一种单晶炉漏硅引流装置的制作方法
- 国知局
- 2024-07-17 13:31:40
本技术属于单晶硅制备,尤其涉及一种单晶炉漏硅引流装置。
背景技术:
1、单晶硅制备是指通过特定的工艺将硅材料转化为单晶结构的过程。
2、目前现有光伏用单晶炉由于复投加料技术的普及,石英坩埚普遍运行时间在10天以上,在拉晶的后期,石英坩埚碎裂的可能性会增大,一旦坩埚碎裂,坩埚内的硅熔液会进入到单晶炉内部,如果漏硅量过大,硅熔液会流进抽空管道内部及下传动波纹管内,烫坏抽空管道及波纹管再流到炉外,一旦烫坏电机及线路,还会有其他的危险产生。
技术实现思路
1、本实用新型要解决的技术问题是:如果漏硅量过大,硅熔液会流进抽空管道内部及下传动波纹管内,烫坏抽空管道及波纹管再流到炉外。
2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种单晶炉漏硅引流装置,包括石英坩埚和竖直通道,所述竖直通道的顶部和石英坩埚的底部相连通,所述石英坩埚底部的四周固定安装有钼导流板,所述钼导流板的底部固定安装有硅溶液导流收集机构;所述硅溶液导流收集机构包括钼导流环、钼接液盘、下传动波纹管、钼导流管、导流管堵板和氟橡胶密封圈,所述钼导流环固定安装在钼导流板的底部,所述钼接液盘固定安装在钼导流环的底部,所述下传动波纹管固定安装在钼接液盘的右侧,所述钼导流管固定安装在下传动波纹管的右侧,所述导流管堵板固定安装在钼导流管的右侧,所述氟橡胶密封圈固定安装在导流管堵板的左侧。
3、作为本实用新型优选的,所述钼导流板内部为锥形状态。
4、作为本实用新型优选的,所述钼接液盘与钼导流管通过螺纹连接。
5、作为本实用新型优选的,所述导流管堵板为熔点低且不易起火的聚四氟乙烯材质。
6、作为本实用新型优选的,所述竖直通道的底部固定连接有溢流槽,所述溢流槽内为真空腔。
7、作为本实用新型优选的,所述竖直通道内设置有石墨套筒。
8、作为本实用新型优选的,所述溢流槽为单层不锈钢立方体槽,所述溢流槽内设置有石墨板或氧化铝式溢流棉层。
9、本实用新型的有益效果是:
10、1.该一种单晶炉漏硅引流装置,通过硅溶液导流收集机构的设置,可以让硅熔液定向流动到没有风险的区域,降低安全风险及财产损失,通过规划硅熔液漏出后的路径,使硅溶液避开有水区域等危险区域,降低漏硅事故造成的风险及损失。
11、2.该一种单晶炉漏硅引流装置,通过将导流管堵板的材质设置为聚四氟乙烯材质,聚四氟乙烯是一种具有良好不粘性的材料,使得其表面难以附着其他物质,这有助于减少积聚物和沉积物的粘附,提高流体的纯度和传输效率,并便于清洗和维护,通过溢流槽的设置,便于承接钼接液盘中溢出的硅溶液,避免硅溶液流到炉外,烫坏电机以及线路。
技术特征:1.一种单晶炉漏硅引流装置,包括石英坩埚(1)和竖直通道(4),其特征在于:所述竖直通道(4)的顶部和石英坩埚(1)的底部相连通,所述石英坩埚(1)底部的四周固定安装有钼导流板(2),所述钼导流板(2)的底部固定安装有硅溶液导流收集机构(3);
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉漏硅引流装置,其特征在于:所述钼导流板(2)内部为锥形状态。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉漏硅引流装置,其特征在于:所述钼接液盘(302)与钼导流管(304)通过螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉漏硅引流装置,其特征在于:所述导流管堵板(305)为熔点低且不易起火的聚四氟乙烯材质。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉漏硅引流装置,其特征在于:所述竖直通道(4)的底部固定连接有溢流槽(5),所述溢流槽(5)内为真空腔。
6.根据权利要求5所述的一种单晶炉漏硅引流装置,其特征在于:所述竖直通道(4)内设置有石墨套筒(6)。
7.根据权利要求5所述的一种单晶炉漏硅引流装置,其特征在于:所述溢流槽(5)为单层不锈钢立方体槽,所述溢流槽(5)内设置有石墨板或氧化铝式溢流棉层。
技术总结本技术公开了一种单晶炉漏硅引流装置,涉及单晶硅制备技术领域,包括石英坩埚和竖直通道,竖直通道的顶部和石英坩埚的底部相连通,石英坩埚底部的四周固定安装有钼导流板,钼导流板的底部固定安装有硅溶液导流收集机构;硅溶液导流收集机构包括钼导流环、钼接液盘、下传动波纹管、钼导流管、导流管堵板和氟橡胶密封圈,钼导流环固定安装在钼导流板的底部,钼接液盘固定安装在钼导流环的底部。该一种单晶炉漏硅引流装置,通过硅溶液导流收集机构的设置,可以让硅熔液定向流动到没有风险的区域,降低安全风险及财产损失,通过规划硅熔液漏出后的路径,使硅溶液避开有水区域等危险区域,降低漏硅事故造成的风险及损失。技术研发人员:李维琛,李润飞,贾世涛受保护的技术使用者:晶澳(无锡)光伏科技有限公司技术研发日:20231127技术公布日:2024/7/9本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20240711/110237.html
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