一种气体压力和流量调节装置的制作方法

本技术涉及气体输送，具体涉及一种气体压力和流量调节装置。

背景技术：

1、电子工厂工艺机台使用大宗气，一般需要对气体的输送压力进行调压；同时，部分机台本身缺少质量流量计，为了满足机台的使用需求，需要对气体流量进行调节然后衔接供应至机台，目前工厂中的调压装置和调流量装置通常设置在不同的工位上，调压和调节流量分开设置的话，会对高架地板下方空间造成较大占用。

技术实现思路

1、本实用新型针对现有技术中对大宗气进行压力和流量调节不方便、调节装置占用空间大的问题，设计了一种气体压力和流量调节装置，目的是集成了对大宗气的压力和流量调节功能，方便操作，节约空间占用。

2、本装置采取的技术方案为：一种气体压力和流量调节装置，包括一块长条形的底板，在所述底板的两端上均固定有铝块管道支架，所述铝块管道支架中间开设有管道通孔，在两侧的管道通孔上均安装有气体输送管，位于进气口一端的为进气输送管，位于出气口一段的为出气输送管，在所述进气输送管一侧连接有球阀，所述球阀通过导管连接有调压阀，所述调压阀一侧通过导管连接有浮子流量计，所述浮子流量计上设有流量调节旋钮，所述浮子流量计另一端与出气输送管连接。

3、作为优选，所述铝块管道支架上的左右两侧均剖切有半圆柱型的凹槽，所述管道通孔开设在两侧的凹槽之间，且距离铝块管道支架底部具有一定高度。

4、作为优选，所述气体输送管贯通管道通孔、相对于所述底板平行设置且距离所述底板具有一定高度。

5、作为优选，所述调压阀与所述底板之间安装有调压阀支架，所述调压阀支架为一块表面平整的不锈钢板。

6、作为优选，所述调压阀支架为中间凸起、两侧低平的结构，在中间的凸起面上沿十字形对称开设有四个调压阀孔，所述调压阀孔用于与所述调压阀的各组件连接；在两侧的低平面上均开设有一个底板孔，所述底板孔内设有螺丝，以将所述调压阀支架固定在所述底板上。

7、作为优选，所述浮子流量计靠近所述调压阀的一端为流量计进气口，所述浮子流量计远离所述调压阀的一端为流量计出气口。

8、作为优选，所述流量调节旋钮设置在流量计进气口上方，所述流量调节旋钮通过调节流量计出气口通道的宽窄度来控制输出气体的流量大小。

9、相比于现有技术，本装置具有以下有益效果：将调压阀和流量调节计集成在一起，在气体输送过程中可以连续完成先调压再调流量的操作，能很好的适用于半导体高架地板下方安装，不仅牢靠便于操作的同时，也能最大程度节约空间占用。

技术特征：

1.一种气体压力和流量调节装置，包括一块长条形的底板，在所述底板的两端上均固定有铝块管道支架，所述铝块管道支架中间开设有管道通孔，在两侧的管道通孔上均安装有气体输送管，位于进气口一端的为进气输送管，位于出气口一段的为出气输送管，其特征在于，在所述进气输送管一侧连接有球阀，所述球阀通过导管连接有调压阀，所述调压阀一侧通过导管连接有浮子流量计，所述浮子流量计上设有流量调节旋钮，所述浮子流量计另一端与出气输送管连接。

2.根据权利要求1所述的气体压力和流量调节装置，其特征在于，所述铝块管道支架上的左右两侧均剖切有半圆柱型的凹槽，所述管道通孔开设在两侧的凹槽之间，且距离铝块管道支架底部具有一定高度。

3.根据权利要求2所述的气体压力和流量调节装置，其特征在于，所述气体输送管贯通管道通孔、相对于所述底板平行设置且距离所述底板具有一定高度。

4.根据权利要求1所述的气体压力和流量调节装置，其特征在于，所述调压阀与所述底板之间安装有调压阀支架，所述调压阀支架为一块表面平整的不锈钢板。

5.根据权利要求4所述的气体压力和流量调节装置，其特征在于，所述调压阀支架为中间凸起、两侧低平的结构，在中间的凸起面上沿十字形对称开设有四个调压阀孔，所述调压阀孔用于与所述调压阀的各组件连接；在两侧的低平面上均开设有一个底板孔，所述底板孔内设有螺丝，以将所述调压阀支架固定在所述底板上。

6.根据权利要求1所述的气体压力和流量调节装置，其特征在于，所述浮子流量计靠近所述调压阀的一端为流量计进气口，所述浮子流量计远离所述调压阀的一端为流量计出气口。

7.根据权利要求6所述的气体压力和流量调节装置，其特征在于，所述流量调节旋钮设置在流量计进气口上方，所述流量调节旋钮通过调节流量计出气口通道的宽窄度来控制输出气体的流量大小。

技术总结本技术涉及气体输送技术领域，公开了一种气体压力和流量调节装置，包括一块长条形的底板，在所述底板的两端上均固定有铝块管道支架，所述铝块管道支架中间开设有管道通孔，在两侧的管道通孔上均安装有气体输送管，位于进气口一端的为进气输送管，位于出气口一段的为出气输送管，在所述进气输送管一侧连接有球阀，所述球阀通过导管连接有调压阀，所述调压阀一侧通过导管连接有浮子流量计，所述浮子流量计上设有流量调节旋钮，所述浮子流量计另一端与出气输送管连接。本技术公开的气体压力和流量调节装置整合了调压阀和流量计的功能，能同时完成对气体的调压和调流量操作，操作更方便。技术研发人员：胡小洁受保护的技术使用者：浙江东开半导体科技有限公司技术研发日：20231208技术公布日：2024/7/4