一种单晶炉用石英坩埚底部加热装置的制作方法

本技术属于多晶硅生产领域，具体涉及一种单晶炉用石英坩埚底部加热装置。

背景技术：

1、随着光伏行业的不断发展，大热场大投料量已成为行业的发展趋势，由于投料量的不断增大，化料时间也在不断增加，加快化料速度可以有效降低化料时间在拉晶时间中的占比，提高生产效率。目前的主要方式是提高底加化料功率，供给更多热量来实现加快化料速度的目的，但由于底加热器材料为石墨材质，受制于石墨材质自身性能及配套电源柜等设备的限制，底加热器功率只能升至70-100kw，底加热器功率越高其使用寿命及使用安全性也会相应的降低，在化料过程中一旦底加发生断裂异常就会造成焖炉事故。现有底加热器并无保温装置，热量易散失，同时单晶炉内通入惰性气体氩气，底加供给的热量很大一部分随着氩气排出炉内。底加所供给的热量实际用于加热石英坩埚的很少。

技术实现思路

1、实用新型目的：本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种石英坩埚底部加热装置，可以最大限度对石英坩埚进行集中加热，提高热效率，缩短化料时间。

2、为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

3、一种单晶炉用石英坩埚底部加热装置，包括底部加热器和保温板；所述的保温板顶部设有与石英坩埚底部适配的半球形凹槽，所述的凹槽表面铺设有弧形的镜面反射层；所述的底部加热器架设在所述保温板的半球形凹槽上方。

4、具体地，所述的保温板由多孔材料制成，外部采用保温层护板包裹加固。

5、进一步地，所述的保温板顶部的半球形凹槽内还铺设有弧形的反射层护板；所述的反射层护板铺设在所述的镜面反射层下方。

6、具体地，所述的底部加热器通过下方的一组石墨电极柱支撑在半球形凹槽的上方；所述的石墨电极柱贯穿所述镜面反射层和所述保温板，底端接通电源。

7、进一步地，所述的石墨电极柱外部设置有绝缘护套，所述的绝缘护套与所述石墨电极柱一同贯穿所述镜面反射层和所述保温板。

8、进一步地，所述的底部加热器为环形，其水平的架设在所述保温板的半球形凹槽上。

9、进一步地，所述的镜面反射层为用于将所述底部加热器热辐射反射并聚集在所述石英坩埚底部的球形凹面。

10、进一步地，所述的底部加热器架设在所述保温板的半球形凹槽内，底部加热器的架设高度不超过保温板的顶部平面。

11、进一步地，所述的底部加热器与下方的所述镜面反射层相互不接触。

12、进一步地，所述的绝缘护套顶端延伸至所述镜面反射层上方，底端延伸至保温板的下方。

13、有益效果：

14、该底部加热装置可以将底部加热器所散发出来的热量最大限度的用于加热石英坩埚，实现加快化料速度的目的，提高生产效率。通过设置保温层及保护层，减少热量损失，提高加热效率。

技术特征：

1.一种单晶炉用石英坩埚底部加热装置，其特征在于，包括底部加热器(3)和保温板(6)；所述的保温板(6)顶部设有与石英坩埚(1)底部适配的半球形凹槽，所述的凹槽表面铺设有弧形的镜面反射层(5)；所述的底部加热器(3)架设在所述保温板(6)的半球形凹槽上方。

2.根据权利要求1所述的单晶炉用石英坩埚底部加热装置，其特征在于，所述的保温板(6)由多孔材料制成，外部采用保温层护板(4)包裹加固。

3.根据权利要求1所述的单晶炉用石英坩埚底部加热装置，其特征在于，所述的保温板(6)顶部的半球形凹槽内还铺设有弧形的反射层护板(9)；所述的反射层护板(9)铺设在所述的镜面反射层(5)下方。

4.根据权利要求1所述的单晶炉用石英坩埚底部加热装置，其特征在于，所述的底部加热器(3)通过下方的一组石墨电极柱(7)支撑在半球形凹槽的上方；所述的石墨电极柱(7)贯穿所述镜面反射层(5)和所述保温板(6)，底端接通电源。

5.根据权利要求4所述的单晶炉用石英坩埚底部加热装置，其特征在于，所述的石墨电极柱(7)外部设置有绝缘护套(8)，所述的绝缘护套(8)与所述石墨电极柱(7)一同贯穿所述镜面反射层(5)和所述保温板(6)。

6.根据权利要求1所述的单晶炉用石英坩埚底部加热装置，其特征在于，所述的底部加热器(3)为环形，其水平的架设在所述保温板(6)的半球形凹槽上。

7.根据权利要求1所述的单晶炉用石英坩埚底部加热装置，其特征在于，所述的镜面反射层(5)为用于将所述底部加热器(3)热辐射反射并聚集在所述石英坩埚(1)底部的球形凹面。

8.根据权利要求6所述的单晶炉用石英坩埚底部加热装置，其特征在于，所述的底部加热器(3)架设在所述保温板(6)的半球形凹槽内，底部加热器(3)的架设高度不超过保温板(6)的顶部平面。

9.根据权利要求8所述的单晶炉用石英坩埚底部加热装置，其特征在于，所述的底部加热器(3)与下方的所述镜面反射层(5)相互不接触。

10.根据权利要求5所述的单晶炉用石英坩埚底部加热装置，其特征在于，所述的绝缘护套(8)顶端延伸至所述镜面反射层(5)上方，底端延伸至保温板(6)的下方。

技术总结本技术公开了一种单晶炉用石英坩埚底部加热装置，包括底部加热器和保温板；保温板顶部设有与石英坩埚底部适配的半球形凹槽，凹槽表面铺设有弧形的镜面反射层；底部加热器架设在保温板的半球形凹槽上方。该底部加热装置可以将底部加热器所散发出来的热量最大限度的用于加热石英坩埚，实现加快化料速度的目的，提高生产效率。技术研发人员：郑伟扬受保护的技术使用者：宁夏协鑫光伏科技有限公司技术研发日：20231128技术公布日：2024/7/9