光刻胶干燥设备尾气处理装置的制作方法

本技术涉及换热，尤其涉及一种光刻胶干燥设备尾气处理装置。

背景技术：

1、在显示面板的制造过程中，需要对显示面板进行光刻处理，包括在显示面板上涂光刻胶、曝光、显影等步骤。在显示面板上涂光刻胶之后，还需采用干燥设备对光刻胶进行干燥。干燥设备排出的高温气体需要进入换热器，以对其热量进行回收。但由于高温气体中具有光刻胶成分，进入换热器进行降温的过程中，气相的光刻胶容易发生冷凝变成液相的光刻胶，液相的光刻胶很容易粘在如图1所示的换热器内的换热片2′上，需要定期清洁。

2、现有技术存在以下不足：现有的换热器内具有换热管1′和焊接在换热管1′上的换热片2′，清洁换热片2′上的冷凝光刻胶时，就需要将换热管1′全部取出，整体长时间浸泡在清洗剂中进行溶解。清洁过程需要配备很大的溶解器皿，占用过大的工作空间，给清洁工作造成不便，且使用较多的清洗剂，耗费物资。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种光刻胶干燥设备尾气处理装置，能够减小清洁换热片所占用的工作空间，且能节省清洗剂。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、提供一种光刻胶干燥设备尾气处理装置，包括：

4、壳体，所述壳体内具有供待换热介质流通的容置腔；

5、换热器，所述换热器设置在所述容置腔内，所述换热器包括换热管、多个第一换热组件以及多个第二换热组件，所述换热管内流动有换热介质，每个所述第一换热组件均包括第一半管和多个第一换热片，多个所述第一换热片均连接于所述第一半管的外壁，每个所述第二换热组件均包括两个第二半管和多个第二换热片，每个所述第二换热片均连接于两个所述第二半管的外壁；

6、多个所述第一换热组件沿所述换热管的延伸方向依次设置，多个所述第二换热组件沿所述换热管的延伸方向依次设置，每个所述第一半管和一个所述第二半管可拆卸拼接以包覆位于侧边的所述换热管，其余所述第二半管两两可拆卸拼接以包覆不位于侧边的所述换热管。

7、作为光刻胶干燥设备尾气处理装置的一种优选方案，所述第一换热片和/或所述第二换热片所在的平面为竖直面。

8、作为光刻胶干燥设备尾气处理装置的一种优选方案，所述第二换热片上开设有多个通孔。

9、作为光刻胶干燥设备尾气处理装置的一种优选方案，所述换热器还包括连接件，所述第一换热组件还包括第一连接板，所述第一连接板连接于所述第一半管，所述第一连接板上开设有第一连接孔，所述第二换热组件还包括两个第二连接板，两个所述第二连接板分别连接于两个所述第二半管，每个所述第二连接板上均开设有第二连接孔，部分所述连接件穿设于所述第一连接孔和所述第二连接孔内，以连接所述第一半管和所述第二半管，部分所述连接件穿设于相邻的两个所述第二连接孔内，以连接相邻的两个所述第二半管。

10、作为光刻胶干燥设备尾气处理装置的一种优选方案，所述换热管设置有多条，每条所述换热管均为s型管，每条所述换热管均沿水平方向延伸，多条所述换热管沿竖直方向平行间隔设置。

11、作为光刻胶干燥设备尾气处理装置的一种优选方案，所述换热器还包括进液分流盒和出液分流盒，多条所述换热管的入液口均连通于所述进液分流盒，多条所述换热管的出液口均连通于所述出液分流盒。

12、作为光刻胶干燥设备尾气处理装置的一种优选方案，所述壳体包括主壳件和门板，所述主壳件的侧部开设有进出口，所述门板可拆卸连接于所述主壳件，所述门板封堵所述进出口。

13、作为光刻胶干燥设备尾气处理装置的一种优选方案，所述壳体内还具有储液腔，所述储液腔连通于所述容置腔，且位于所述容置腔的下方。

14、作为光刻胶干燥设备尾气处理装置的一种优选方案，还包括控制阀和出液管，所述出液管的一端连通于所述储液腔，所述控制阀设置在所述出液管上。

15、作为光刻胶干燥设备尾气处理装置的一种优选方案，还包括液位传感器和报警系统，所述液位传感器用于测量所述储液腔内的液位，所述液位传感器与所述报警系统通讯连接，所述报警系统能够接收所述液位传感器的测量结果，并在所述测量结果超出预设正常范围时报警。

16、本实用新型相比于现有技术的有益效果：

17、本实用新型的光刻胶干燥设备尾气处理装置，通过设置第一换热组件和第二换热组件，二者拼接包覆于换热管上，在实现换热管通过第一半管与第一换热片接触换热，通过第二半管与第二换热片接触换热，保证对待换热介质的换热性能的同时，第一换热组件和第二换热组件能够从换热管上拆卸下来，以小模块为单位进行清洁，不仅能够减小清洁换热片所占用的工作空间，且能节省清洗剂。

技术特征：

1.一种光刻胶干燥设备尾气处理装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光刻胶干燥设备尾气处理装置，其特征在于，所述第一换热片和/或所述第二换热片所在的平面为竖直面。

3.根据权利要求1所述的光刻胶干燥设备尾气处理装置，其特征在于，所述第二换热片上开设有多个通孔。

4.根据权利要求1所述的光刻胶干燥设备尾气处理装置，其特征在于，所述换热器还包括连接件，所述第一换热组件还包括第一连接板，所述第一连接板连接于所述第一半管，所述第一连接板上开设有第一连接孔，所述第二换热组件还包括两个第二连接板，两个所述第二连接板分别连接于两个所述第二半管，每个所述第二连接板上均开设有第二连接孔，部分所述连接件穿设于所述第一连接孔和所述第二连接孔内，以连接所述第一半管和所述第二半管，部分所述连接件穿设于相邻的两个所述第二连接孔内，以连接相邻的两个所述第二半管。

5.根据权利要求1-4任一项所述的光刻胶干燥设备尾气处理装置，其特征在于，所述换热管设置有多条，每条所述换热管均为s型管，每条所述换热管均沿水平方向延伸，多条所述换热管沿竖直方向平行间隔设置。

6.根据权利要求5所述的光刻胶干燥设备尾气处理装置，其特征在于，所述换热器还包括进液分流盒和出液分流盒，多条所述换热管的入液口均连通于所述进液分流盒，多条所述换热管的出液口均连通于所述出液分流盒。

7.根据权利要求1-4任一项所述的光刻胶干燥设备尾气处理装置，其特征在于，所述壳体包括主壳件和门板，所述主壳件的侧部开设有进出口，所述门板可拆卸连接于所述主壳件，所述门板封堵所述进出口。

8.根据权利要求1-4任一项所述的光刻胶干燥设备尾气处理装置，其特征在于，所述壳体内还具有储液腔，所述储液腔连通于所述容置腔，且位于所述容置腔的下方。

9.根据权利要求8所述的光刻胶干燥设备尾气处理装置，其特征在于，还包括控制阀和出液管，所述出液管的一端连通于所述储液腔，所述控制阀设置在所述出液管上。

10.根据权利要求8所述的光刻胶干燥设备尾气处理装置，其特征在于，还包括液位传感器和报警系统，所述液位传感器用于测量所述储液腔内的液位，所述液位传感器与所述报警系统通讯连接，所述报警系统能够接收所述液位传感器的测量结果，并在所述测量结果超出预设正常范围时报警。

技术总结本技术公开一种光刻胶干燥设备尾气处理装置，包括壳体和换热器。壳体内具有供待换热介质流经的容置腔，换热器设置在容置腔内，包括换热管、多个第一换热组件以及多个第二换热组件，换热管内流动有换热介质，每个第一换热组件均包括第一半管和连接于第一半管的外壁的多个第一换热片，每个第二换热组件均包括两个第二半管和均连接于两个第二半管的外壁的多个第二换热片。多个第一换热组件沿换热管的延伸方向依次设置，多个第二换热组件沿换热管的延伸方向依次设置，每个第一半管和一个第二半管可拆卸拼接以包覆位于侧边的换热管，其余第二半管两两可拆卸拼接以包覆不位于侧边的换热管。该光刻胶干燥设备尾气处理装置能够减小清洁所需空间。技术研发人员：张垚受保护的技术使用者：乐金显示光电科技（中国）有限公司技术研发日：20231129技术公布日：2024/7/9