一种修整盘的固定结构的制作方法

本技术涉及化学机械抛光，特别是涉及一种修整盘的固定结构。

背景技术：

1、在半导体芯片制程中，化学机械抛光(chemical mechanical polisher,简称cmp)是必不可少的工序。在抛光研磨过程中，为保持晶圆有稳定的研磨速率，需要保证研磨垫有恒定的表面粗糙度，修整器带动装有金刚石修整盘的研磨头以要求的压力在研磨垫表面进行打磨，从而实现研磨垫恒定的表面粗糙度。

2、目前的修整盘采用的固定方式是螺钉固定于机械臂末端的安装基座的下表面，修整盘与安装基座对应开设有螺纹孔并通过螺钉固定连接。由于使用寿命的限制，在使用一段时间后，通常需要对修整盘进行修理或者替换等。在定期保养拆卸时，需使用内六角扳手进行拆卸，耗时耗力，且长期频繁拆装，螺丝存在滑丝及断裂风险；安装时若锁螺丝的力不均匀，可能导致修整盘一边翘起，对于产品的平整度也有一定影响。

3、因此需要提出一种新的固定连接方式，以便于修整盘与安装基座之间的拆装。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种修整盘的固定结构，用于解决现有技术中修整盘不易拆装的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种修整盘的固定结构，所述修整盘的固定结构包括：

3、安装基座，所述安装基座的下表面设有多个沿圆周方向排布的螺钉；

4、修整盘，所述修整盘安装于所述安装基座下方，所述修整盘与安装基座接触的上表面开有多个沿圆周方向排布的盲孔，所述盲孔包括沿切向相连的第一槽部与第二槽部；上提修整盘使螺钉对应落入第一槽部内，然后旋转修整盘使螺钉进入第二槽部内，利用第二槽部卡住所述螺钉头部，实现修整盘的固定。

5、优选地，所述螺钉包括竖直连接的头部及杆部；所述第一槽部为柱状且能够容纳所述螺钉的头部；所述第二槽部为凸字形结构，包括竖直连接的第一空腔及第二空腔，所述第一空腔能够容纳所述螺钉的杆部，所述第二空腔能够容纳所述螺钉的头部。

6、优选地，所述螺钉的头部直径为杆部直径的两倍以上。

7、优选地，所述螺钉杆部的上端面竖直连接有导向柱且所述螺钉能够沿导向柱上下移动，所述导向柱外围套设有螺旋弹簧，螺旋弹簧的下端与所述螺钉杆部的上端面固定连接，以提供给所述螺钉向上的拉力。

8、优选地，所述导向柱竖直贯穿安装基座，且导向柱的上端与所述安装基座固定连接。

9、优选地，c形环夹紧所述导向柱的上端部，c形环卡在安装基座的上表面。

10、优选地，所述螺钉为圆头螺钉。

11、优选地，所述螺钉的数量为3-6个，所述螺钉沿圆周方向均匀排布。

12、优选地，所述安装基座的上表面连接有机械臂，以控制其移动。

13、优选地，所述修整盘与安装基座的边缘处设有箍环，以将两者一体紧固。

14、如上所述，本实用新型提供一种修整盘的固定结构，包括安装基座及安装于所述安装基座下方的修整盘，安装基座的下表面设有多个沿圆周方向排布的螺钉，修整盘与安装基座接触的上表面开有多个与螺钉对应的盲孔，盲孔包括沿切向相连的第一槽部与第二槽部；第一槽部为柱状且能够容纳螺钉的头部；第二槽部为凸字形结构，包括竖直连接的第一空腔及第二空腔，第一空腔能够容纳螺钉的杆部，第二空腔能够容纳螺钉的头部。在安装时，先上提修整盘使螺钉对应落入第一槽部内，然后旋转修整盘使螺钉进入第二槽部内，利用第二槽部卡住螺钉头部，实现修整盘的固定。本申请采用这种旋转式的拆装方式，摒弃原有的螺丝固定方式，彻底解决螺丝滑丝及断裂的风险，同时可实现修整盘的快速拆装，节省人力，缩短保养时间，提高效率。

技术特征：

1.一种修整盘的固定结构，其特征在于，所述修整盘的固定结构包括：

2.根据权利要求1所述的修整盘的固定结构，其特征在于：所述螺钉包括竖直连接的头部及杆部；所述第一槽部为柱状且能够容纳所述螺钉的头部；所述第二槽部为凸字形结构，包括竖直连接的第一空腔及第二空腔，所述第一空腔能够容纳所述螺钉的杆部，所述第二空腔能够容纳所述螺钉的头部。

3.根据权利要求2所述的修整盘的固定结构，其特征在于：所述螺钉的头部直径为杆部直径的两倍以上。

4.根据权利要求2所述的修整盘的固定结构，其特征在于：所述螺钉杆部的上端面竖直连接有导向柱且所述螺钉能够沿导向柱上下移动，所述导向柱外围套设有螺旋弹簧，螺旋弹簧的下端与所述螺钉杆部的上端面固定连接，以提供给所述螺钉向上的拉力。

5.根据权利要求4所述的修整盘的固定结构，其特征在于：所述导向柱竖直贯穿安装基座，且导向柱的上端与所述安装基座固定连接。

6.根据权利要求5所述的修整盘的固定结构，其特征在于：c形环夹紧所述导向柱的上端部，

7.根据权利要求1所述的修整盘的固定结构，其特征在于：所述螺钉为圆头螺钉。

8.根据权利要求1所述的修整盘的固定结构，其特征在于：所述螺钉的数量为3-6个，所述螺钉沿圆周方向均匀排布。

9.根据权利要求1所述的修整盘的固定结构，其特征在于：所述安装基座的上表面连接有机械臂，以控制其移动。

10.根据权利要求1所述的修整盘的固定结构，其特征在于：所述修整盘与安装基座的边缘处设有箍环，以将两者一体紧固。

技术总结本技术提供一种修整盘的固定结构，包括安装基座及安装于所述安装基座下方的修整盘，安装基座的下表面设有多个沿圆周方向排布的螺钉，修整盘与安装基座接触的上表面开有多个与螺钉对应的盲孔，盲孔包括沿切向相连的第一槽部与第二槽部。在安装时，先上提修整盘使螺钉对应落入第一槽部内，然后旋转修整盘使螺钉进入第二槽部内，利用第二槽部卡住螺钉头部，实现修整盘的固定。本申请采用这种旋转式的拆装方式，摒弃原有的螺丝固定方式，彻底解决螺丝滑丝及断裂的风险，同时可实现修整盘的快速拆装，节省人力，缩短保养时间，提高效率。技术研发人员：左昭,杨俊男,闫晓晖受保护的技术使用者：上海积塔半导体有限公司技术研发日：20231030技术公布日：2024/7/18