全自动载片式探针台的制作方法

本申请属于芯片生产，更具体地说，是涉及一种全自动载片式探针台。

背景技术：

1、载片是新工艺生产出的新形态产品，常见的有堆叠、硅基式、bga封装式、单片等，具有小型化、高集成度、低成本等优点。探针台是半导体行业重要的检测装备之一，其广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。因为载片测试点即pad点裸露分布在载片表面上，再加上物料一致性和生产工艺的影响，导致最终载片的pad点位置不一致排列不规则，甚至其pad点的高度也不一致；目前市面上的探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用，无法直接用于载片式产品的测试。

2、现有的技术方案主要分为手动式和工装式，手动式即人工将产品放置在手动探针台上，通过显微镜对一个产品进行图像放大，逐一寻找其pad点，然后操作探针进行测试，由于操作繁琐，而且依赖人工的操作熟练度和感官，无法进行大批量测试，而且容易损伤器件；工装式主要是依靠单独的测试工装，将待测产品先通过键合、压接等方式与工装连接在一起，然后工装再连接测试设备完成测试，此种方式针对不同的产品需要不同的工装，且增加了工艺工序，也是极为不方便的。

技术实现思路

1、为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种全自动载片式探针台，包括：

2、双卡盘测试系统，包括第一卡盘、第二卡盘以及用于对放置在所述第一卡盘和所述第二卡盘中的待测载片进行测试的测试机构；

3、自动上下料系统，用于对所述第一卡盘和所述第二卡盘进行上料和下料；

4、七轴直线运动系统，用于对所述第一卡盘和所述第二卡盘的位置、高度和角度进行调整。

5、可选地，所述自动上下料系统包括移载工作头、移载x轴、移载y轴和移载z轴，所述移载x轴用于带动所述移载工作头在x轴方向上移动，所述移载y轴用于带动所述移载工作头在y轴方向上移动，所述移载z轴用于带动所述移载工作头在z轴方向上移动。

6、可选地，所述全自动载片式探针台包括第一上下料区域和第二上下料区域，所述第一上下料区域设置有第一备用料仓、第一上料料仓、第一ok料仓和第一ng料仓，所述第二上下料区域设置有第二备用料仓、第二上料料仓、第二ok料仓和第二ng料仓。

7、可选地，所述第一上下料区域设置有用于转移料盘的第一料盘移载机械手，所述第二上下料区域设置有用于转移料盘的第二料盘移载机械手。

8、可选地，所述第一上下料区域还设置有第一真空处理系统；所述第二上下料区域还设置有第二真空处理系统。

9、可选地，所述第一上下料区域设置有第一底部视觉组件，所述第二上下料区域设置有第二底部视觉组件，所述第一底部视觉组件和所述第二底部视觉组件电连接有控制器，所述控制器与所述自动上下料系统电连接。

10、可选地，所述七轴直线运动系统包括基座、第一升降旋转轴、第二升降旋转轴、x轴直线电机、第一y轴直线电机、第二y轴直线电机，所述x轴直线电机固定于所述基座上，所述第一y轴直线电机和所述第二y轴直线电机与所述x轴直线电机固定连接，所述第一升降旋转轴与所述第一y轴直线电机固定连接，所述第二升降旋转轴与所述第二y轴直线电机固定连接。

11、可选地，所述测试机构包括变倍显微视觉组件和三轴电动针座，所述变倍显微视觉组件用于获取待测载片的pad点的位置数据和高度数据，所述三轴电动针座用于根据所述位置数据和所述高度数据对所述待测载片的pad点进行测试。

12、可选地，所述测试机构还包括磁吸工作面板，所述三轴电动针座与所述磁吸工作面板磁吸连接。

13、可选地，所述测试机构还包括三轴视觉调整组件，所述三轴视觉调整组件与所述变倍显微视觉组件连接，用于调节所述变倍显微视觉组件在x轴、y轴和z轴方向上的位置。

14、可选地，所述测试机构还包括三轴手动针座。

15、本申请提供的全自动载片式探针台的有益效果在于：与现有技术相比，本申请提供的全自动载片式探针台，通过自动上下料系统可对待测载片进行自动上下料，通过七轴直线运动系统可对待测载片的位置、高度和角度进行调整，通过双卡盘测试系统可对待测载片进行测试，可实现载片产品的全自动测试，具有高效率、高质量、高稳定性等特点。

技术特征：

1.一种全自动载片式探针台，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的全自动载片式探针台，其特征在于：所述自动上下料系统包括移载工作头、移载x轴、移载y轴和移载z轴，所述移载x轴用于带动所述移载工作头在x轴方向上移动，所述移载y轴用于带动所述移载工作头在y轴方向上移动，所述移载z轴用于带动所述移载工作头在z轴方向上移动。

3.如权利要求1所述的全自动载片式探针台，其特征在于：所述全自动载片式探针台包括第一上下料区域和第二上下料区域，所述第一上下料区域设置有第一备用料仓、第一上料料仓、第一ok料仓和第一ng料仓，所述第二上下料区域设置有第二备用料仓、第二上料料仓、第二ok料仓和第二ng料仓。

4.如权利要求3所述的全自动载片式探针台，其特征在于：所述第一上下料区域设置有用于转移料盘的第一料盘移载机械手，所述第二上下料区域设置有用于转移料盘的第二料盘移载机械手。

5.如权利要求3所述的全自动载片式探针台，其特征在于：所述第一上下料区域还设置有第一真空处理系统；所述第二上下料区域还设置有第二真空处理系统。

6.如权利要求3所述的全自动载片式探针台，其特征在于：所述第一上下料区域设置有第一底部视觉组件，所述第二上下料区域设置有第二底部视觉组件，所述第一底部视觉组件和所述第二底部视觉组件电连接有控制器，所述控制器与所述自动上下料系统电连接。

7.如权利要求1所述的全自动载片式探针台，其特征在于：所述七轴直线运动系统包括基座、第一升降旋转轴、第二升降旋转轴、x轴直线电机、第一y轴直线电机、第二y轴直线电机，所述x轴直线电机固定于所述基座上，所述第一y轴直线电机和所述第二y轴直线电机与所述x轴直线电机固定连接，所述第一升降旋转轴与所述第一y轴直线电机固定连接，所述第二升降旋转轴与所述第二y轴直线电机固定连接。

8.如权利要求1所述的全自动载片式探针台，其特征在于：所述测试机构包括变倍显微视觉组件和三轴电动针座，所述变倍显微视觉组件用于获取待测载片的pad点的位置数据和高度数据，所述三轴电动针座用于根据所述位置数据和所述高度数据对所述待测载片的pad点进行测试。

9.如权利要求8所述的全自动载片式探针台，其特征在于：所述测试机构还包括磁吸工作面板，所述三轴电动针座与所述磁吸工作面板磁吸连接。

10.如权利要求8所述的全自动载片式探针台，其特征在于：所述测试机构还包括三轴视觉调整组件，所述三轴视觉调整组件与所述变倍显微视觉组件连接，用于调节所述变倍显微视觉组件在x轴、y轴和z轴方向上的位置；和/或，所述测试机构还包括三轴手动针座。

技术总结本申请提供了一种全自动载片式探针台，包括：双卡盘测试系统，包括第一卡盘、第二卡盘以及用于对放置在所述第一卡盘和所述第二卡盘中的待测载片进行测试的测试机构；自动上下料系统，用于对所述第一卡盘和所述第二卡盘进行上料和下料；七轴直线运动系统，用于对所述第一卡盘和所述第二卡盘的位置、高度和角度进行调整。本申请提供的全自动载片式探针台，通过自动上下料系统可对待测载片进行自动上下料，通过七轴直线运动系统可对待测载片的位置、高度和角度进行调整，通过双卡盘测试系统可对待测载片进行测试，可实现载片产品的全自动测试，具有高效率、高质量、高稳定性等特点。技术研发人员：喻洪超,杜柏琳,荣阳,邓奎受保护的技术使用者：四川川浦融科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/25