术研发日：20231113技术公布日：2024/5/27