分选装置的制作方法

本技术涉及分选，具体涉及一种分选装置。

背景技术：

1、硅片生产过程中会对硅片是否具有缺陷以及具有何种缺陷进行检测，并根据检测结果将硅片进行分选。相关技术中，在传送装置上设置分选装置，通过分选装置对传送的硅片进行分选，但是，在分选装置分选转移前一硅片的时候，后一硅片不能从分选装置下方经过，因此硅片之间需要具有较长的间距，影响分选和传送效率。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种分选装置，该分选装置通过捕获吸附件吸附获取待分选件，捕获吸附件能够受控启闭，以在关闭时使下一分选件通过而不被吸附，从而能够缩小相邻待分选件之间的间隔，提升分选和传送效率。

2、本实用新型实施例的分选装置包括：

3、分选传送带，所述分选传送带可沿第一方向和/或第二方向传送移动，所述第二方向为所述第一方向的反向；

4、捕获吸附件，所述捕获吸附件可受控启闭，并在开启时产生第一吸附力，以将待分选件吸附转移至分选传送带上；

5、传输吸附组件，所述传输吸附组件沿所述分选传送带的传送方向延伸，且所述捕获吸附件位于所述传输吸附组件在延伸方向的中部或一侧，所述传输吸附组件用于产生第二吸附力，以使所述待分选件保持在分选传送带上。

6、本实用新型实施例的分选装置设有可受控启闭的捕获吸附件，通过开启捕获吸附件将待分选件转移至分选传送带上，在分选传送带传送待分选件的过程中，通过传输吸附组件保持待分选件与分选传送带的接触，并关闭捕获吸附件，使下一分选件能够通过而不被吸附，从而能够缩小相邻待分选件之间的间隔，提升分选和传送效率。

7、在一些实施例中，所述第二吸附力小于所述第一吸附力；和/或

8、所述传输吸附组件包括至少两个传输吸附模组，所述至少两个传输吸附模组包括：

9、第一传输吸附模组，所述第一传输吸附模组设在所述捕获吸附件在所述第一方向的一侧，所述第一传输吸附模组可受控地产生第二吸附力；

10、第二传输吸附模组，所述第二传输吸附模组设在所述捕获吸附件在所述第二方向的另一侧，所述第二传输吸附模组可受控地产生第二吸附力。

11、在一些实施例中，所述至少两个传输吸附模组还包括第三传输吸附模组，所述第三传输吸附模组设在所述第一传输吸附模组和第二传输吸附模组之间，所述第三传输吸附模组可受控地产生第二吸附力。

12、在一些实施例中，每个所述传输吸附模组均包括第一传输吸附件和第二传输吸附件，所述第一传输吸附件和所述第二传输吸附件可受控地同步产生第二吸附力，所述第一传输吸附件和所述第二传输吸附件在第三方向上间隔排布，所述第三方向正交于所述第一方向，所述第三传输吸附模组的所述第一传输吸附件和所述第二传输吸附件之间设有所述捕获吸附件。

13、在一些实施例中，所述第一传输吸附件和所述第二传输吸附件分别设有沿第一方向间隔排布的多个吸附孔；

14、所述分选传送带包括第一带体和第二带体，所述第一带体和所述第二带体在第三方向上间隔排布并可同步传送移动，所述第一带体和所述第二带体均设有沿第一方向间隔排布的多个气体通孔，所述第一带体的部分位于所述第一传输吸附件设有所述吸附孔的一侧，且所述第一带体的多个所述气体通孔可与所述第一传输吸附件的多个所述吸附孔连通，所述第二带体的部分位于所述第二传输吸附件设有所述吸附孔的一侧，且所述第二带体的多个所述气体通孔可与所述第二传输吸附件的多个所述吸附孔连通；

15、所述捕获吸附件为伯努利吸盘。

16、在一些实施例中，所述分选装置还包括：

17、供气件，所述供气件通过管路分别连接所述第一传输吸附模组和所述第二传输吸附模组，以分别向所述第一传输吸附模组和所述第二传输吸附模组提供气体，使所述待分选件与所述分选传送带分离；

18、第一控制阀，所述第一控制阀设在所述供气件和所述第一传输吸附模组之间，以控制所述供气件和所述第一传输吸附模组的通断；

19、第二控制阀，所述第二控制阀设在所述供气件和所述第二传输吸附模组之间，以控制所述供气件和所述第二传输吸附模组的通断。

20、在一些实施例中，所述分选装置还包括：

21、真空发生器，每个所述传输吸附模组分别连接对应的所述真空发生器，所述真空发生器用于使对应的所述传输吸附模组产生第二吸附力；

22、第三控制阀，每个所述真空发生器分别连接对应的所述第三控制阀，所述第三控制阀用于控制对应的所述真空发生器启闭；

23、第四控制阀，所述第四控制阀与所述捕获吸附件电连接，以控制所述捕获吸附件启闭。

24、在一些实施例中，所述分选装置还包括：

25、主传送带，所述主传送带用于沿第三方向传送待分选件；

26、机架，所述机架设在所述主传送带在第四方向的一侧，所述第四方向正交于所述第一方向和所述第三方向，所述机架设有所述分选传送带、所述捕获吸附件和所述传输吸附组件，所述捕获吸附件用于将所述主传送带上的所述待分选件吸附转移至分选传送带上；

27、间距调节件，所述间距调节件与所述机架相连，以用于调节所述机架和所述主传送带之间的间距。

28、在一些实施例中，所述分选装置还包括：

29、分选驱动件，所述分选驱动件设在所述机架上，所述分选驱动件与所述分选传送带相连，以用于驱动所述分选传送沿所述第一方向和所述第二方向传送移动；

30、张紧轮，所述张紧轮设在所述机架上，所述张紧轮与所述分选传送带相抵，以张紧所述分选传送带。

31、在一些实施例中，所述分选装置还包括接料组件，所述主传送带在所述第一方向的一侧和在所述第二方向的另一侧分别设有所述接料组件，且所述接料组件与所述传输吸附组件在所述第四方向上间隔排布，所述接料组件包括料盒、落料风刀和移动件，所述落料风刀设在所述料盒朝向所述主传送带的一端，所述移动件与所述料盒相连，以驱动所述料盒朝向和远离所述主传送带移动。

技术特征：

1.一种分选装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的分选装置，其特征在于，所述第二吸附力小于所述第一吸附力；和/或

3.根据权利要求2所述的分选装置，其特征在于，所述至少两个传输吸附模组(31)还包括第三传输吸附模组(313)，所述第三传输吸附模组(313)设在所述第一传输吸附模组(311)和第二传输吸附模组(312)之间，所述第三传输吸附模组(313)可受控地产生第二吸附力。

4.根据权利要求3所述的分选装置，其特征在于，每个所述传输吸附模组(31)均包括第一传输吸附件和第二传输吸附件，所述第一传输吸附件和所述第二传输吸附件可受控地同步产生第二吸附力，所述第一传输吸附件和所述第二传输吸附件在第三方向上间隔排布，所述第三方向正交于所述第一方向，所述第三传输吸附模组(313)的所述第一传输吸附件和所述第二传输吸附件之间设有所述捕获吸附件(2)。

5.根据权利要求4所述的分选装置，其特征在于，所述第一传输吸附件和所述第二传输吸附件分别设有沿第一方向间隔排布的多个吸附孔；

6.根据权利要求2所述的分选装置，其特征在于，还包括：

7.根据权利要求2所述的分选装置，其特征在于，还包括：

8.根据权利要求1-7中任一项所述的分选装置，其特征在于，还包括：

9.根据权利要求8所述的分选装置，其特征在于，还包括：

10.根据权利要求8所述的分选装置，其特征在于，还包括接料组件(10)，所述主传送带(5)在所述第一方向的一侧和在所述第二方向的另一侧分别设有所述接料组件(10)，且所述接料组件(10)与所述传输吸附组件(3)在所述第四方向上间隔排布，所述接料组件(10)包括料盒(101)、落料风刀(102)和移动件(103)，所述落料风刀(102)设在所述料盒(101)朝向所述主传送带(5)的一端，所述移动件(103)与所述料盒(101)相连，以驱动所述料盒(101)朝向和远离所述主传送带(5)移动。

技术总结本技术提供一种分选装置。所述分选装置包括分选传送带、捕获吸附件和传输吸附组件，分选传送带可沿第一方向和/或第二方向传送移动，第二方向为第一方向的反向，捕获吸附件可受控启闭，并在开启时产生第一吸附力，以将待分选件吸附转移至分选传送带上，传输吸附组件沿分选传送带的传送方向延伸，且捕获吸附件位于传输吸附组件在延伸方向的中部或一侧，传输吸附组件用于产生第二吸附力，以使待分选件保持在分选传送带上。本技术的分选装置通过捕获吸附件吸附获取待分选件，捕获吸附件能够受控启闭，以在关闭时使下一分选件通过而不被吸附，从而能够缩小相邻待分选件之间的间隔，提升分选和传送效率。技术研发人员：朱亮,谢龙辉,张夫明,吴霏霏,黄张楠,罗浩,张丁宇受保护的技术使用者：浙江求是半导体设备有限公司技术研发日：20230922技术公布日：2024/6/30