石英管自动弯管装置及方法与流程

本发明涉及一种半导体加工技术，更具体地说，它涉及一种石英管自动弯管装置及方法。

背景技术：

1、目前，半导体加工过程中，经常遇到石英管的弯管操作，传统的弯管方式大多是人工手动进行操作，手动将石英管需弯曲处烧软后，利用石墨治具辅助手动折弯石英管。手动弯管依赖操作者的经验技术，对于弯曲精度要求较高的产品，如圆度，折弯角度，手动无法稳定一次加工出符合精度要求的产品，生产成本高，工作效率低。

技术实现思路

1、为了克服上述不足，本发明提供了一种石英管自动弯管装置及方法，实现了石英管的自动弯管操作，加工精度高，有利于提高工作效率，降低成本。

2、为了解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：一种石英管自动弯管装置，包括工作台，工作台上设置喷火枪和折弯轴，折弯轴能转动和升降移动，折弯轴上安装折弯夹头，工作台上安装石英管支架，石英管支架与石英管连接，石英管端部装夹在折弯夹头上，喷火枪端部朝向折弯夹头和石英管支架间的石英管上。

3、石英管弯管操作时，将石英管装载在石英管支架上，石英管端部装夹在折弯夹头上，喷火枪点火对石英管支架和折弯夹头之间的石英管弯折位置进行加热，使该位置的石英管变软，石英管向前输送，折弯轴运行实现对石英管的弯管操作。折弯轴的运行方式包括：单独运转；单独升降移动；运转和升降移动同时进行。通过不同的运行方式实现不同形状石英管的弯折操作。通过本专利申请的石英管自动弯管装置实现了石英管的自动弯管操作，加工精度高，有利于提高工作效率，降低成本。

4、作为优选，折弯轴上设置半径调节治具，半径调节治具上设置滑槽，滑槽处安装能滑动的滑块，折弯夹头连接在滑块上。

5、滑动在滑槽中滑动从而调节折弯夹头的位置，从而调节控制石英管的折弯半径。

6、作为优选，石英管支架上设置能升降移动的定位座，定位座上设置定位槽，石英管与定位槽卡在一起。

7、定位槽设置在定位座上便于石英管的安装定位，定位座能够升降移动，从而调节石英管的高度位置，以适应不同的弯折要求。

8、作为优选，工作台上和喷火枪对应设置导轨，导轨上安装移动设置的支撑杆，支撑杆上安装能升降移动的连接杆，喷火枪安装在连接杆上。

9、导轨的设置方便了支撑杆的移动调节位置，连接杆能够升降，便于调节喷火枪的高度位置。

10、作为优选，支撑杆上安装升降设置的连接头，连接杆一端转动安装在连接头上，连接杆另一端转动安装夹座，喷火枪装夹在夹座上。

11、连接头设置在连接杆和支撑杆之间，便于连接杆升降移动调节喷火枪的高度位置。

12、作为优选，工作台下方设置升降移动的安装座，安装座上安装驱动折弯轴运转的折弯电机。

13、折弯电机安装在安装座上能随安装座一起升降移动，折弯电机带动折弯轴转动，从而实现了折弯轴的升降移动和转动。

14、作为优选，安装座上安装螺套，工作台下方设置由电机带动运转的螺杆，螺杆与螺套适配连接。

15、电机带动螺杆转动从而实现螺套的升降，安装座与螺套同步升降从而实现折弯夹头的升降移动。

16、作为优选，装夹在折弯夹头部分的石英管轴线与滑块的滑动方向平行。

17、石英管折弯之前进行装夹，装夹时石英管轴线与滑槽的长度方向平行，在滑块沿滑槽调节位置时，折弯夹头的装夹方向始终与滑动方向平行，方便了石英管的装夹。

18、一种石英管自动弯管方法，利用石英管自动弯管装置实现石英管的弯管操作，包括以下步骤：

19、s1，根据需要弯折石英管的形状和尺寸，调整喷火枪和折弯夹头的位置；

20、s2，将石英管支架上的石英管端部装夹到折弯夹头上；

21、s3，石英管向前推送，喷火枪喷火对石英管折弯位置加热使其变软，折弯轴运行对石英管折弯，折弯轴的运行方式包括：单独运转；单独升降移动；运转和升降移动同时进行；

22、s4，石英管折弯完成后停机，剪断石英管尾部并将完成折弯的石英管卸下。

23、石英管折弯操作自动完成，而且折弯半径可根据需要进行调整，折弯轴的运行方式有多种，可实现不同形状石英管的弯折操作。石英管的弯折自动操作，加工精度高，有利于提高工作效率，降低成本。

24、作为优选，s1时调整折弯轴使折弯轴上设置的半径调节治具对准石英管支架，折弯夹头上设置装夹槽孔，装夹槽孔对准石英管支架；s2时，石英管装夹到折弯夹头上设置的装夹槽孔中，此时石英管轴线在折弯轴的径向上；石英管装夹到位后，在石英管端部插入定型柱，定型柱与装夹槽孔对应设置；定型柱包括定型头和端盖，定型头和端盖之间安装耐高温的定型气囊，定型气囊外壁贴合在石英管内壁上。

25、在滑动调节滑块位置的过程中，折弯夹头上的装夹槽孔始终对准石英管支架，滑块调节到位后，装夹槽孔对准石英管，折弯夹头对石英管的装夹。起始阶段，对石英管加热位置靠近折弯夹头位置，石英管受热存在变形的风险，导致装夹松动。而由于石英管端部插入了定型柱，定型柱对石英管起到了定型的作用，使该位置的石英管不易变形，而且定型柱中设置了定型气囊，定型气囊受热后，会向外膨胀，使定型气囊外壁紧贴石英管内壁实现对石英管的定型，保证石英管的可靠装夹，从而实现石英管的可靠折弯。

26、与现有技术相比，本发明的有益效果是：（1）石英管的弯折自动操作，加工精度高，有利于提高工作效率，降低成本；（2）可实现不同规格石英管的折弯操作；（3）可折弯出不同形状规格的石英管产品；（4）折弯夹头对石英管的装夹可靠，装夹位置不易受热变形，保证了石英管的可靠弯折操作。

技术特征：

1.一种石英管自动弯管装置，包括工作台，其特征是，工作台上设置喷火枪和折弯轴，折弯轴能转动和升降移动，折弯轴上安装折弯夹头，工作台上安装石英管支架，石英管支架与石英管连接，石英管端部装夹在折弯夹头上，喷火枪端部朝向折弯夹头和石英管支架间的石英管上。

2.根据权利要求1所述的一种石英管自动弯管装置，其特征是，折弯轴上设置半径调节治具，半径调节治具上设置滑槽，滑槽处安装能滑动的滑块，折弯夹头连接在滑块上。

3.根据权利要求1所述的一种石英管自动弯管装置，其特征是，石英管支架上设置能升降移动的定位座，定位座上设置定位槽，石英管与定位槽卡在一起。

4.根据权利要求1所述的一种石英管自动弯管装置，其特征是，工作台上和喷火枪对应设置导轨，导轨上安装移动设置的支撑杆，支撑杆上安装能升降移动的连接杆，喷火枪安装在连接杆上。

5.根据权利要求4所述的一种石英管自动弯管装置，其特征是，支撑杆上安装升降设置的连接头，连接杆一端转动安装在连接头上，连接杆另一端转动安装夹座，喷火枪装夹在夹座上。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的一种石英管自动弯管装置，其特征是，工作台下方设置升降移动的安装座，安装座上安装驱动折弯轴运转的折弯电机。

7.根据权利要求6所述的一种石英管自动弯管装置，其特征是，安装座上安装螺套，工作台下方设置由电机带动运转的螺杆，螺杆与螺套适配连接。

8.根据权利要求2所述的一种石英管自动弯管装置，其特征是，装夹在折弯夹头部分的石英管轴线与滑块的滑动方向平行。

9.一种石英管自动弯管方法，其特征是，利用权利要求1至8任意一项所述的石英管自动弯管装置实现石英管的弯管操作，包括以下步骤：

10.根据权利要求9所述的石英管自动弯管方法，其特征是，s1时调整折弯轴使折弯轴上设置的半径调节治具对准石英管支架，折弯夹头上设置装夹槽孔，装夹槽孔对准石英管支架；s2时，石英管装夹到折弯夹头上设置的装夹槽孔中，此时石英管轴线在折弯轴的径向上；石英管装夹到位后，在石英管端部插入定型柱，定型柱与装夹槽孔对应设置；定型柱包括定型头和端盖，定型头和端盖之间安装耐高温的定型气囊，定型气囊外壁贴合在石英管内壁上。

技术总结本发明公开了一种石英管自动弯管装置及方法，旨在解决石英管弯管手动进行，加工精度和工作效率低，成本高的不足。该发明包括工作台，工作台上设置喷火枪和折弯轴，折弯轴能转动和升降移动，折弯轴上安装折弯夹头，工作台上安装石英管支架，石英管支架与石英管连接，石英管端部装夹在折弯夹头上，喷火枪端部朝向折弯夹头和石英管支架间的石英管上。通过本专利申请的石英管自动弯管装置实现了石英管的自动弯管操作，加工精度高，有利于提高工作效率，降低成本。技术研发人员：王振历,吴然红,杨军受保护的技术使用者：杭州大和热磁电子有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/2