硅片分选机上料出片机构和硅片分选机的制作方法

本技术涉及硅片生产设备，尤其涉及一种硅片分选机上料出片机构和硅片分选机。

背景技术：

1、当前为降低硅成本和增加发电效率，硅片的发展趋势逐渐趋向于薄片化、大尺寸化及矩形片化。硅片分选机作为硅片制造过程中对成品硅片缺陷和性能检测必不可少的装置，对整个硅片生产节拍影响较大，而硅片分选机中的上料出片机构决定整个硅片分选机的分选速度。

2、相关技术中，硅片分选机的上料出片机构上设置有硅片盛接区和硅片转移区，硅片盛接区用于接收上方的硅片，并通过硅片转移区将硅片转移至下一流程。在硅片转移区固定的设置有用于检测硅片是否被输送至下一环节的出料感应器。但是，随着硅片尺寸的不断增大，硅片在下落时可能会覆盖出料感应器，导致正在下落的硅片与刚刚经过出料感应器的硅片发生干涉。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种硅片分选机上料出片机构和硅片分选机，用以解决现有技术中出料感应器固定设置，当硅片尺寸增大时，可能会导致在下落的硅片与刚刚经过出料感应器的硅片发生干涉的缺陷，实现出料感应器位置可调，以适应硅片尺寸的效果。

2、本实用新型提供一种硅片分选机上料出片机构，包括：

3、运输机构，所述运输机构的一端位于下料机构的下方，所述运输机构用于盛接并沿第一方向转移所述下料机构底部的硅片；

4、下料感应器，所述下料感应器设置在所述运输机构上，且所述下料感应器位于所述下料机构的下方；

5、出料感应器，所述出料感应器可移动的设置在所述运输机构上，所述出料感应器的移动方向沿所述第一方向，且位于所述下料感应器沿所述第一方向的下游一侧。

6、根据本实用新型提供的硅片分选机上料出片机构，所述下料感应器可移动的设置在所述运输机构上，所述下料感应器的移动方向沿第二方向，所述第二方向垂直于所述第一方向，且所述第二方向垂直于所述下料机构的运动方向。

7、根据本实用新型提供的硅片分选机上料出片机构，所述运输机构包括一对输送线，所述输送线沿所述第一方向延伸，且一对所述输送线沿所述第二方向分布。

8、根据本实用新型提供的硅片分选机上料出片机构，所述输送线包括架体，其中一个所述输送线的架体上设置有第一滑轨，所述第一滑轨沿所述第一方向延伸，所述出料感应器与所述第一滑轨滑动连接。

9、根据本实用新型提供的硅片分选机上料出片机构，所述出料感应器通过第一滑块与所述第一滑轨滑动连接，所述第一滑块与所述第一滑轨之间还设置有第一锁止机构。

10、根据本实用新型提供的硅片分选机上料出片机构，一对所述输送线的所述架体之间还设置有第二滑轨，所述第二滑轨沿所述第二方向延伸，所述下料感应器与所述第二滑轨滑动连接。

11、根据本实用新型提供的硅片分选机上料出片机构，所述下料感应器通过第二滑块与所述第二滑轨滑动连接，所述第二滑块与所述第二滑轨之间设置有第二锁止机构。

12、根据本实用新型提供的硅片分选机上料出片机构，一对所述输送线的所述架体上均设置有所述第一滑轨，所述第二滑轨的两端分别与两个所述第一滑轨滑动连接。

13、根据本实用新型提供的硅片分选机上料出片机构，所述输送线为皮带输送线。

14、本实用新型还提供一种硅片分选机，包括如上任一项所述的硅片分选机上料出片机构。

15、本实用新型提供的硅片分选机上料出片机构，包括运输机构、下料感应器和出料感应器。运输机构的一端位于下料机构的下方，用于盛接下料机构底部的硅片，并沿第一方向将硅片转移至下一工序。下料感应器设置在运输机构上，且下料感应器位于下料机构的下方，用于感应上方是否有硅片或硅片的碎片。出料感应器可移动的设置在运输机构上，出料感应器的移动方向沿第一方向，且位于下料感应器沿第一方向的下游一侧。当分选机正常运转时，在下料感应器和出料感应器相互配合下，运输机构将硅片从下料机构中带出并使之沿第一方向运动至下一工序。当装有硅片的下料机构在下降过程中，下料感应器感应到上方有硅片时，下料机构停止下降，以防止压碎运输机构上的硅片。当出料感应器感应到硅片通过出料感应器，且下料感应器感应到上方无硅片时，下料机构再重新下降，下一片硅片开始流出，如此反复，进而完成硅片的出料分选工作。本实用新型提供的硅片分选机上料出片机构中，出料感应器可相对运输机构沿第一方向调整位置，以适应不同大小的硅片使用，防止硅片在下落时覆盖出料感应器，导致正在下落的硅片与刚刚通过出料感应器的硅片发生干涉。

16、进一步地，在本实用新型提供的硅片分选机中，由于设置有如上所述的硅片分选机上料出片机构，因此具有与如上所述相同的优势。

技术特征：

1.一种硅片分选机上料出片机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的硅片分选机上料出片机构，其特征在于，所述下料感应器(200)可移动的设置在所述运输机构(100)上，所述下料感应器(200)的移动方向沿第二方向，所述第二方向垂直于所述第一方向，且所述第二方向垂直于所述下料机构的运动方向。

3.根据权利要求2所述的硅片分选机上料出片机构，其特征在于，所述运输机构(100)包括一对输送线，所述输送线沿所述第一方向延伸，且一对所述输送线沿所述第二方向分布。

4.根据权利要求3所述的硅片分选机上料出片机构，其特征在于，所述输送线包括架体，其中一个所述输送线的架体上设置有第一滑轨，所述第一滑轨沿所述第一方向延伸，所述出料感应器(300)与所述第一滑轨滑动连接。

5.根据权利要求4所述的硅片分选机上料出片机构，其特征在于，所述出料感应器(300)通过第一滑块与所述第一滑轨滑动连接，所述第一滑块与所述第一滑轨之间还设置有第一锁止机构。

6.根据权利要求4所述的硅片分选机上料出片机构，其特征在于，一对所述输送线的所述架体之间还设置有第二滑轨，所述第二滑轨沿所述第二方向延伸，所述下料感应器(200)与所述第二滑轨滑动连接。

7.根据权利要求6所述的硅片分选机上料出片机构，其特征在于，所述下料感应器(200)通过第二滑块与所述第二滑轨滑动连接，所述第二滑块与所述第二滑轨之间设置有第二锁止机构。

8.根据权利要求7所述的硅片分选机上料出片机构，其特征在于，一对所述输送线的所述架体上均设置有所述第一滑轨，所述第二滑轨的两端分别与两个所述第一滑轨滑动连接。

9.根据权利要求3所述的硅片分选机上料出片机构，其特征在于，所述输送线为皮带输送线。

10.一种硅片分选机，其特征在于，包括如权利要求1～9任一项所述的硅片分选机上料出片机构。

技术总结本技术涉及硅片生产设备领域，提供一种硅片分选机上料出片机构和硅片分选机，包括运输机构、下料感应器和出料感应器。运输机构用于盛接下料机构底部的硅片，并沿第一方向将硅片转移至下一工序。下料感应器设置在运输机构上，用于感应上方是否有硅片会硅片的碎片。出料感应器可移动的设置在运输机构上，出料感应器的移动方向沿第一方向。当出料感应器感应到硅片通过出料感应器，且下料感应器感应到上方无硅片时，下料机构下降，硅片开始流出。出料感应器可相对运输机构沿第一方向调整位置，以适应不同大小的硅片使用，防止硅片在下落时覆盖出料感应器，导致正在下落的硅片与刚刚通过出料感应器的硅片发生干涉。技术研发人员：龙佳亮,请求不公布姓名,崔三观受保护的技术使用者：三一硅能（朔州）有限公司技术研发日：20231109技术公布日：2024/6/30