保温结构和单晶生产装置的制作方法
- 国知局
- 2024-06-20 12:55:54
本申请涉及单晶硅生产,特别是涉及保温结构和单晶生产装置。
背景技术:
1、单晶炉是一种在惰性气体(氩气、氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长单晶硅的设备。
2、在单晶炉中设置有保温筒,其为单晶炉内部热场的重要组成部分。一般在保温筒外壁面包裹有一定厚度的保温毡,以对单晶炉内的热场进行保温。
3、相关技术中,拆装和维护保温结构所耗费的成本较高,影响用户的使用体验。
技术实现思路
1、基于此,有必要针对现有的保温结构存在拆装和维护成本较高的问题,提供一种保温结构。
2、一种保温结构,应用于单晶炉,所述保温结构包括:
3、保温筒,所述保温筒包括多个沿自身周向分布且依次首尾可拆卸连接的拼接模块;
4、多个筒状的保温毡,所述保温毡的内径与所述保温筒的外径相适配;多个所述保温毡沿重力方向依次连接且均套设于所述保温筒的外周壁;
5、相邻的两个所述保温毡分别设置有第一配合部以及用于与所述第一配合部卡合的第二配合部。
6、在其中一个实施例中,所述拼接模块包括沿所述保温毡的周向依次交替设置的第一拼接件和第二拼接件;所述第一拼接件和所述第二拼接件卡接配合。
7、在其中一个实施例中,沿所述保温毡的径向,所述第一拼接件背离所述保温毡的一端构造有第一凹槽;
8、沿所述保温筒的径向,所述第二拼接件背离所述保温毡的一端构造有用于与所述第一凹槽卡接配合的第一凸起。
9、在其中一个实施例中,沿所述保温毡的周向,所述第一拼接件的两端均设置有所述第一凹槽;
10、沿所述保温毡的周向,所述第二拼接件的两端均设置有所述第一凸起。
11、在其中一个实施例中,所述拼接模块和所述保温毡中的一者设置有第二凸起,另一者设置有用于与所述第二凸起卡接配合的第二凹槽。
12、在其中一个实施例中,所述第二凸起和所述第二凹槽之间的接触面包括平面或弧形面。
13、在其中一个实施例中,所述第一配合部和所述第二配合部中的一者包括第三凸起,另一者包括用于与所述第三凸起卡接配合的第三凹槽。
14、在其中一个实施例中,所述第三凸起和所述第三凹槽之间连接有密封件,且所述密封件抵接于所述保温筒的外周壁。
15、在其中一个实施例中,所述保温结构还包括底毡,所述底毡沿所述重力方向开设有排气孔。
16、一种单晶生产装置,包括单晶炉和如上所述的保温结构,所述保温结构设置于所述单晶炉内。
17、上述应用于单晶炉的保温结构,包括保温筒和多个筒状的保温毡。相较于现有技术中人工剪裁保温毡后包裹于保温筒外壁面,并通过抱箍等金属件紧固的方式,本申请通过设计筒状保温毡的内径尺寸与保温筒的外径尺寸相适配,因此可以直接将保温毡套设于保温筒的外周壁,实现快速拆卸,也无需使用抱箍等金属固定件对保温毡进行紧固,降低拆装过程所需的人工成本和材料成本。由于相邻的两个保温毡之间分别设置有第一配合部和第二配合部,因此能够通过第一配合部和第二配合部提升相邻的两个保温毡的接合效果,减少漏热可能,提升保温效果。同时,正是由于保温筒是由多个拼接模块组成,因此在局部拼接模块出现腐蚀损坏时,直接更换对应位置的拼接模块即可,无需更换整个保温筒,降低保温结构的维护成本。
技术特征:1.一种保温结构,应用于单晶炉,其特征在于,所述保温结构包括:
2.根据权利要求1所述的保温结构,其特征在于,所述拼接模块(110)包括沿所述保温毡(120)的周向依次交替设置的第一拼接件(111)和第二拼接件(112);所述第一拼接件(111)和所述第二拼接件(112)卡接配合。
3.根据权利要求2所述的保温结构,其特征在于,沿所述保温毡(120)的径向,所述第一拼接件(111)背离所述保温毡(120)的一端构造有第一凹槽(1111);
4.根据权利要求3所述的保温结构,其特征在于,沿所述保温毡(120)的周向,所述第一拼接件(111)的两端均设置有所述第一凹槽(1111);
5.根据权利要求1所述的保温结构,其特征在于,所述拼接模块(110)和所述保温毡(120)中的一者设置有第二凸起(1112),另一者设置有用于与所述第二凸起(1112)卡接配合的第二凹槽(123)。
6.根据权利要求5所述的保温结构,其特征在于,所述第二凸起(1112)和所述第二凹槽(123)之间的接触面包括平面或弧形面。
7.根据权利要求1所述的保温结构,其特征在于,所述第一配合部(121)和所述第二配合部(122)中的一者包括第三凸起(1211),另一者包括用于与所述第三凸起(1211)卡接配合的第三凹槽(1221)。
8.根据权利要求7所述的保温结构,其特征在于,所述第三凸起(1211)和所述第三凹槽(1221)之间连接有密封件(124),且所述密封件(124)抵接于所述保温筒的外周壁。
9.根据权利要求1所述的保温结构,其特征在于,所述保温结构还包括底毡(125),所述底毡(125)沿所述重力方向开设有排气孔(1251)。
10.一种单晶生产装置,其特征在于,包括如权利要求1-9任一项所述的保温结构(100),还包括单晶炉,所述保温结构(100)设置于所述单晶炉内。
技术总结本申请涉及一种保温结构和单晶生产装置。保温结构应用于单晶生产装置的单晶炉内,保温结构包括保温筒和多个筒状的保温毡。本申请通过设计筒状保温毡的内径尺寸与保温筒的外径尺寸相适配,因此可以直接将保温毡套设于保温筒的外周壁,实现快速拆卸,也无需使用抱箍等金属固定件对保温毡进行紧固,降低拆装过程所需的人工成本和材料成本。由于相邻的两个保温毡分别设置有第一配合部和第二配合部,因此能够提升接合效果,减少漏热可能,提升保温效果。同时,正是由于保温筒是由多个拼接模块组成,因此在保温筒的局部位置出现腐蚀损坏时,直接更换对应位置的拼接模块即可,无需更换整个保温筒,降低保温结构的维护成本。技术研发人员:王剑桥,马玉花,李增博,陈奕峰受保护的技术使用者:天合光能股份有限公司技术研发日:20231007技术公布日:2024/5/29本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20240619/7102.html
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