一种非翘曲晶圆取片装置的制作方法

本技术涉及非翘曲晶圆取片，更具体地说，涉及一种非翘曲晶圆取片装置。

背景技术：

1、晶圆在加工过程中涉及对于晶圆的持取。目前对晶圆的持取过程中，晶圆的传输方式主要是利用机械手夹持传输或吸气式吸盘传输。

2、对于机械手夹持式传输而言，需与晶圆表面进行直接机械接触，并依靠摩擦力进行夹持和传输，不可避免地会产生应力集中问题，易造成晶圆破碎。

3、吸盘式的抓取设备往往布满各种管路，在工作的过程这些管路会产生振动，对晶圆抓取的稳定性有一定的影响；同时气管也会限制抓取的活动范围和流畅度。

4、为此，本申请提出一种非翘曲晶圆取片装置，以解决上述存在的问题。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本申请提供一种非翘曲晶圆取片装置。

2、本申请提供的一种非翘曲晶圆取片装置采用如下的技术方案：

3、一种非翘曲晶圆取片装置，包括：

4、陶瓷叉臂，所述陶瓷叉臂包括叉柄与叉头，所述叉臂内设置有气道；

5、吸嘴，所述吸气孔均匀分布在所述叉头上并与所述气道连通。

6、通过上述技术方案，将传统的气管替换为设置在抓取设备内部的气道，有效地避免气管在工作过程中振动的情况。

7、进一步地，每个所述吸气孔外围均设置有凸台，所述凸台的高度高于所述吸气孔的高度，所述凸台以所述吸气孔的中心点为中心设置在所述叉头上；所述吸气孔的数量最少为三个。

8、通过上述技术方案，凸台的目的是为了减小晶圆和叉头的接触面，更小的接触面可以减小对晶圆的损伤同时可以更好的吸附晶圆；凸台还可以防止外部物体进入吸气孔，从而保护吸气孔不被堵塞或损坏，使空气更好地进入吸气孔，从而提高吸气效率，进而增加平面的结构强度以保证稳定地抓取晶圆。

9、进一步地，所述叉柄、所述叉头和所述凸台为一体成型结构。

10、通过上述技术方案，一体成型强度更高，没有传统抓取设备的装配间隙，进而减小了振动，在抓取晶圆的过程中更加稳定和顺畅。

11、进一步的，所述陶瓷叉臂的底部拆卸式设置有密封板，所述密封板与所述气道形成密封；所述密封板与所述陶瓷叉臂均设置有贯通的供气孔，所述供气孔与所述气道连通用于控制所述气道内气体的流向。

12、通过上述技术方案，拆卸式的密封板便于使用者后期对气道进行清理等工作；且多个供气孔的设计能够使使用者根据使用环境选择供气管的连接位置，以减小工作空间的限制。

13、综上所述，本申请包括以下至少一个有益技术效果：

14、(1)将传统的气管替换为设置在抓取设备内部的气道，有效地避免气管在工作过程中振动的情况；

15、(2)凸台可以防止外部物体进入吸气孔，从而保护吸气孔不被堵塞或损坏，使空气更好地进入吸气孔，从而提高吸气效率，进而增加平面的结构强度以保证稳定地抓取晶圆。

技术特征：

1.一种非翘曲晶圆取片装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种非翘曲晶圆取片装置，其特征在于：每个所述吸气孔(4)外围均设置有凸台(5)，所述凸台(5)的高度高于所述吸气孔(4)的高度，所述凸台(5)以所述吸气孔(4)的中心点为中心设置在所述叉头(2)上；所述吸气孔(4)的数量最少为三个。

3.根据权利要求2所述的一种非翘曲晶圆取片装置，其特征在于：所述叉柄(1)、所述叉头(2)和所述凸台(5)为一体成型结构。

技术总结本技术属于非翘曲晶圆取片技术领域，公开了一种非翘曲晶圆取片装置，包括：陶瓷叉臂，所述陶瓷叉臂包括叉柄与叉头，所述叉臂内设置有气道；吸嘴，所述吸气孔均匀分布在所述叉头上并与所述气道连通；将传统的气管替换为设置在抓取设备内部的气道，有效地避免气管在工作过程中振动的情况。技术研发人员：司步超,高志远,张刊,王瑞锋,潘武受保护的技术使用者：上海诺银机电科技有限公司技术研发日：20230905技术公布日：2024/7/11