金属被膜的成膜装置的制作方法

本发明涉及在基材表面以预定图案形成金属被膜的成膜装置。

背景技术：

1、以往，曾提出使金属在基材表面析出而形成金属被膜的成膜装置(例如专利文献1)。专利文献1中，成膜装置具备收纳镀液的收纳体。在收纳体形成有开口部，开口部由电解质膜密封。成膜装置还具备通过镀液的液压用电解质膜按压基材的按压机构。

2、在此，在基材表面形成有预定图案的金属制基底层的情况下，在利用电解质膜的液压按压基材的状态下，在阳极与基材之间施加电压。由此，能够在基底层上形成预定图案的金属被膜。不过，没有在基材上形成预定图案的基底层的情况下，例如也设想利用专利文献2所示的掩模材料。

3、现有技术文献

4、专利文献1：日本特开2016-125087号公报

5、专利文献2：日本特开2016-108586号公报

技术实现思路

1、在此，在使用具有丝网掩模的掩模结构体作为掩模材料成膜的情况下，掩模结构体被夹在基材与电解质膜之间。该状态下，为了确保基材与丝网掩模的密合性，用作用有镀液的液压的电解质膜来按压掩模结构体。但是，在丝网掩模没有与基材充分密合的情况下，无法形成所希望的图案的金属被膜。

2、具体而言，丝网掩模形成有与预定图案对应的贯通部分。成膜时，在该贯通部分填充从电解质膜渗出的镀液(渗出液)，通过电解质膜的按压对渗出液加压。由此，渗出液进入到丝网掩模与基材之间，恐怕无法形成所希望的图案的金属被膜。

3、本发明是鉴于这样的问题而完成的，提供一种成膜时能够抑制渗出液进入到丝网掩模与基材之间的金属被膜的成膜装置。

4、鉴于上述课题，本发明的金属被膜的成膜装置，是在将掩模结构体夹在电解质膜与基材之间的状态下，通过电解镀，在基材上形成预定图案的金属被膜的成膜装置。所述成膜装置具备按压机构，所述按压机构通过镀液的液压，用所述电解质膜按压所述掩模结构体。所述掩模结构体具备形成有所述预定图案的贯通部分的丝网掩模。所述丝网掩模具备网眼部分和掩模部分，所述网眼部分以格状形成有开口部，所述掩模部分在所述基材侧固定在所述网眼部分上，并形成有所述贯通部分。所述掩模部分具有芯部分和密封部分，所述芯部分保持所述掩模部分的形状，所述密封部分由比所述芯部分软质的弹性材料构成，并与所述基材接触。

5、根据本发明，首先，将掩模结构体夹在电解质膜与基材之间，通过按压机构，用作用有镀液的液压的电解质膜来按压掩模结构体。通过该按压，掩模部分的密封部分以弹性变形的状态与基材的表面接触。其结果，能够使丝网掩模与基材密合。

6、另一方面，通过电解质膜的按压，从因电镀液而膨润了的电解质膜渗出的渗出液(镀液)被填充到丝网掩模的贯通部分。通过电解质膜的按压，所填充的渗出液被加压。如上所述，掩模部分的密封部分以弹性变形的状态与基材的表面接触。而且，芯部分固定在网眼部分上，刚性比密封部分高。因此，即使存在电解质膜的按压，也能够保持贯通部分的形状。由于贯通部分是与预定图案对应的形状，所以能够在基材表面通过电解镀形成预定图案的金属被膜。

7、例如，所述密封部分也可以沿着形成所述贯通部分的侧壁面延伸存在。

8、根据该例，密封部分沿着形成贯通部分的侧壁面延伸存在，所以芯部分被密封部分覆盖。因此，成膜时，能够抑制芯部分与填充到贯通部分中的渗出液接触。其结果，能够抑制芯部分的劣化和损伤，能够维持掩模部分的刚性。

9、例如，优选所述芯部分具有：与所述基材相对的相对面、以及形成所述贯通部分的侧壁面，所述密封部分沿着由所述相对面和所述侧壁面形成的棱线形成。

10、根据该例，密封部分沿着芯部分的棱线形成，所以通过电解质膜的按压，能够提高密封部分的压缩变形性。其结果，能够形成精度更高的图案的金属被膜。

11、例如，优选所述掩模部分的硬度随着从所述密封部分向所述芯部分前进而逐渐地变大。

12、在反复使用掩模结构体的情况下，密封部分反复弹性变形。由此，密封部分和芯部分容易在它们的界面处分离。但是，根据该例，能够抑制密封部分的硬度与芯部分的硬度的硬度差局部变大。其结果，能够防止芯部分和密封部分的分离。

13、根据本发明，成膜时，能够抑制渗出液进入到丝网掩模与基材之间。

技术特征：

1.一种金属被膜的成膜装置，是在将掩模结构体夹在电解质膜与基材之间的状态下，通过电解镀，在基材上形成预定图案的金属被膜的成膜装置，

2.根据权利要求1所述的金属被膜的成膜装置，

3.根据权利要求1所述的金属被膜的成膜装置，

4.根据权利要求1所述的金属被膜的成膜装置，

技术总结提供一种在成膜时能够抑制渗出液进入到丝网掩模与基材之间的金属被膜的成膜装置。掩模结构体(60)具备形成有预定图案(P)的贯通部分(68)的丝网掩模(62)。丝网掩模(62)具备：以格状形成有开口部(64c)的网眼部分(64)、以及在基材(B)侧固定于网眼部分(64)并形成有贯通部分(68)的掩模部分(65)。掩模部分(65)具有：保持掩模部分(65)的形状的芯部分(65a)、以及由比芯部分(65a)软质的弹性材料构成且与基材(B)接触的密封部分(65b)。技术研发人员：近藤春树,黑田圭儿,稻垣功二,冈本和昭,柳本博受保护的技术使用者：丰田自动车株式会社技术研发日：技术公布日：2024/4/24