阀体的电解抛光方法与流程

本发明涉及表面处理，特别是涉及一种阀体的电解抛光方法。

背景技术：

1、在阀体的制造过程中，降低阀体管道内表面粗糙度、提高耐腐蚀性至关重要，电解抛光作为金属表面的一种重要处理方法，具有平滑内表面和提高耐腐蚀的作用，极大程度上决定了阀体的使用寿命和洁净度。

2、在超高纯阀体中，内表面的洁净度和平滑度必须符合例如semi f19标准，而此标准中明确规定超高纯产品要电解抛光，电解抛光对于阀体的性能至关重要。然而，针对不同材料的阀体，电解液与其发生的微电化学反应也不同，为了使经电解抛光后的阀体表面具有一致性，需要对阀体设计特定配方的电解液以及电解工艺。另外，传统的电解抛光一般采用浸入式，即将阀体完全浸入到电解液中；然而，采用浸入式电解抛光时，阀体外表面会因被抛光而出现色差，进而导致外表面被更快的腐蚀，且阀体有孔道内的气泡难易排出，容易造成抛光过度。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述问题，提供一种阀体的电解抛光方法，该电解抛光方法针对阀体的材质，提供了特定的电解液以及电解工艺，同时，电解液只流经需要电解抛光的部位，极大的提高了电解抛光的效果。

2、本发明公开了一种阀体的电解抛光方法，包括以下步骤：

3、将阀体安装于电解抛光设备上，然后使电解液从所述阀体的任一阀孔内流入，从其余的阀孔流出，其中，所述阀体的材料为316不锈钢，所述电解液的温度为55℃-60℃，所述电解液包括磷酸、硫酸、缓蚀剂、增稠剂以及增亮剂，所述硫酸与磷酸的体积比为3.1:1.9-2.9:2.1，所述硫酸在所述电解液中的质量分数为35％-55％，所述缓蚀剂的质量分数小于或等于15％，所述增稠剂的质量分数小于或等于15％，所述增亮剂的质量分数小于或等于20％；

4、将所述阀体与电源正极相连，将阴极接头置于所述阀体的阀孔内与所述电解液相接触并进行电解抛光，其中，进行电解抛光的步骤中，采用稳压模式，电压为10伏-12伏，电流为18安-22安，电解总时长在80s以内。

5、在一实施方式中，所述缓蚀剂的质量分数为2％-8％，所述增稠剂的质量分数为2％-8％，所述增亮剂的质量分数为2％-10％。

6、在一实施方式中，所述电解液的溶液比重为1.60-1.71。

7、在一实施方式中，当所述阀体为三通t型阀体时，所述阴极接头的个数为三个，其中二个沿滑轨进入所述t型阀体的侧面阀孔，另一个固定于所述电解抛光设备上，且至少部分进入所述阀体的端面阀孔。

8、在一实施方式中，当所述阀体为t型阀体时，进行电解抛光的步骤包括：进行电解抛光，经过第一预设时长后将所述阴极接头从所述t型阀体的侧面阀孔中移出，经过第二预设时长后将所述阴极接头从所述t型阀体的端面阀孔中移出，完成电解抛光。

9、在一实施方式中，当所述端面阀孔的直径为20mm-25mm，所述侧面阀孔的直径为4mm-5mm时，所述第一预设时长为20s-30s，所述第二预设时长为30s-40s。

10、在一实施方式中，所述缓蚀剂包括黑腐酸、醋酸或柠檬酸中的至少一种。

11、在一实施方式中，所述增稠剂包括纤维素类增稠剂或甲醇中的至少一种。

12、在一实施方式中，所述增亮剂包括聚硅氧烷。

13、在一实施方式中，所述阴极接头的材料选自钛。

14、本发明提供的阀体的电解抛光方法，针对316不锈钢材质的阀体，提供了特定配方的电解液以及特定的电解工艺，从而使阀体内表面的洁净度和平滑度符合hp(high puritygrade)或uhp(ultra-high purity grade)的要求，进而能够应用于半导体行业；同时，电解液从所述阀体的任一阀孔内流入，从其余阀孔流出，由此，电解液只流经需要电解抛光的部位，避免了阀体外表面被抛光；并且，电解液在阀体内流动，不仅能够带走电解抛光时产生的剥落物质，有助于氧化膜的生成和溶解，整平阀孔内表面，还能减少气泡的聚集，从而极大的提高电解抛光的效果。

技术特征：

1.一种阀体的电解抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的电解抛光方法，其特征在于，所述缓蚀剂的质量分数为2％-8％，所述增稠剂的质量分数为2％-8％，所述增亮剂的质量分数为2％-10％。

3.根据权利要求1所述的电解抛光方法，其特征在于，所述电解液的溶液比重为1.60-1.71。

4.根据权利要求1-3任一项所述的电解抛光方法，其特征在于，当所述阀体为三通t型阀体时，所述阴极接头的个数为三个，其中二个沿滑轨进入所述t型阀体的侧面阀孔，另一个固定于所述电解抛光设备上，且至少部分进入所述阀体的端面阀孔。

5.根据权利要求1-3任一项所述的电解抛光方法，其特征在于，当所述阀体为t型阀体时，进行电解抛光的步骤包括：进行电解抛光，经过第一预设时长后将所述阴极接头从所述t型阀体的侧面阀孔中移出，经过第二预设时长后将所述阴极接头从所述t型阀体的端面阀孔中移出，完成电解抛光。

6.根据权利要求5所述的电解抛光方法，其特征在于，当所述端面阀孔的直径为20mm-25mm，所述侧面阀孔的直径为4mm-5mm时，所述第一预设时长为20s-30s，所述第二预设时长为30s-40s。

7.根据权利要求1-3任一项所述的电解抛光方法，其特征在于，所述缓蚀剂包括黑腐酸、醋酸或柠檬酸中的至少一种。

8.根据权利要求1-3任一项所述的电解抛光方法，其特征在于，所述增稠剂包括纤维素类增稠剂或甲醇中的至少一种。

9.根据权利要求1-3任一项所述的电解抛光方法，其特征在于，所述增亮剂包括聚硅氧烷。

10.根据权利要求1-3任一项所述的电解抛光方法，其特征在于，所述阴极接头的材料选自钛。

技术总结本发明涉及一种阀体的电解抛光方法，包括以下步骤：将阀体安装于电解抛光设备上，然后使电解液从阀体的任一阀孔内流入，从其余的阀孔流出，其中，阀体的材料为316不锈钢，电解液的温度为55℃‑60℃，包括磷酸、硫酸、缓蚀剂、增稠剂以及增亮剂，硫酸与磷酸的体积比为3.1:1.9‑2.9:2.1，硫酸的质量分数为35％‑55％，缓蚀剂的质量分数≤15％，增稠剂的质量分数≤15％，增亮剂的质量分数≤20％；将阀体与正极相连，将阴极接头置于阀孔内与电解液相接触，采用稳压模式进行电解抛光，其中，电压为10伏‑12伏，电流为18安‑22安，电解总时长在80s以内。该电解抛光方法针对阀体的材质，提供了特定的电解液以及工艺，电解液只流经需电解抛光的部位。技术研发人员：张俊,王巍,叶海鹏,徐叶蕾,陈杭,沈兴潮受保护的技术使用者：绍兴普莱美特真空部件有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/18