金属被膜的成膜装置的制作方法

本发明涉及在基材表面以预定图案形成金属被膜的成膜装置。

背景技术：

1、以往，曾提出使金属在基材表面析出而形成金属被膜的成膜装置(例如专利文献1)。专利文献1中，成膜装置具备收纳镀液的收纳体。在收纳体形成有开口部，开口部由电解质膜密封。成膜装置还具备通过镀液的液压用电解质膜按压基材的按压机构。

2、在此，在基材表面形成有预定图案的金属制基底层的情况下，在利用电解质膜的液压按压基材的状态下，在阳极与基材之间施加电压。由此，能够在基底层上形成预定图案的金属被膜。不过，没有在基材上形成预定图案的基底层的情况下，例如也设想利用专利文献2所示的掩模材料。

3、现有技术文献

4、专利文献1：日本特开2016-125087号公报

5、专利文献2：日本特开2016-108586号公报

技术实现思路

1、在此，在使用具有丝网掩模的掩模结构体作为掩模材料成膜的情况下，掩模结构体被夹在基材与电解质膜之间。该状态下，为了确保基材与丝网掩模的密合性，用作用有镀液的液压的电解质膜来按压掩模结构体。但是，由于支持丝网掩模周缘的框体在基材侧被支持，所以电解质膜被按压到框体的开口缘上，可能会损伤电解质膜。

2、本发明是鉴于这样的问题而完成的，其目的在于提供一种金属被膜的成膜装置，即使在使用了掩模结构体的情况下，也能够抑制按压时的电解质膜损伤。

3、鉴于上述课题，本发明的金属被膜的成膜装置，是在将掩模结构体夹在电解质膜与基材之间的状态下，通过电解镀，在基材上形成预定图案的金属被膜的成膜装置。所述成膜装置具备按压机构，所述按压机构通过镀液的液压，用所述电解质膜按压所述掩模结构体。所述掩模结构体具备丝网掩模和框体，所述丝网掩模形成有与所述预定图案对应的贯通部分，所述框体在所述基材侧支持所述丝网掩模的周缘。在所述框体上，沿着与所述电解质膜接触的开口缘，形成有由比所述框体的材料软质的弹性材料构成的内侧覆盖部。

4、根据本发明，首先，将掩模结构体夹在电解质膜与基材之间，通过按压机构，利用作用有镀液的液压的电解质膜来按压掩模结构体。由于丝网掩模的周缘在基材侧被框体支持，所以能够使丝网掩模与基材的表面密合(紧密接合)。通过电解质膜的按压，在丝网掩模的贯通部分填充渗出液(镀液)，渗出液是从因镀液而膨润了的电解质膜渗出的。由于贯通部分是与预定图案对应的形状，所以能够通过电解镀在基材表面形成预定图案的金属被膜。

5、在此，由于支持丝网掩模周缘的框体在基材侧被支持，所以通过镀液的液压，电解质膜被向框体的开口缘按压。即使在这种情况下，由于沿着框体的开口缘形成有由比框体的材质软质的弹性材料构成的内侧覆盖部，所以内侧覆盖部弹性变形，能够避免电解质膜损伤。再者，由于框体与内侧覆盖部相比是硬质的，所以即使框体被电解质膜按压，框体的形状也不易变形，能够保持丝网掩模对于基材的密合性。

6、例如，也可以沿着与所述电解质膜相对的所述框体的外周缘，进一步形成由所述软质的弹性材料构成的外侧覆盖部。

7、成膜时，由于镀液的液压，有时电解质膜被向框体的外周缘按压。即使在这种情况下，由于沿着与电解质膜相对的框体的外周缘形成有由比框体的材料软质的弹性材料构成的外侧覆盖部，所以外侧覆盖部弹性变形，能够避免电解质膜损伤。

8、例如，形成于所述开口缘与所述外周缘之间且与所述电解质膜相对的相对面，也可以以使得所述内侧覆盖部与所述外侧覆盖部连续的方式由所述软质的弹性材料覆盖。

9、根据该例，能够通过软质的弹性材料整体来分散电解质膜向框体按压的力。由此，能够抑制应力局部地作用于电解质膜。

10、例如，成膜装置也可以具备载置所述基材的载置台。在所述载置台形成有收纳所述基材的第1凹部、以及在将所述基材收纳于所述第1凹部的状态下收纳所述掩模结构体的第2凹部。在所述载置台上，沿着所述第2凹部的开口缘形成有由所述软质的弹性材料构成的缘覆盖部。

11、成膜时，由于镀液的液压，电解质膜有时向载置台的第2凹部的开口缘被按压。即使在这种情况下，由于在载置台上沿着第2凹部的开口缘形成有缘覆盖部，所以也能够避免电解质膜损伤。

12、例如，所述丝网掩模也可以具有网眼部分和掩模部分，所述网眼部分以格状形成有开口部，所述掩模部分在所述网眼部分的靠所述基材侧固定在所述网眼部分上，并形成有所述贯通部分，所述掩模部分通过所述电解质膜的按压而弹性变形。

13、根据该例，成膜时，通过镀液的液压，用电解质膜按压掩模部分。通过该电解质膜的按压，掩模部分发生弹性变形，因此能够保持掩模部分对于基材的密合性。

14、根据本发明，即使在使用了掩模结构体的情况下，也能够抑制按压时的电解质膜损伤。

技术特征：

1.一种成膜装置，是在将掩模结构体夹在电解质膜与基材之间的状态下，通过电解镀，在基材上形成预定图案的金属被膜的成膜装置，

2.根据权利要求1所述的成膜装置，

3.根据权利要求2所述的成膜装置，

4.根据权利要求1所述的成膜装置，

5.根据权利要求1所述的成膜装置，

技术总结提供一种即使在使用了掩模结构体的情况下也能够抑制按压时的电解质膜损伤的金属被膜的成膜装置。一种成膜装置(1)，具备通过镀液(L)的液压用电解质膜(13)按压掩模结构体(60)的按压机构。掩模结构体(60)具备：形成有与预定图案对应的贯通部分(68)的丝网掩模(62)、以及在基材(B)侧支持丝网掩模(62)的周缘(62a)的框体(61)。在框体(61)上沿着与电解质膜(13)接触的开口缘(61a)，形成有由比框体(61)的材料软质的弹性材料构成的内侧覆盖部(66A)。技术研发人员：近藤春树,黑田圭儿,稻垣功二受保护的技术使用者：丰田自动车株式会社技术研发日：技术公布日：2024/4/24