一种半导体生产的调度方法、装置及终端设备

本申请属于生产自动化调度，尤其涉及一种半导体生产的调度方法、装置及终端设备。

背景技术：

1、半导体在扩散区域内的加工需要经历不同的工序，并面临复杂的约束条件。如何确定高质量的生产调度计划是当前亟需解决的问题。

2、当前半导体生产的调度方法虽然在一定情况下可行，但在处理大规模任务时，计算复杂度较高，存在计算时间过长或无法找到最佳解的问题，降低了半导体生产的调度效率。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种半导体生产的调度方法、装置及终端设备，可以在处理大规模任务时，解决计算时间过长或无法找到最佳解的问题，提高半导体生产的调度效率。

2、第一方面，本申请实施例提供了一种半导体生产的调度方法，包括：

3、获取待生产半导体的生产数据；

4、对基于生产数据随机得到的多个调度计划进行迭代计算，得到满足迭代终止条件的候选调度种群，候选调度种群包括多个与待生产半导体有关的候选调度计划，其中，每个调度计划均由线性规划模型进行可行性评估得到；

5、从候选调度种群中选取生产周期最短的候选调度计划作为待生产半导体的目标调度计划。

6、在第一方面的一种可能的实现方式中，基于生产数据随机得到的多个调度计划可以是由线性规划模型进行可行性评估得到的；同时，对随机得到的多个调度计划进行迭代计算过程中所产生的调度计划也可以由线性规划模型进行可行性评估得到。

7、示例性的，在迭代计算过程中所产生的调度计划，如通过变异操作所产生第四调度种群中的调度计划可以采用线性规划模型进行可行性评估，以此来保证调度计划的可行性，提高后续迭代计算中调度计划的质量。

8、应理解，在半导体生产调度方法过程中所产生的调度计划均可以由线性规划模型进行可行性评估，并根据不同的可行性评估结果执行不同的操作，例如当可行性评估结果指示调度计划不可行时，可以对调度计划进行修正来使修正后的调度计划满足可行性要求，从而基于修正后的调度计划进行后续的调度方案。

9、第二方面，本申请实施例提供了一种半导体生产的调度装置，包括：

10、获取模块，用于获取待生产半导体的生产数据；

11、迭代计算模块，用于对基于生产数据随机得到的多个调度计划进行迭代计算，得到满足迭代终止条件的候选调度种群，候选调度种群包括多个与待生产半导体有关的候选调度计划，其中，每个调度计划均由线性规划模型进行可行性评估得到；

12、选取模块，用于从候选调度种群中选取生产周期最短的候选调度计划作为待生产半导体的目标调度计划。

13、第三方面，本申请实施例提供了一种终端设备，包括：存储器、处理器以及存储在存储器中并可在处理器上运行的计算机程序，处理器执行计算机程序时实现如第一方面所述的方法。

14、第四方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现如第一方面所述的方法。

15、第五方面，本申请实施例提供了一种计算机程序产品，当计算机程序产品在终端设备上运行时，使得终端设备执行上述第一方面中任一项的半导体生产的调度方法。

16、可以理解的是，上述第二方面至第五方面的有益效果可以参见上述第一方面中的相关描述，在此不再赘述。

17、本申请实施例与现有技术相比存在的有益效果是：

18、通过建立数学规划模型可以对一个任意给定的可行的排程计划自动化地进行处理，综合考虑了各种约束和问题的优化目标，不仅能够满足所有的约束，还能在给定机器安排和批次加工顺序的情况下得到最优解。同时，在处理大规模问题时，也能解决计算时间过长或无法找到最佳解的问题，提高半导体生产的调度效率。

技术特征：

1.一种半导体生产的调度方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的半导体生产的调度方法，其特征在于，

3.如权利要求2所述的半导体生产的调度方法，其特征在于，所述对基于所述生产数据随机得到的多个调度计划进行迭代计算，得到满足迭代终止条件的候选调度种群，包括：

4.如权利要求3所述的半导体生产的调度方法，其特征在于，所述对所述第一调度种群和所述第二调度种群进行迭代计算，得到满足迭代终止条件的所述候选调度种群，包括：

5.如权利要求4所述的半导体生产的调度方法，其特征在于，所述对所述第一调度种群以及根据所述选择结果确定的第三调度种群中的调度计划进行变异操作，形成第四调度种群，包括：

6.如权利要求3所述的半导体生产的调度方法，其特征在于，所述方法还包括：

7.如权利要求6所述的半导体生产的调度方法，其特征在于，在基于线性规划模型和约束条件确定所述调度计划的可行性评估结果之后，还包括：

8.如权利要求6所述的半导体生产的调度方法，其特征在于，所述约束条件包括下述至少之一：

9.一种半导体生产的调度装置，其特征在于，包括：

10.一种终端设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至8任一项所述的方法。

技术总结本申请适用于生产自动化调度技术领域，提供了一种半导体生产的调度方法、装置及终端设备，包括：获取待生产半导体的生产数据；对基于所述生产数据随机得到的多个调度计划进行迭代计算，得到满足迭代终止条件的候选调度种群，所述候选调度种群包括多个与所述待生产半导体有关的候选调度计划，其中，每个调度计划均由线性规划模型进行可行性评估得到；从候选调度种群中选取生产周期最短的候选调度计划作为所述待生产半导体的目标调度计划。该方法通过每个调度计划均由线性规划模型进行可行性评估得到，能够解决计算时间过长或无法找到最佳解的问题，提高半导体生产的调度效率。技术研发人员：乔岩,陈良超受保护的技术使用者：澳门科技大学技术研发日：技术公布日：2024/7/18