一种半导体尾气净化设备的制作方法

本技术属于尾气处理设备，尤其涉及一种半导体尾净化设备。

背景技术：

1、半导体制程中产生有害气体需要进行处理。

2、申请号为202020627467.x的中国实用新型专利公开了一种应用于半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，包括支架和过滤外筒，所述过滤外筒的下表面中部连接有下输气管，所述下输气管的侧壁上连接有侧输气管，所述下输气管、侧输气管均为双层结构，所述下输气管的内层与侧输气管的内层连通，所述下输气管的外层与侧输气管的外层连通，所述侧输气管的侧壁上端连接有进气口，所述侧输气管的顶端连接有出气口。

3、上述过滤桶中只有对尾气进行了过滤，对于尾气的处理方式单一，对于尾气的处理效率不高，对尾气难以充分净化。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是针对上述存在的技术问题，提供一种燃烧与过滤相结合的半导体尾气净化装置。

2、本实用新型的目的是这样实现的：一种半导体尾气净化设备，包括过滤桶，过滤桶包括第一端盖与第二端盖，过滤桶的内部设置有自第一端盖朝向第二端盖延伸的燃烧室，燃烧室朝向第二端盖的一端与第二端盖之间设置有用于分流经过燃烧室燃烧后气体的分流组件，燃烧室外围绕有滤芯，滤芯与燃烧室外构成过滤流道，分流组件的出口与过滤流道连通，过滤流道内的气体透过滤芯净化后从排出至过滤桶外。

3、本实用新型中进一步的，分流组件包括置于燃烧室朝向第二端盖一端的开口处并朝向第二端盖延伸的分流通道，分流通道内设置有将进入分流通道的气体分成多路的分流板。

4、本实用新型中进一步的，分流组件包括置于燃烧室朝向第二端盖一端的端面上的多个第一环体以及置于置于第二端盖朝向燃烧室的一面上的多个第二环体，第一环体与第二环体间隔设置，第一环体与第二环体之间构成分流流道。

5、本实用新型中进一步的，第一环体与第二端盖之间以及第二环体与燃烧室朝向第二端盖一端的端面之间留有空隙时第一环体与第二环体构成迷宫状结构以使气体能够经过分流流道流入过滤流道内。

6、本实用新型中进一步的，滤芯包括第一滤芯以及置于第一滤芯外围的第二滤芯，过滤流道包括第一过滤流道和第二过滤流道，第一滤芯与燃烧室之间构成第一过滤流道，第二滤芯与过滤桶的内壁之间构成第二过滤流道。

7、本实用新型中进一步的，第一端盖上设置有可拆卸的支撑环，滤芯连接支撑环使以使滤芯能够从过滤桶内移出。

8、本实用新型中进一步的，燃烧室包括靠近第一端盖的加热区和靠近第二端盖的燃烧区，加热区内设置有加热组件，燃烧区内设置有燃烧器。

9、本实用新型中进一步的，燃烧室朝向第二端盖的一端为锥形结构以使气体能够汇聚入分流组件内。

10、本实用新型的有益效果是：通过燃烧与过滤组合的方式能够对尾气进行充分净化，使尾气能够符合排放标椎。同时燃烧区域与净化区域通过分流组件阻隔，两者互不影响。

技术特征：

1.一种半导体尾气净化设备，其特征在于，包括过滤桶(100)，所述过滤桶(100)包括第一端盖(110)与第二端盖(120)，所述过滤桶(100)的内部设置有自第一端盖(110)朝向第二端盖(120)延伸的燃烧室(200)，所述燃烧室(200)朝向第二端盖(120)的一端与第二端盖(120)之间设置有用于分流经过燃烧室燃烧后气体的分流组件，所述燃烧室(200)的外围绕有滤芯，所述滤芯与燃烧室(200)的外壁构成过滤流道，所述分流组件的出口与所述过滤流道连通，过滤流道内的气体透过滤芯净化后从排出至过滤桶(100)外。

2.根据权利要求1所述的一种半导体尾气净化设备，其特征在于，所述分流组件包括置于燃烧室(200)朝向第二端盖(120)一端的开口处并朝向第二端盖(120)延伸的分流通道(400)，所述分流通道(400)内设置有将进入分流通道(400)的气体分成多路的分流板(410)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体尾气净化设备，其特征在于，所述分流组件包括置于燃烧室(200)朝向第二端盖(120)一端的端面上的多个第一环体(420)以及置于置于第二端盖(120)朝向燃烧室(200)的一面上的多个第二环体(121)，第一环体(420)与第二环体(121)间隔设置，所述第一环体(420)与第二环体(121)之间构成分流流道(430)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体尾气净化设备，其特征在于，所述第一环体(420)与第二端盖(120)之间以及第二环体(121)与燃烧室(200)朝向第二端盖(120)一端的端面之间留有空隙使第一环体(420)与第二环体(121)构成迷宫状结构，以使气体能够经过分流流道(430)流入过滤流道内。

5.根据权利要求1所述的一种半导体尾气净化设备，其特征在于，所述滤芯包括第一滤芯(310)以及置于第一滤芯(310)外围的第二滤芯(320)，所述过滤流道包括第一过滤流道(311)和第二过滤流道(321)，所述第一滤芯(310)与燃烧室(200)之间构成所述第一过滤流道(311)，所述第二滤芯(320)与过滤桶(100)的内壁之间构成所述第二过滤流道(321)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体尾气净化设备，其特征在于，所述第一端盖(110)上设置有可拆卸的支撑环(300)，所述滤芯连接所述支撑环(300)使以使滤芯能够从过滤桶(100)内移出。

7.根据权利要求1所述的一种半导体尾气净化设备，其特征在于，所述燃烧室(200)包括靠近第一端盖(110)的加热区(201)和靠近第二端盖(120)的燃烧区(202)，所述加热区(201)内设置有加热组件(210)，所述燃烧区(202)内设置有燃烧器(220)。

8.根据权利要求1所述的一种半导体尾气净化设备，其特征在于，所述燃烧室(200)朝向第二端盖(120)的一端为锥形结构以使气体能够汇聚入分流组件内。

技术总结本技术公开了一种半导体尾气净化设备，包括过滤桶，过滤桶包括第一端盖与第二端盖，过滤桶的内部设置有自第一端盖朝向第二端盖延伸的燃烧室，燃烧室朝向第二端盖的一端与第二端盖之间设置有用于分流经过燃烧室燃烧后气体的分流组件，燃烧室外围绕有滤芯，滤芯与燃烧室外构成过滤流道，分流组件的出口与过滤流道连通，过滤流道内的气体透过滤芯净化后从排出至过滤桶外。通过燃烧与过滤组合的方式能够对尾气进行充分净化，使尾气能够符合排放标椎。同时燃烧区域与净化区域通过分流组件阻隔，两者互不影响。技术研发人员：崔汉博,崔汉宽受保护的技术使用者：绍兴市高笙半导体科技有限公司技术研发日：20231027技术公布日：2024/7/9