一种MEMS结构的制作方法

本申请涉及mems(micro-electro-mechanical system，微机电系统)，具体来说，涉及一种mems结构。

背景技术：

1、压电式mems传感器相较于电容式mems传感器具有低功耗、防尘、防水等优点。当吸烟时压电式mems传感器的振膜变形产生电压，检测电路根据该电压来控制是否启动电子烟内的加热丝。当压电式mems传感器的振膜以一个中心轴面往复振动时将输出正反方向电压。因此，需要防止反方向电压误启动电子烟内的加热丝。

技术实现思路

1、针对相关技术中的问题，本申请提出了一种mems结构，能够输出单向电压。

2、本申请的技术方案是这样实现的：

3、根据本申请的一个方面，提供了一种mems结构，包括：

4、衬底；

5、牺牲层，形成在所述衬底上方并且具有第一空腔；

6、振动支撑层，形成在所述牺牲层上方并且具有向所述第一空腔方向延伸的凸起，所述凸起位于所述第一空腔内；

7、压电功能层，形成在所述振动支撑层上方。

8、其中，所述凸起的高度小于所述第一空腔的深度，以限制所述振动支撑层向所述第一空腔方向的振动幅度。

9、其中，所述压电功能层的区域面积小于所述振动支撑层的区域面积，并且第一通孔仅穿透所述振动支撑层使得所述第一通孔与所述第一空腔连通。

10、其中，所述mems结构还包括限位层，所述限位层形成在所述牺牲层和所述衬底之间，并且第二通孔穿透所述限位层，并且所述第二通孔与所述第一空腔连通。

11、其中，所述衬底具有第二空腔，所述第二空腔经所述第二通孔与所述第一空腔连通。

12、其中，所述压电功能层悬置在所述第一空腔和所述第二空腔上方。

13、其中，所述压电功能层包括形成在所述振动支撑层上方的第一电极层、形成在所述第一电极层上方的压电层和形成在所述压电层上方的第二电极层。

14、其中，所述牺牲层的材料包括氧化硅、磷硅玻璃、硼硅玻璃。

15、综上，本申请所提供的mems结构中，通过在振动支撑层上设置位于第一空腔内的凸起，并且将衬底或者限位层来阻挡限制凸起的振动，从而实现了振动支撑层单向振动，mems结构输出单向电压，防止电子烟的mems开关误启动电热丝。

技术特征：

1.一种mems结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的mems结构，其特征在于，所述凸起的高度小于所述第一空腔的深度，以限制所述振动支撑层向所述第一空腔方向的振动幅度。

3.根据权利要求2所述的mems结构，其特征在于，所述压电功能层的区域面积小于所述振动支撑层的区域面积，并且第一通孔仅穿透所述振动支撑层使得所述第一通孔与所述第一空腔连通。

4.根据权利要求2所述的mems结构，其特征在于，所述mems结构还包括限位层，所述限位层形成在所述牺牲层和所述衬底之间，并且第二通孔穿透所述限位层，并且所述第二通孔与所述第一空腔连通。

5.根据权利要求4所述的mems结构，其特征在于，所述衬底具有第二空腔，所述第二空腔经所述第二通孔与所述第一空腔连通。

6.根据权利要求5所述的mems结构，其特征在于，所述压电功能层悬置在所述第一空腔和所述第二空腔上方。

7.根据权利要求1所述的mems结构，其特征在于，所述压电功能层包括形成在所述振动支撑层上方的第一电极层、形成在所述第一电极层上方的压电层和形成在所述压电层上方的第二电极层。

技术总结本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底；牺牲层，形成在所述衬底上方并且具有第一空腔；振动支撑层，形成在所述牺牲层上方并且具有向所述第一空腔方向延伸的凸起，所述凸起位于所述第一空腔内；压电功能层，形成在所述振动支撑层上方。本申请通过在振动支撑层上设置位于第一空腔内的凸起，阻挡限制凸起的振动，从而实现了振动支撑层单向振动，MEMS结构输出单向电压，防止电子烟的MEMS开关误启动电热丝。技术研发人员：夏永禄,刘端受保护的技术使用者：安徽奥飞声学科技有限公司技术研发日：20221207技术公布日：2024/1/13