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一种防止晶片破碎的过渡槽装置的制作方法

  • 国知局
  • 2024-08-05 13:47:09

本技术涉及光伏硅片,尤其涉及一种防止晶片破碎的过渡槽装置。

背景技术:

1、目前,随着光伏硅片等多领域的应用,多晶硅片的尺寸越来越小或越来越薄,多晶硅片在加工运输的过程中,容易在电镀槽药水的冲击力下破碎,无法进行加工,并且掉落的碎片难以拾出,影响后续电镀阳极对后续其他多晶硅片的正常电镀加工。

技术实现思路

1、针对上述不足,本实用新型的目的在于提供一种防止晶片破碎的过渡槽装置,通过设置多层闸门进行电镀水位调整,从而使多晶硅片在运输过程至不同的加工机械中均为平稳的水位,不存在液面差,不会受到不同水位药水的冲击,从而防止多晶硅片破碎,提高成品率和生产效率。

2、本实用新型为达到上述目的所采用的技术方案是:

3、一种防止晶片破碎的过渡槽装置,包括至少一过渡进槽,所述过渡进槽包括架设于地面上的一进槽支架、设置于所述进槽支架中部的一进槽闸门、滑动于所述进槽支架侧边上的至少一进槽传送机构、设置于所述进槽支架上且位于进槽闸门一端的一进入备用槽、以及设置于进槽支架下端的一进槽回水管路;所述进入备用槽远离进槽闸门的一端设置有一进入备用闸门。

4、作为本实用新型的进一步改进,所述进槽支架的中部设置有一进槽闸安装槽,所述进槽闸安装槽的顶端安装有至少一进槽闸充气密封条;所述进槽闸门包括设置于所述进槽闸安装槽内的一进槽闸门板、设置于进槽闸门板上的至少一进槽闸直齿条、设置于所述进槽闸门板靠近进入备用槽方向的一进槽闸门架、分别设置于所述进槽闸门板两侧的一进槽闸门轨、设置于所述进槽闸门轨上且位于朝向所述进槽闸直齿条方向的一进槽闸门轴座、转动设置于两组进槽闸门轴座之间的一进槽闸轴体、设置于进槽闸轴体上且啮合于所述进槽闸直齿条的至少一进槽闸直齿轮、设置于所述进槽支架侧边上且其输出轴与所述进槽闸轴体连接的一进槽闸驱动电机。

5、作为本实用新型的进一步改进,所述进槽闸门板朝向进入备用槽的一端从高到底依次排列有3组进入加强条,最高处的加强条上安装有至少一进入橡胶减震器。

6、作为本实用新型的进一步改进,所述进入备用槽包括架设于所述进槽支架上的至少一进入备用安装臂、设置于所述进入备用安装臂之间的一进入备用槽槽体,所述进入备用槽槽体远离进槽闸门的一端开设有一进入备用出口,所述进入备用闸门设置于所述进入备用出口上方并可贯穿所述进入备用槽槽体的顶端下降至阻挡所述进入备用出口。

7、作为本实用新型的进一步改进,所述进入备用闸门包括分别设置于所述进入备用槽槽体远离进槽闸门一端两侧的一进入导向块固定板、设置于所述进入导向块固定板远离进槽闸门一端的一进入备用闸门轨、设置于两组进入备用闸门轨之间的一进入备用闸门板、设置于所述进入备用闸门板朝向所述进槽闸门一端的至少一进入备用直齿条、转动设置于两组进入导向块固定板之间的一进入备用轴体、设置于所述进入备用轴体上且啮合于所述进入备用直齿条的至少一进入备用直齿轮、以及设置于所述进入备用槽槽体靠近进入备用闸门板一端且其输出轴与所述备用轴体连接的一进入备用驱动电机;所述进入备用槽槽体靠近所述进入备用闸门板的一端设置有可抵压于所述进入备用闸门板的至少一进入备用充气密封条。

8、作为本实用新型的进一步改进,所述进槽传送机构包括架设于所述进槽支架侧边上的一进槽直线电机模组、以及设置于所述进槽直线电机模组的滑台上的一夹持板框。

9、作为本实用新型的进一步改进,所述进槽回水管路包括连通于所述进槽支架位于远离进入备用槽一端的一第一进槽管道、以及连通于所述进槽支架位于靠近进入备用槽一端的一第二活接球阀、以及设置于所述第二活接球阀另一端的一第二进槽管道。

10、作为本实用新型的进一步改进,还包括衔接于所述过渡进槽靠近进入备用槽一端的一电镀槽。

11、作为本实用新型的进一步改进,还包括衔接于所述电镀槽另一端的一过渡出槽。

12、作为本实用新型的进一步改进,所述过渡出槽包括架设于所述地面上的一出槽支架、设置于所述出槽支架中部的一出槽闸门、滑动于所述出槽支架侧边上的至少一出槽传送机构、设置于所述出槽支架上且位于出槽闸门一端的一出槽备用槽、以及设置于出槽支架下端的一出槽回水管路;所述出槽备用槽远离出槽闸门的一端设置有一出槽备用闸门。

13、本实用新型的有益效果为:

14、通过将过渡进槽设置为包括架设于地面上的一进槽支架、设置于所述进槽支架中部的一进槽闸门、滑动于所述进槽支架侧边上的至少一进槽传送机构、设置于所述进槽支架上且位于进槽闸门一端的一进入备用槽、以及设置于进槽支架下端的一进槽回水管路;所述进入备用槽远离进槽闸门的一端设置有一进入备用闸门。所述过渡进槽被所述进槽闸门分为前部分和拥有进入备用槽的后部分。所述进入备用槽中装载有电镀药水。所述过渡进槽的前端可衔接水洗槽等加工槽,多晶硅片夹持安装于所述进槽传送机构中从前端的水洗槽等加工槽中传送过来过渡进槽的前半部分中,所述进槽闸门开启,所述进槽传送机构将多晶硅片传送至后部分中,所述进入备用槽中的进入备用闸门缓慢开启,慢慢将电镀药水流入所述过渡进槽的后半部分中,使过渡进槽中的药水液面与下文所述电镀槽中的液面持平,进而使过渡进槽后半部分中的进槽传送机构夹持多晶硅片进入到电镀槽内时为水平平稳路程,进槽传送机构夹持多晶硅片进入到电镀槽后进入备用闸门关闭,完成过渡。整个过程自动且流畅,通过设置多层闸门进行电镀水位调整,从而使多晶硅片在运输过程至不同的加工机械中均为平稳的水位,不存在液面差,不会受到不同水位药水的冲击,从而防止多晶硅片破碎,提高成品率和生产效率。

15、上述是实用新型技术方案的概述,以下结合附图与具体实施方式,对本实用新型做进一步说明。

技术特征:

1.一种防止晶片破碎的过渡槽装置,其特征在于:包括至少一过渡进槽,所述过渡进槽包括架设于地面上的一进槽支架、设置于所述进槽支架中部的一进槽闸门、滑动于所述进槽支架侧边上的至少一进槽传送机构、设置于所述进槽支架上且位于进槽闸门一端的一进入备用槽、以及设置于进槽支架下端的一进槽回水管路;所述进入备用槽远离进槽闸门的一端设置有一进入备用闸门。

2.根据权利要求1所述的防止晶片破碎的过渡槽装置,其特征在于:所述进槽支架的中部设置有一进槽闸安装槽,所述进槽闸安装槽的顶端安装有至少一进槽闸充气密封条;所述进槽闸门包括设置于所述进槽闸安装槽内的一进槽闸门板、设置于进槽闸门板上的至少一进槽闸直齿条、设置于所述进槽闸门板靠近进入备用槽方向的一进槽闸门架、分别设置于所述进槽闸门板两侧的一进槽闸门轨、设置于所述进槽闸门轨上且位于朝向所述进槽闸直齿条方向的一进槽闸门轴座、转动设置于两组进槽闸门轴座之间的一进槽闸轴体、设置于进槽闸轴体上且啮合于所述进槽闸直齿条的至少一进槽闸直齿轮、设置于所述进槽支架侧边上且其输出轴与所述进槽闸轴体连接的一进槽闸驱动电机。

3.根据权利要求1所述的防止晶片破碎的过渡槽装置,其特征在于:所述进槽闸门板朝向进入备用槽的一端从高到底依次排列有3组进入加强条,最高处的加强条上安装有至少一进入橡胶减震器。

4.根据权利要求1所述的防止晶片破碎的过渡槽装置,其特征在于:所述进入备用槽包括架设于所述进槽支架上的至少一进入备用安装臂、设置于所述进入备用安装臂之间的一进入备用槽槽体,所述进入备用槽槽体远离进槽闸门的一端开设有一进入备用出口,所述进入备用闸门设置于所述进入备用出口上方并可贯穿所述进入备用槽槽体的顶端下降至阻挡所述进入备用出口。

5.根据权利要求4所述的防止晶片破碎的过渡槽装置,其特征在于:所述进入备用闸门包括分别设置于所述进入备用槽槽体远离进槽闸门一端两侧的一进入导向块固定板、设置于所述进入导向块固定板远离进槽闸门一端的一进入备用闸门轨、设置于两组进入备用闸门轨之间的一进入备用闸门板、设置于所述进入备用闸门板朝向所述进槽闸门一端的至少一进入备用直齿条、转动设置于两组进入导向块固定板之间的一进入备用轴体、设置于所述进入备用轴体上且啮合于所述进入备用直齿条的至少一进入备用直齿轮、以及设置于所述进入备用槽槽体靠近进入备用闸门板一端且其输出轴与所述备用轴体连接的一进入备用驱动电机;所述进入备用槽槽体靠近所述进入备用闸门板的一端设置有可抵压于所述进入备用闸门板的至少一进入备用充气密封条。

6.根据权利要求1所述的防止晶片破碎的过渡槽装置,其特征在于:所述进槽传送机构包括架设于所述进槽支架侧边上的一进槽直线电机模组、以及设置于所述进槽直线电机模组的滑台上的一夹持板框。

7.根据权利要求1所述的防止晶片破碎的过渡槽装置,其特征在于:所述进槽回水管路包括连通于所述进槽支架位于远离进入备用槽一端的一第一进槽管道、以及连通于所述进槽支架位于靠近进入备用槽一端的一第二活接球阀、以及设置于所述第二活接球阀另一端的一第二进槽管道。

8.根据权利要求1所述的防止晶片破碎的过渡槽装置,其特征在于:还包括衔接于所述过渡进槽靠近进入备用槽一端的一电镀槽。

9.根据权利要求8所述的防止晶片破碎的过渡槽装置,其特征在于:还包括衔接于所述电镀槽另一端的一过渡出槽。

10.根据权利要求9所述的防止晶片破碎的过渡槽装置,其特征在于:所述过渡出槽包括架设于所述地面上的一出槽支架、设置于所述出槽支架中部的一出槽闸门、滑动于所述出槽支架侧边上的至少一出槽传送机构、设置于所述出槽支架上且位于出槽闸门一端的一出槽备用槽、以及设置于出槽支架下端的一出槽回水管路;所述出槽备用槽远离出槽闸门的一端设置有一出槽备用闸门。

技术总结本技术公开了一种防止晶片破碎的过渡槽装置,包括至少一过渡进槽,所述过渡进槽包括架设于地面上的一进槽支架、设置于所述进槽支架中部的一进槽闸门、滑动于所述进槽支架侧边上的至少一进槽传送机构、设置于所述进槽支架上且位于进槽闸门一端的一进入备用槽、以及设置于进槽支架下端的一进槽回水管路;所述进入备用槽远离进槽闸门的一端设置有一进入备用闸门。本技术提供的一种防止晶片破碎的过渡槽装置,通过设置多层闸门进行电镀水位调整,从而使多晶硅片在运输过程至不同的加工机械中均为平稳的水位,不存在液面差,不会受到不同水位药水的冲击,从而防止多晶硅片破碎,提高成品率和生产效率。技术研发人员:杨毅,林琼辉,李冠章受保护的技术使用者:东莞市优唯智能设备有限公司技术研发日:20231108技术公布日:2024/7/18

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