可调谐部件的制作方法

【】本发明涉及一种微机电系统(mems)部件。更具体地，本发明涉及可调谐部件中的静电驱动器隔离以减少或最小化介电充电的可调谐部件。

背景技术

0、背景技术：

1、在微机电系统(mems)设备的构造中，静电驱动器板可在打开和关闭状态之间相对于彼此移动，如果可调谐部件关闭和接触到驱动器，则驱动器板将短短路。为防止驱动器接触和短路，驱动器电极中的一个或两个可以被具有适当厚度的介电覆盖，以防止介电击穿。连续的介电提供了-适当的隔离，因此可以防止短路和击穿，但可能会在可以充电的高场区域内产生显着的接触面积，从而导致介电充电导致寿命缩短。可以通过将连续的介电图库分解为不连续或孤立的介电特征、隔离特征或隔离凸块来最小化接触面积，但即使是这些解决方案也不能完全解决充电问题。

技术实现思路

0、技术实现要素：

1、本发明的目的之一在于提供一种减少或最小化介电充电的可调谐部件。

2、本发明的技术方案如下：

3、提供一种可调谐部件，其包括：基底；定位在基底上的固定驱动器电极；悬置在基底上方的可移动部件；承载在可移动部件上的可移动驱动器电极，其中，可移动驱动器电极选择性地朝向固定驱动器电极移动；位于固定驱动器电极与可移动驱动器电极之间的一个或多个隔离凸块，所述一个或多个隔离凸块被设置为防止固定驱动器电极与可移动驱动器电极之间的接触；和一个或多个固定隔离降落件，所述固定隔离降落件被隔离在固定驱动器电极的一部分内，所述一个或多个固定隔离降落件位于一个或多个隔离凸块中的相应一个处、靠近和/或和其基本对齐，所述一个或多个固定隔离降落件被配置为抑制相应隔离凸块中的电场产生；其中，每个固定隔离降落件与固定驱动器电极两侧的固定驱动器电极之间有间隔，一个或多个隔离凸块的边缘与一个或多个固定隔离降落件的边缘之间的距离为第一距离，隔离降落件的边缘和固定驱动器电极的边缘之间的距离为第二距离，第一距离与第二距离之比大于0.5比1且小于4比1。

4、作为一种优化，至少一个或多个隔离凸块的某些可贴附至可移动部件。

5、作为一种优化，所述一个或多个隔离凸块中的每个都贴附至对应的隔离降落件。

6、作为一种优化，所述固定隔离降落件是电绝缘的。

7、作为一种优化，固定隔离降落件与地电位相连。

8、作为一种优化，固定隔离降落件到与连接到固定驱动器电极的电位基本相似的电位。

9、作为一种优化，固定隔离降落件连接至与连接到固定驱动器电极的电位基本相似的电位。

10、作为一种优化，进一步包括至少一个固定介电材料层，所述固定介电材料层设置在固定驱动器电极的面向可移动驱动器电极的表面上；还包括可移动介电材料层，所述可移动介电材料层设置在可移动驱动器电极的面向固定驱动器电极的表面上。

11、作为一种优化，可移动驱动器电极被设置为以包括在一个或多个隔离凸块中的每一个的位置处、附近和/或和其基本对准的孔的图形。

12、作为一种优化，包括可移动隔离填料，所述可移动隔离填料被隔离在可移动驱动器电极的一部分内，也就是在一个或多个隔离凸块中的每一个位置处、附近和/或和其基本对齐的部分内。

13、本发明从另一角度提供一种可调谐部件，其包括：基底；定位在基底上的固定驱动器电极；悬置在基底上方的可移动部件；承载在可移动部件上的可移动驱动器电极，其中，可移动驱动器电极选择性地朝向固定驱动器电极移动；位于固定驱动器电极与可移动驱动器电极之间的一个或多个隔离凸块，一个或多个隔离凸块被设置为防止固定驱动器电极与可移动驱动器电极之间的接触；和一个或多个固定隔离降落件，固定隔离降落件被隔离在固定驱动器电极的一部分内，所述一个或多个固定隔离降落件位于一个或多个隔离凸块中的相应一个处、靠近和/或和其基本对齐，所述一个或多个固定隔离降落件被配置为抑制相应隔离凸块中的电场产生；每个隔离降落件的每个边缘都延伸超过一个或多个隔离凸块中的相应一个的相应边缘，延伸量为相应一个隔离凸块的高度的1倍至6.5倍，并且包括大约1倍和6.5倍，其中，相应的一个隔离凸块的高度通过相应的一个隔离凸块在固定驱动器电极和可移动驱动器电极之间延伸量来测量。

14、作为一种优化，至少所述一个隔离凸块或多个隔离凸块的某些贴附到可移动部件。

15、作为一种优化，所述一个或多个隔离凸块中的每一个都贴附到相应的固定隔离降落件。

16、作为一种优化，固定隔离降落件上电隔离的。

17、作为一种优化，固定隔离降落件连接到地电位。

18、作为一种优化，固定隔离降落件连接到一个电位，所述电位基本上同连接到固定驱动器电极的电位相似。

19、作为一种优化，固定隔离降落件连接到一个电位，所述电位不同于连接到固定驱动器电极的电位。

20、作为一种优化，进一步包括至少一个固定介电材料层，所述固定介电材料层设置在固定驱动器电极的面向可移动驱动器电极的表面上，还包括一个可移动介电材料层，所述可移动介电材料层设置在可移动驱动器电极的面向固定驱动器电极的表面上。

21、作为一种优化，可移动驱动器电极被设置为图形以包括孔，所述孔在一个或多个隔离凸块中的每一个位置处、附近处和/或与其基本对准的位置。

22、作为一种优化，包括在可移动驱动器电极的一部分内被隔离的可移动隔离填料，所述可移动驱动器电极在一个或多个隔离凸块中的每一个位置处、附近处和/或和其基本对准的位置。

技术特征：

1.一种可调谐部件，其包括：

2.根据权利要求1所述的可调谐部件，其特征在于，至少一个或多个隔离凸块的某些可贴附至可移动部件。

3.根据权利要求1所述的可调谐部件，其特征在于，所述一个或多个隔离凸块中的每个都贴附至对应的隔离降落件。

4.根据权利要求1所述的可调谐部件，其特征在于，所述固定隔离降落件是电绝缘的。

5.根据权利要求1所述的可调谐部件，其特征在于，固定隔离降落件与地电位相连。

6.根据权利要求1所述的可调谐部件，其特征在于，固定隔离降落件到与连接到固定驱动器电极的电位基本相似的电位。

7.根据权利要求1所述的可调谐部件，其特征在于，固定隔离降落件连接至与连接到固定驱动器电极的电位基本相似的电位。

8.根据权利要求1所述的可调谐部件，其特征在于，进一步包括至少一个固定介电材料层，所述固定介电材料层设置在固定驱动器电极的面向可移动驱动器电极的表面上；还包括可移动介电材料层，所述可移动介电材料层设置在可移动驱动器电极的面向固定驱动器电极的表面上。

9.根据权利要求1所述的可调谐部件，其特征在于，可移动驱动器电极被设置为以包括在一个或多个隔离凸块中的每一个的位置处、附近和/或和其基本对准的孔的图形。

10.根据权利要求1所述的可调谐部件，其特征在于，包括可移动隔离填料，所述可移动隔离填料被隔离在可移动驱动器电极的一部分内，也就是在一个或多个隔离凸块中的每一个位置处、附近和/或和其基本对齐的部分内。

11.一种可调谐部件，其包括：

12.根据权利要求11所述的可调谐部件，其特征在于，至少所述一个隔离凸块或多个隔离凸块的某些贴附到可移动部件。

13.根据权利要求11所述的可调谐部件，其特征在于，所述一个或多个隔离凸块中的每一个都贴附到相应的固定隔离降落件。

14.根据权利要求11所述的可调谐部件，其特征在于，固定隔离降落件上电隔离的。

15.根据权利要求11所述的可调谐部件，其特征在于，固定隔离降落件连接到地电位。

16.根据权利要求11所述的可调谐部件，其特征在于，固定隔离降落件连接到一个电位，所述电位基本上同连接到固定驱动器电极的电位相似。

17.根据权利要求11所述的可调谐部件，其特征在于，固定隔离降落件连接到一个电位，所述电位不同于连接到固定驱动器电极的电位。

18.根据权利要求11所述的可调谐部件，其特征在于，进一步包括至少一个固定介电材料层，所述固定介电材料层设置在固定驱动器电极的面向可移动驱动器电极的表面上，还包括一个可移动介电材料层，所述可移动介电材料层设置在可移动驱动器电极的面向固定驱动器电极的表面上。

19.根据权利要求11所述的可调谐部件，其特征在于，可移动驱动器电极被设置为图形以包括孔，所述孔在一个或多个隔离凸块中的每一个位置处、附近处和/或与其基本对准的位置。

20.根据权利要求11所述的可调谐部件，其特征在于，包括在可移动驱动器电极的一部分内被隔离的可移动隔离填料，所述可移动驱动器电极在一个或多个隔离凸块中的每一个位置处、附近处和/或和其基本对准的位置。

技术总结本发明提供了一种可调谐部件，包括：固定驱动器电极和可移动驱动器电极，其中，可移动驱动器电极选择性地朝向固定驱动器电极移动。位于固定驱动器电极与可移动驱动器电极之间设有多个隔离凸块，被设置为防止固定驱动器电极与可移动驱动器电极之间的接触。多个固定隔离降落件，被隔离在固定驱动器电极的一部分内。其中，每个固定隔离降落件与固定驱动器电极两侧的固定驱动器电极之间有间隔，其中第一距离与第二距离之比大于0.5且小于4，第一距离是一个或多个隔离凸块的边缘与一个或多个固定隔离降落件的边缘之间的距离，第二距离是隔离降落件的边缘和固定驱动器电极的边缘之间的距离。本发明可以减少或最小化部件的介电充电。技术研发人员：丹娜·理查德·德里厄斯,亚瑟·谢尔曼·莫里斯三世,大卫·莫林诺·吉尔斯受保护的技术使用者：瑞声声学科技（深圳）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/1/12