研磨液混合槽的制造方法及其结构与流程

本发明为一种研磨液混合槽的，尤其指一种研磨液混合槽的制造方法及其结构，为安装开放式的磁浮式搅拌器而洐生的槽体结构。

背景技术：

1、本发明日前设计一种研磨液混合槽的搅拌混合方式，此方式是在槽体内安装倾斜状的磁浮式搅拌器，以此获得良好的混合效果，但槽体若为金属材质，加工上较为容易，然而本发明研磨液主要用于半导体制程，为避免槽内化学药剂与槽壁材料反应后溶解渗透至液体中，一般槽体是采用聚丙烯(pp)或聚偏二氟乙烯(pvdf)材料所制成，若要安装磁浮式搅拌器，就必须另安装一转子壳体用以承载转子，由于此次设计的槽体底部呈由上而下渐缩的锥状弧形壁，要将转子壳体形成与所述锥状弧形壁相互对应的锥面且在接合处必须非常平坦，增加了制造上的困难度，另外转子壳体的厚度也不能太厚，以免影响磁力作用，造成转子无法悬浮及转动，为此本发明设计了一种研磨液混合槽的制造方法及其结构。

技术实现思路

1、本发明的主要目的是提供一种研磨液混合槽的制造方法及其结构，是将转子壳体壁厚采用多段不同的厚度，搭配预热软化再施以焊料焊接固定，使得所述转子壳体与槽体达到良好的接合效果，最终完成符合要求的研磨液混合槽，让研磨液在此槽内能获得良好的混合搅拌效果且减少剪应力产生。

2、为实现上述的目的，本发明采用了如下技术方案：

3、本发明为一种研磨液混合槽的制造方法，其步骤包括：使用由聚丙烯或聚偏二氟乙烯所制成的槽体，所述槽体底部具有呈圆锥状的锥状弧形壁，所述锥状弧形壁具有至少一孔壁；使用由聚丙烯或聚偏二氟乙烯所制成的转子壳体，所述转子壳体包括底壳壁、环绕所述底壳壁周围的侧壁、及连接于所述侧壁顶缘的连接壁，其中所述侧壁的厚度小于所述底壳壁与所述连接壁的厚度；加热使所述转子壳体软化，且将所述转子壳体置于所述孔壁内；使用治具与所述转子壳体接触，并使所述连接壁变形相接于所述孔壁；将焊料焊接于所述连接壁与所述孔壁接合处。

4、作为较佳优选实施方案之一，所述连接壁在最外围边缘具有凸环，所述凸环为所述连接壁的最厚区域。

5、作为较佳优选实施方案之一，所述治具是位于所述槽体内部与所述转子壳体及所述锥状弧形壁接触，之后在所述槽体外以焊料焊接于所述连接壁与所述转子壳体的接合处。

6、作为较佳优选实施方案之一，所述治具包括校正弧形壁及凸出部，所述校正弧形壁对应所述锥状弧形壁的锥面，当所述治具与所述转子壳体接触时，能使所述连接壁略为变形呈弧面，且对应于所述锥状弧形壁的弧面，所述凸出部则位于所述底壳壁与所述侧壁合围的空间内。

7、一种研磨液混合槽的结构，包括：一槽体，所述槽体由聚丙烯或聚偏二氟乙烯所制成的容器，所述槽体底部具有呈圆锥状的锥状弧形壁，所述锥状弧形壁结合着一转子壳体，所述转子壳体由聚丙烯或聚偏二氟乙烯所制成，所述转子壳体包括底壳壁、环绕所述底壳壁周围的侧壁、及连接于所述侧壁顶缘的连接壁，所述侧壁厚度小于所述底壳壁的厚度与所述连接壁的厚度，并由所述连接壁与所述锥状弧形壁相结合；一磁浮式搅拌器，包括驱动定子及磁浮转子，所述驱动定子包覆于所述转子壳体，所述磁浮转子位于所述转子壳体内，所述驱动定子隔着所述转子壳体能驱动所述磁浮转子旋转，使得所述磁浮转子上的叶片对所述槽体内的研磨液产生扰动。

8、与现有技术相比，本发明提供一个研磨液混合槽的结构，包括槽体及于所述槽体底部呈倾斜方式设置的磁浮式搅拌器，所述槽体底部具有呈圆锥状的锥状弧形壁，所述锥状弧形壁结合着一转子壳体，所述槽体及所述转子壳体皆由聚丙烯或聚偏二氟乙烯所制成，满足研磨液容器须由特定材质制成的要求，如此所构成的研磨液混合槽，在运作时减少剪应力避免凝结成粗粒子，以顺利输出浆液粒子均匀细微的质量优良的研磨液。

技术特征：

1.一种研磨液混合槽的制造方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的研磨液混合槽的制造方法，其特征在于，所述连接壁在最外围边缘具有凸环，所述凸环为所述连接壁的最厚区域。

3.根据权利要求1所述的研磨液混合槽的制造方法，其特征在于，所述治具位于所述槽体内部与所述转子壳体及所述锥状弧形壁接触，之后在所述槽体外以焊料焊接于所述连接壁与所述转子壳体的接合处。

4.根据权利要求1所述的研磨液混合槽的制造方法，其特征在于，所述治具包括校正弧形壁及凸出部，所述校正弧形壁对应所述锥状弧形壁的锥面，当所述治具与所述转子壳体接触时，能使所述连接壁变形呈弧面，且对应于所述锥状弧形壁的弧面，所述凸出部则位于所述底壳壁与所述侧壁合围的空间内。

5.一种研磨液混合槽的结构，其特征在于，包括：

6.根据权利要求5所述的研磨液混合槽的结构，其特征在于，所述连接壁在最外围边缘具有凸环，所述凸环为所述连接壁的最厚区域。

7.根据权利要求5所述的研磨液混合槽的结构，其特征在于，所述连接壁的厚度大于所述底壳壁的厚度。

8.根据权利要求5所述的研磨液混合槽的结构，其特征在于，所述连接壁呈弧面且对应于所述锥状弧形壁的弧面。

9.根据权利要求5所述的研磨液混合槽的结构，其特征在于，所述连接壁外径尺寸大于所述驱动定子的外径。

技术总结一种研磨液混合槽的制造方法及其结构，制造方法的步骤包括：使用由聚丙烯或聚偏二氟乙烯所制成的槽体，槽体底部具有呈圆锥状的锥状弧形壁，锥状弧形壁具有至少一孔壁；使用由聚丙烯或聚偏二氟乙烯所制成的转子壳体，转子壳体包括底壳壁、环绕底壳壁周围的侧壁、及连接于侧壁顶缘的连接壁，其中侧壁的厚度小于底壳壁与连接壁的厚度；加热使转子壳体软化，且将转子壳体置于孔壁内；使用治具与转子壳体接触，并使连接壁变形且相接于孔壁；将焊料焊接于连接壁与孔壁接合处，如此形成槽体，槽体再安装磁浮式搅拌器就成一研磨液混合槽的结构。技术研发人员：郑火龙受保护的技术使用者：全营科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/15