排气分流干泵装置的制作方法

本技术涉及一种排气分流干泵装置。

背景技术：

1、在半导体等行业的预抽真空室loadlock的制程应用中，干式真空泵经常会遇到进气端负载过大的工况，通常会导致真空泵转速下降，泵体过热，变频器过载等问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的上述不足，本实用新型提供一种排气分流干泵装置。

2、本实用新型是通过以下技术方案实现的：

3、一种排气分流干泵装置，其包括壳体、转子、第一逆止阀和至少一个第二逆止阀，所述壳体的外表面设有进气口和排气口，所述转子可转动地设置于所述壳体内并将所述壳体内形成有依次连通的首端压缩室、至少一个中间压缩室和尾端压缩室，所述进气口连通于所述首端压缩室，多个所述中间压缩室位于所述首端压缩室和所述尾端压缩室之间，所述第一逆止阀和所述第二逆止阀均设置于所述壳体内，且所述第一逆止阀的进口连通于所述尾端压缩室内，所述第一逆止阀的出口连通于所述排气口，所述第二逆止阀的进口连通于所述中间压缩室，所述第二逆止阀的出口连通于所述排气口。

4、进一步地，所述中间压缩室的数量为多个，所述第二逆止阀的数量为一个或者多个。

5、进一步地，所述第二逆止阀和所述中间压缩室的数量为三个。

6、进一步地，所述排气分流干泵装置还包括消音器，所述消音器设置于所述排气口内。

7、进一步地，所述排气分流干泵装置还包括驱动电机，所述驱动电机位于所述壳体外，且所述驱动电机的驱动端伸入至所述壳体内并连接于所述转子。

8、本实用新型的有益效果在于：

9、本实用新型的排气分流干泵装置，通过第一逆止阀和第二逆止阀能够将压缩室内的气体排出，从而有效解决真空泵因负载过大而产生的问题，增加运行可靠度，提升使用寿命。

技术特征：

1.一种排气分流干泵装置，其特征在于，其包括壳体、转子、第一逆止阀和至少一个第二逆止阀，所述壳体的外表面设有进气口和排气口，所述转子可转动地设置于所述壳体内并将所述壳体内形成有依次连通的首端压缩室、至少一个中间压缩室和尾端压缩室，所述进气口连通于所述首端压缩室，多个所述中间压缩室位于所述首端压缩室和所述尾端压缩室之间，所述第一逆止阀和所述第二逆止阀均设置于所述壳体内，且所述第一逆止阀的进口连通于所述尾端压缩室内，所述第一逆止阀的出口连通于所述排气口，所述第二逆止阀的进口连通于所述中间压缩室，所述第二逆止阀的出口连通于所述排气口。

2.如权利要求1所述的排气分流干泵装置，其特征在于，所述中间压缩室的数量为多个，所述第二逆止阀的数量为一个或者多个。

3.如权利要求2所述的排气分流干泵装置，其特征在于，所述第二逆止阀和所述中间压缩室的数量为三个。

4.如权利要求1所述的排气分流干泵装置，其特征在于，所述排气分流干泵装置还包括消音器，所述消音器设置于所述排气口内。

5.如权利要求1所述的排气分流干泵装置，其特征在于，所述排气分流干泵装置还包括驱动电机，所述驱动电机位于所述壳体外，且所述驱动电机的驱动端伸入至所述壳体内并连接于所述转子。

技术总结本技术公开了一种排气分流干泵装置，排气分流干泵装置包括壳体、转子、第一逆止阀和至少一个第二逆止阀，壳体的外表面设有进气口和排气口，转子可转动地设置于壳体内并将壳体内形成有依次连通的首端压缩室、至少一个中间压缩室和尾端压缩室，进气口连通于首端压缩室，第一逆止阀和第二逆止阀均设置于壳体内，且第一逆止阀的进口连通于尾端压缩室内，第一逆止阀的出口连通于排气口，第二逆止阀的进口连通于中间压缩室，第二逆止阀的出口连通于排气口。通过第一逆止阀和第二逆止阀能够将压缩室内的气体排出，从而有效解决真空泵因负载过大而产生的问题，增加运行可靠度，提升使用寿命。技术研发人员：彭申,李霞,付娜,盛晨艳,陈峰受保护的技术使用者：上海汉钟精机股份有限公司技术研发日：20231026技术公布日：2024/7/15