光刻胶供应装置的制作方法

本申请涉及半导体制造设备，尤其涉及一种光刻胶供应装置。

背景技术：

1、在半导体制造过程中，光刻技术为半导体器件的微缩提供了核心支持。光刻胶是一种光敏材料，通过特定波长的光照射光刻胶，并经过显影处理可以形成微小图案。为形成更精细的图案，光刻胶需要均匀涂抹于硅晶片表面。

2、精密的光刻胶供应系统可以确保光刻胶均匀地涂抹到硅晶片表面。光刻胶供应系统的设计不仅需要考虑光刻胶的储存，还需要考虑如何从储存容器中稳定地将光刻胶传输至管路。由于光刻胶是一种高粘度的液体，在业界常用氮气加压技术传输光刻胶。氮气加压的目的在于：一方面，氮气加压产生的压力可以推动光刻胶从储存容器流向应用设备；另一方面，由于氮气稳定的化学性质，可以用氮气取代容器内的空气，防止光刻胶和氧气接触，从而维持光刻胶的化学稳定性。

3、然而，在实际应用中，光刻胶供应系统的管路设计和操作面临诸多挑战。现有供应管路一般安装在储存罐侧壁上，同时在涂胶显影机的操作中，常需要手动更换光刻胶。涂胶显影机通常采用抽屉式设计以方便更换光刻胶。但频繁地推拉抽屉会导致储存罐侧壁上的供应管路弯折损伤，不仅会泄露光刻胶，还会导致氮气外泄，降低整个供应装置的稳定性和工作效率。

4、因此，开发一种稳定耐用并且可以防止供应管路弯折的光刻胶供应装置已成为业界亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、本申请所要解决的技术问题是提供一种光刻胶供应装置，其借助支撑件增强了管路弯折段的结构强度，减少了管路在使用过程中出现的损伤风险，提高了光刻胶的稳定储存和传输。

2、为了解决上述问题，本申请提供了一种光刻胶供应装置，所述光刻胶供应装置包括：第一储存罐，所述第一储存罐用以储存光刻胶；第二储存罐，所述第二储存罐与所述第一储存罐相连；第一管道，所述第一管道的一端与气体源相连，所述第一管道的另一端与所述第一储存罐相连接，用以输送气体；第二管道，所述第二管道一端与所述第一储存罐相连，所述第二管道的另一端与所述第二储存罐相连，所述第二管道具有弯折段；支撑件，所述支撑件包裹在所述第二管道的弯折段的外侧，用以增强所述弯折段的结构强度。

3、在一些具体实施方式中，所述第一管道安装在所述第一储存罐的上端部。

4、在一些具体实施方式中，所述光刻胶供应装置还包括一抽屉，所述第一储存罐和所述第二储存罐并排放置在所述抽屉内。

5、在一些具体实施方式中，所述第二管道包括第一连接管段、第二连接管段和第三连接管段，所述第一连接管段与所述第一储存罐相连，所述第二连接管段与所述第二储存罐相连，所述第三连接管段连接所述第一连接管段和所述第二连接管段，所述支撑件包裹于所述第三连接管段与所述第一连接管段以及所述第二连接管段的连接处；所述第二管道用于将光刻胶从所述第一储存罐，依次通过所述第一连接管段、所述第三连接管段以及所述第二连接管段，传输至所述第二储存罐。

6、在一些具体实施方式中，所述第一储存罐包括顶盖、罐体和卡箍；所述顶盖设置在所述罐体的上端部，并用所述卡箍可拆卸连接至所述罐体。

7、在一些具体实施方式中，所述第二管道的第一连接管段从所述第一储存罐的所述顶盖伸入至所述第一储存罐的底部，所述第二管道的所述第二连接管段伸入至所述第二储存罐的底部。

8、在一些具体实施方式中，所述第一管道和所述第二管道的材质为全氟烷基乙烯醚。

9、在一些具体实施方式中，所述第二管道与所述第一储存罐的连接处设有螺母，所述螺母用于调节所述第二管道在所述第一储存罐内的伸入长度。

10、在一些具体实施方式中，所述支撑件的材质为特氟龙。

11、在一些具体实施方式中，所述第一管道安装有带压力表调节阀。

12、上述技术方案通过所述第一管道将气体从所述气体源输送到所述第一储存罐，气体在所述第一储存罐中产生正压，从而将光刻胶通过所述第二管道从所述第一储存罐输送到所述第二储存罐；通过在所述第二管道的弯折段外侧设置支撑件，给所述弯折段提供额外的机械支持，分散所述第二管道在弯折段受到的应力，以减少应力集中造成管道疲劳损伤，提高设备的稳定性和使用寿命。

13、更进一步的，通过将所述第一管道安装在所述第一储存罐的端部，避免了在所述第一储存罐内手动注入光刻胶时，所述第二储存罐碰撞所述第一管道造成所述第一管道弯折破损。

14、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。

技术特征：

1.一种光刻胶供应装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第一管道安装在所述第一储存罐的上端部。

3.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述光刻胶供应装置还包括一抽屉，所述第一储存罐和所述第二储存罐并排放置在所述抽屉内。

4.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第二管道包括第一连接管段、第二连接管段和第三连接管段，所述第一连接管段与所述第一储存罐相连，所述第二连接管段与所述第二储存罐相连，所述第三连接管段连接所述第一连接管段和所述第二连接管段，所述支撑件包裹于所述第三连接管段与所述第一连接管段以及所述第二连接管段的连接处；

5.根据权利要求4所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第一储存罐包括顶盖、罐体和卡箍；

6.根据权利要求5所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第二管道的第一连接管段从所述第一储存罐的所述顶盖伸入至所述第一储存罐的底部，所述第二管道的所述第二连接管段伸入至所述第二储存罐的底部。

7.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第一管道和所述第二管道的材质为全氟烷基乙烯醚。

8.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第二管道与所述第一储存罐的连接处设有螺母，所述螺母用于调节所述第二管道在所述第一储存罐内的伸入长度。

9.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述支撑件的材质为特氟龙。

10.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第一管道安装有带压力表调节阀。

技术总结本申请提供了一种光刻胶供应装置，所述光刻胶供应装置包括：第一储存罐，所述第一储存罐用以储存光刻胶；第二储存罐，所述第二储存罐与所述第一储存罐相连；第一管道，所述第一管道的一端与气体源相连，所述第一管道的另一端与所述第一储存罐相连接，用以输送气体；第二管道，所述第二管道一端与所述第一储存罐相连，所述第二管道的另一端与所述第二储存罐相连，所述第二管道具有弯折段；支撑件，所述支撑件包裹在所述第二管道的弯折段的外侧，用以增强所述弯折段的结构强度。其借助支撑件增强了管路弯折段的结构强度，减少了管路在使用过程中出现的损伤风险，提高了光刻胶的稳定储存和传输。技术研发人员：崔理选受保护的技术使用者：上海积塔半导体有限公司技术研发日：20231013技术公布日：2024/5/10